公司深耕半导体特殊涂层20年,核心业务为刻蚀涂层零部件,占收入60%-70%,已进入中微、北方华创、长存、长鑫等核心客户供应链。公司是国内少数实现高端PVD涂层量产的企业,具备材料提纯、复合涂层、工艺Know-how及设备改造等技术壁垒。
公司从DUV光刻机业务切入,并向EUV光刻机相关零部件延伸,覆盖光源镜片/镜头、反射镜等产品,具备从毛坯加工、纳米级抛光到涂层的全流程能力。2026年已取得约2亿元光刻相关原型机及小批量订单,其中EUV占约80%,预计年内交付50%-60%。量产后,单台EUV光刻机将对应公司大量订单,为公司带来显著增长弹性。