恒运昌机构调研纪要

营收结构与业务拓展
2025年公司营收约5.29亿元，主要来自自研产品，核心客户包括拓荆科技、中微公司等。2026年一季度营收1.24亿元，在手订单约1.57亿元。公司计划拓展光伏、显示面板等领域，致力于成为等离子体工艺核心零部件整体解决方案平台。

产品应用与特点
等离子体射频电源系统广泛应用于半导体（薄膜沉积、刻蚀等）及工业领域（光伏、显示面板等）。产品需通过设备商及晶圆厂双重认证，定制化程度高。公司已推出四代产品（CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar），第四代Cedar系列处于验证阶段，支持更先进制程。

产品销售模式
客户可单独采购等离子体射频电源或匹配器，两者无固定配套关系。

产品验证周期
验证环节包括功能、上机、工艺及晶圆厂生产验证，周期长且复杂。公司自2018年与拓荆科技合作以来，2020年开始批量交付。近年来国内国产化加速，验证周期逐步缩短。

引进产品业务规划
引进产品（真空泵、质量流量计、等离子体直流电源）与自研产品互补，聚焦真空泵、质量流量计国产化，拓展半导体、光伏等领域客户。未来将通过并购增强供应能力，提供一站式服务。

上游元器件国产化
公司已实现真空电容、陶瓷电容等元器件国产化（自2021年），并确定全国产化方案，持续推进验证工作。

产能情况与布局
2025年产能利用率达98.51%。通过推进子公司恒运昌真空技术、深圳产能建设及智能化生产基地项目，未来产能将持续提升。