恒运昌机构调研纪要

调研日期: 2026-07-10 1. 请问公司目前的营收结构、在手订单及客户拓展情况如何? 回答:2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元,以来自自研产品的收入为主,主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创、微导纳米等。截至公司2025年年度报告披露日,公司持有尚未交付的在手订单共约 1.57 亿元。公司将充分发挥研发和技术优势,结合市场发展前景和客户需求,不断进行新产品的研发设计,结合公司丰富的技术和生产经验,加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用,为客户提供性能更优、可靠性更高的产品,推进公司长期稳定发展。同时,公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展,不断提升公司产品性能与质量,并拓宽公司产品品类,致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司,助力公司长期稳定发展。 2. 请介绍一下公司产品等离子体射频电源系统的应用领域与产品特点 回答:公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节,并应用于光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律,等离子体射频电源系统等核心部件需要得到设备商及晶圆厂的双重认证。同时,等离子体射频电源系统定制化程度较高,在公司与下游设备厂商合作过程中,一般由下游客户向公司提供产品技术指标要求和功能要求,公司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。 半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求,等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺,且需经过精密的校准和严格的测试流程,以确保性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下,公司已具备成熟的规模化量产能力,并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。历经十余年,公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar 四代产品系列等离子体射频电 源系统。截至2025年年底,公司第四代等离子体射频电源系统 Cedar 系列处于验证状态,该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台,配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能,可支撑更先进制程。 3. 请介绍一下公司的技术优势 回答:经过十多年的持续正向研发、不断创新和积累,公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系,一方面从测量、控制及架构三方面构建的底层通用的 3 大基石技术,并基于基石技术,结合半导体设备中应用,特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点,发展出 8 大产品化支撑技术,实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题,掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底,公司已授权专利共296 项,包括发明专利 123 项,实用新型专利 72 项,外观设计专利 101 项。截至 2025 年年底,公司已累计申 请 490 项专利,其中发明专利 262 项,占比 53.47%。 4. 请介绍一下等离子体射频电源系统的市场格局 回答:等离子体射频电源系统行业在多个下游应用领域中发挥着重要作用,包括半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗设备和科研仪器等;其中,半导体是中国大陆等离子体射频电源系统行业最大的下游应用领域。2024 年,中国大陆等离子体射频电源系统市场规模达120.4亿元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头高度垄断的竞争格局。根据弗若斯特沙利文统计,2024年,中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。 5. 请介绍一下公司目前的产能情况及未来产能布局 回答:2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多个措施提升产能,包括积极推进子公司恒运昌真空技术(沈阳)有限公司的建设与正式运营,助力其实现从试产到量产的跨越;同时推进深圳产能建设,加速产能落地;公司未来将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设,这些都将有助于后续产能的释放,为公司产能持续提升奠定基础。 6. 公司海外客户的拓展情况如何?公司后续是否有出海计划? 回答:截至2025年底,公司境外收入占2025年营业收入中的极少部分。公司于2025年11月在德国设立全资子公司。在未来发展规划上,德国恒运昌将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点,承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能,助力半导体设备核心零部件从“引进来”到“走出去”。截至2025年底,公司也获得了部分海外专利。