公司引进核心零部件如真空泵、质量流量计及等离子体直流电源，并启动自研替代计划，如质量流量计国产化研发及自研等离子体直流电源批量销售。与拓荆科技、中微公司等主要客户合作进展顺利，合作范围扩展至PEALD、HDPCVD设备及先进封装领域，并推动客户结构多元化。等离子体射频电源系统技术壁垒高，涉及纳米级精准控制、高一致性与稳定性要求，新进入者难以满足先进制程需求。衡量核心技术的关键指标包括调谐时间、功率精度等，公司技术体系涵盖基石技术与支撑技术，实现高端产品突破。主要产品特点为多品种、小批量，定制化程度高，已推出三代产品系列并打破美系垄断，最新Cedar系列处于验证阶段。公司承接进口设备原位替换及维修业务，并计划通过新建产业化中心和扩建基地解决产能瓶颈，2022至2025年上半年产能利用率均超100%。2025年业绩情况以定期报告为准。
