调研日期: 2026-04-27 1. 请介绍一下公司2025年度及2026年度一季度的业绩情况 回答:2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元,同比下滑2.09%。下滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性,下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整,进而导致对公司的采购呈现波动。2025年归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元,同比下滑约19.57%,主要原因是持续加大较高水平的研发投入,提高技术指标要求,推进新产品开发、产品持续升级迭代等,不断加强产品竞争力,研发费用较上年同期大幅增加所致。2026年一季度,公司实现营业收入1.24 亿元,与上年同期相比减少 1,710.19 万元,同比下降12.08%,原因延续2025年年底以来的情况。公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元,与上年同期相比减少,主要系公司全面提升公司运营管理,并持续推进研发投入和各类型人才引进;同时政府补助相对去年同期减少,且公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失所致。 2. 请介绍一下公司2025年的产品迭代进展 回答:2025年,公司推出第四代产品Cedar系列等离子体射频电源系统。公司于2025年1月启动Cedar系列研发,于2025年第四季度推出样机,该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台,配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能,可支撑更先进制程。截止2025年底,公司对质量流量计(MFC MEMES)的国产化研发已处于完成初样流片及搭载测试平台阶段。公司也在重点开发大功率直流脉冲电源,进一步拓展当前直流产品的品类和技术能级。公司于报告期内已启动了射频大数据与决策系统项目,利用大数据的发展成果建立射频电源系统领域的垂直模型等,发展服务于产品研发、制造、应用全过程的软硬件产品与系统,提升产品全生命周期质量、提升研发和制造效率、促进设计技术迭代等,参与等离子体微纳加工技术产学研用全链条协同创新。截止2025年,公司在研项目数量共计15个,其中有4个为2025年启动的新项目。 3. 请介绍一下公司2025年的研发投入及研发人员情况 回答:2025年,研发费用较上年同期增长 45.01%,主要系研发费用中的人工费同比增长 61.43%,公司持续加大研发投入力度,提高技术指标要求,推进新产品开发、产品持续升级迭代等,不断加强产品竞争力所致。截至2025年,公司研发人员158人,同比增长10.96%,其中学历本科及以上人员占比84.81%。 4. 请介绍一下公司2025年与主要客户的合作进展与在手订单情况回答:截止2025年,公司前五大客户分别为拓荆科技、湘潭宏大、中微公司、北方华创、江苏微导,累计实现4.45亿元收入,占总营收比例达84.04%。公司已有76款主要产品于主要客户处验证导入。同时,公司积极拓展新客户,2025年上半年已突破多家细分领域头部客户深化与现有客户合作,从单一产品向多产品线延伸拓展应用领域。公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展,通过内生研发和择机对外收购的方式,不断提升 公司产品性能与质量,并拓宽公司产品品类,助力公司长期稳定发展并向光伏、显示面板等非半导体领域延伸。截止2026年4月27日,公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。 5. 请介绍一下公司2025年的产能情况 回答:2025年,公司的产能利用率达到98.51%。公司产能最近三年超负荷运行。公司已积极通过扩产和生产流程优化等方式提升产能。同时公司也正积极推进子公司恒运昌真空技术(沈阳)有限公司的建设与正式运营,助力其由试产到正式投产,公司也在同步推进深圳产能建设,都将有助于后续产能的释放。 6. 请介绍一下公司核心原材料及关键零部件供应链目前的稳定性回答:公司已建立稳定、高质量的供应商体系,关注供应商经营资质、 生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素,并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定,将符合要求的供应商列入合格供应商名录,并在供货阶段实行供应商动态管理,筛选优质供应商,持续优化采购渠道。为保证生产的连续和稳定性,公司综合考虑原材料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素,对常用材料建立安全库存机制。自2021年起,公司先后实现真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用,目前已有上游元器件全国产化方案,公司将结合客户等需求持续推进全面国产化验证。 7. 请介绍一下公司对自研产品的布局规划 回答:公司的引进产品与自研产品相互补充,共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。目前,公司引进产品的产品种类聚焦于真空泵、质量流量计、等离子体直流电源。其中,真空泵客户目前以精密光学镀膜及半导体设备等客户为主,公司将拓展更多半导体、光伏及显示面板客户的应用,在公司其他自研产品客户中拓展市场空间。质量流量计目前收入较少,主要集中于精密光学镀膜客户,公司将拓展在 半导体、光伏及显示面板等领域的市场空间,同时加快自研质量流量计的研发落地和出货,以引进业务带动自研产品的验证和销售。引进的等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学等领域的客户为主,公司自研的等离子体直流电源已批量出货,引进和自研等离子体直流电源相互补充,为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。公司未来将借助外部并购等战略举措,积极筛选境内外优质的标的和技术,以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力,为客户提供一站式的产品和服务。 8. 请介绍一下现阶段行业发展情况及竞争格局变化 回答:根据 SEMI预计,2025年全球半导体设备总销售额预计达1,330 亿美元,同比增长 13.7%,创历史新高,并持续保持增长态势;2026 年、2027 年有望继续攀升至 1,450 亿和 1,560 亿美元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现由美系海外巨头厂商高度垄断的竞争格局,半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫,伴随国产替代的整体趋 势,国产等离子体射频电源系统市场快速发展。人工智能的大量应用需求将带动新一轮半导体增长,尤其是先进制程的逻辑及存储相关的晶圆厂的产能需求,中国等离子体射频电源系统行业正处于市场规模快速扩张、国产替代关键突破、技术迭代持续加速的黄金发展期。