屹唐股份机构调研纪要

研发投入与技术进展
屹唐股份持续加大研发投入，对快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理设备进行技术改进升级。已成功研发多款技术领先的新型集成电路设备，包括：

• 快速热处理设备：开发新一代常压、低压及低热预算选择性加热设备，部分项目完成产品开发并进入客户量产验证阶段。
• 干法刻蚀设备：推出新一代先进干法刻蚀设备RENA-E?，具备刻蚀速度快、损伤小等优势，已通过关键客户量产验证并获重复订单，客户需求持续增长。
• 等离子体表面处理设备：推出Escala?设备，利用专利技术改善薄膜材料性能，已通过多家客户技术验证并实现量产订单，客户需求持续增长。此外，公司还开展多项新型干法刻蚀及等离子体表面处理设备研发，部分项目即将进入客户端验证。

供应链与地缘风险应对
公司建立系统化的供应链评估与管理体系，强化关键零部件国产化能力，并与全球供应商建立长期稳定合作。中国制造基地推行供应链多元化与本地化战略，提高设备零部件国产化率，缩短物流周期并降低成本，确保供应链整体安全可控。

干法刻蚀设备市场规划
公司新一代干法刻蚀设备RENA-E?已通过关键客户量产验证并获重复订单，客户需求持续增长。未来1-2年，公司计划持续推进新产品研发与客户导入，扩大干法刻蚀及等离子体表面处理设备的市场规模，实现平台化发展。