RTP(快速热处理)技术利用高能光源实现秒级至毫秒级瞬时升温,用于抑制杂质扩散、完成离子激活与晶格修复,确保器件更浅的结深和更优的电学性能。根据Gartner数据,2021年全球热处理设备市场规模为26.42亿美元,其中快速热处理设备市场规模为12.13亿美元,预计2025年将达到12.36亿美元。全球市场高度集中,应用材料以70%份额位居第一,屹唐半导体以13.05%的份额位居第二,是中国唯一跻身行业前列的企业。随着半导体制造工艺向更先进制程演进,对RTP设备的工艺精度和热效率要求不断提升。在中美科技博弈背景下,国内半导体产业链自主化进程加速,国产替代需求持续释放。除屹唐外,北方华创等国内设备公司也在积极推进产品迭代与客户验证。投资建议看好我国先进制程扩产带动RTP设备放量,重点推荐屹唐股份和北方华创。风险提示包括下游需求不及预期、各厂商技术研发不及预期等。