微导纳米 ALD设备龙头迎爆发
————————————#随着先进封装和存储的迭代，ALD设备用量会不断增加1、随着3DNAND等先进制程发展，ALD更适用于复杂结构，占比会进一步提升。目前NAND、DRAM，单台ALD均价900-1000万元，后续从G4到G5，由于结构变得复杂且所需薄膜种类增加，薄膜沉积设备价值量显著提高，部分先进机台价格已从1000万增加至2000万元2、国内ALD设备的市场空间在150亿元，国产化渗透率20%-30%，未来空间很大。叠加两存加速扩产，单万片存储对应薄膜沉积设备投资额6-7亿元，两存上市扩产后将会进一步拉升ALD设备的需
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