珂玛科技机构调研纪要

可转换债券发行及产能建设

• 公司发行可转换债券计划已获深圳证券交易所受理，处于审核中，正稳步推进。
• 已完成项目用地购买手续，2025年产能建设聚焦IPO募投的先进材料生产基地，逐步投产并搬迁现有陶瓷加热器工厂及设备，同时建设专用净化设施，提升生产交付能力。
• 可转债资金将重点建设静电卡盘生产线，扩建陶瓷加热器产能，满足半导体设备国产替代需求。

陶瓷加热器产品竞争力

• 自2023年Q4批量交付以来，高性能陶瓷加热器已应用于晶圆生产薄膜沉积工艺，性能满足客户要求。
• 公司将持续研发优化，提升产品耐腐蚀性、耐高温性、等离子强度控制能力及使用寿命。

静电卡盘产业化进展及难度

• 陶瓷加热器研发始于2016年（9年技术积累），而静电卡盘始于2020年（5年积累）。
• 两产品重要性、需求量及价值量相近，但材料（氮化铝 vs 氧化铝）及工艺差异导致研发复杂度接近。
• 静电卡盘进展：12英寸Monopolar静电卡盘已验证并小规模量产，多区加热静电卡盘已交付测试。
• 公司计划通过可转债建设生产基地，打造高端功能陶瓷平台，提升良率与性能，满足定制化需求。

外延式增长计划

• 已完成对苏州铠欣的收购（从事CVD碳化硅涂层及零部件研发生产），补强碳化硅陶瓷领域布局。
• 未来并购关注方向：
  • 半导体设备零部件领域（互补技术或市场）；
  • 陶瓷材料其他应用方向（新能源、泛半导体等）；
  • 陶瓷材料上游粉末方向。
• 公司将严格履行信息披露义务。