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先进制程对薄膜控制提出极致要求，ALD作为先进制程不可或缺的核心设备，目前整体国产化率仍处于低位，随着本土先进制程扩产，其渗透率正加速提升，建议关注微导纳米(国内ALD龙头)、迈为股份(不仅ALD设备，更攻克了研发难度极高、技术壁垒深厚的干法刻蚀设备，其聚焦的高选择比刻蚀设备已在细分领域斩获极高的市场份额) 高纯铪是卡脖子材料，三祥140吨氧化给项目是全球未来3年核心增量供给，三季度投产，直接受益行业需求爆发与价格上行，建议积极关注。 阿拉丁半导体板块业绩弹性加速释放。解胶剂与光学保护剂全面替代加速。叠加二氯二氧化钼先进制程前驱体打开空间!我们测算，26年“钼代钨”加速推进，市场规模约#80亿元。 菲沃泰卡位DUV光刻机核心耗材，成为目前国内浸润式DUV相关镀膜的唯一供应商，高壁垒也带来超高利润率。目前有2000多万订单，需求不到10台，并且该膜层为耗材，每3-4个月需要更换一次。粗算成长空间可能还有数十倍到近百倍。
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