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天风电子重点关注半导体关键零部件MFC产业链当前零部件最紧缺环节

2026-08-26 未知机构 阿杰
报告封面

1️⃣什么是MFC?MFC(Mass Flow Controller)是气体流量控制器,所有半导体设备需要用到气体的(刻蚀机、薄膜沉积设备、扩散炉管设备、离子注入设备、清洗、光刻等)设备都需要用到MFC来精确控制气体流量,意味着约70-80%价值量的半导体设备都需要用到MFC。2️⃣半导体级的MFC市场空间有多大?每一道气体管路都需要一个MFC,譬如一个刻蚀腔体大概需要15种左右气体,意味着需要15个MFC,每个MFC的价格0.5-5万不等(根据控制精度等不同),我们假设平均1.5万,即一个刻蚀腔体需要22.5万价值量的MFC,假设刻蚀机平均4个腔体,即一台刻蚀设备的MFC价值量约为90万,约占刻蚀设备价值量的4%左右,如果考虑其他设备,综合来看MFC价值量约占整个设备市场空间的3%左右,假设国内未来半导体设备市场1000亿美金,则半导体MFC市场约#30亿美金;3️⃣国内主要市场格局如何?国内市场60%用的是日本Horiba,美国MKS占比20%左右,日本Fujikin占比8%左右,国内厂商#高凯技术(刚刚上市)和七星华创(北方华创子公司)进展较快,MFC是当前零部件最紧缺环节,国内MFC厂商今年国产替代节奏会持续加速;MFC4️⃣上游的核心零部件压电陶瓷结构件值得重点关注:MFC里最核心的结构件是压电陶瓷结构件,BOM占比约40%左右,测算未来这部分国内市场7亿美金左右,国内厂商#邦瓷电子(星源材质已发公告、后续持股70%)是国内唯一量产企业,已经进入高凯技术、七星华创的供应链,后续有望成为核心供应商,假设拿50%份额,40%净利率,远期约10亿左右利润,40倍,400亿市值,叠加主业250亿市值,共650亿市值,翻倍以上空间