本次洁净室上游设备赛道分析,优先推荐美埃科技,其次跟踪盛剑科技。美埃科技是国内洁净室风机过滤单元(FFU)设备龙头,国内半导体洁净室FFU市占率超30%;2025年总营收19.3亿元同比增12%,归母净利润1.2亿元同比降37%,当前市值约94亿元,预计2027年归母净利润接近4亿元,对应PE约23-23.5倍,核心增长逻辑为国内晶圆厂扩产周期重启、美国市场突破预期、耗材业务中长期基本盘,已投标美光和台积电美国项目,未来两三个月有望公布开标结果。盛剑科技主营半导体工艺废气治理设备,2024、2025年净利润略微亏损,利润确定性较低,新品真空泵、温控设备处于客户产线验证阶段,股权激励考核要求20