东吴机械半导体设备快速热处理设备需求稳定看好国产设备商份额跟随国产化率提

RTP（快速热处理）是一种利用高能光源实现秒级至毫秒级瞬时升温的晶圆局部热处理技术，用于在抑制杂质扩散的前提下完成离子激活与晶格修复，从而确保器件更浅的结深和更优的电学性能。 根据Gartner统计数据，2021年全球热处理设备市场规模合计26.42亿美元，其中快速热处理设备市场规模为12.13亿美元。 【东吴机械】半导体设备：快速热处理设备需求稳定，看好国产设备商份额跟随国产化率提升 RTP（快速热处理）是一种利用高能光源实现秒级至毫秒级瞬时升温的晶圆局部热处理技术，用于在抑制杂质扩散的前提下完成离子激活与晶格修复，从而确保器件更浅的结深和更优的电学性能。 根据Gartner统计数据，2021年全球热处理设备市场规模合计26.42亿美元，其中快速热处理设备市场规模为12.13亿美元。 2025年快速热处理设备市场规模有望达到12.36亿美元。 全球快速热处理设备市场高度集中，中国设备商持续追赶突破。 全球市场仍由海外厂商主导，应用材料以70%份额位居第一，屹唐半导体以13.05%的份额位居第二，是唯一一家跻身行业前列的中国企业，展现出强劲的技术实力与市场竞争力。 随着半导体制造工艺持续向更先进制程演进，对RTP设备的工艺精度和热效率要求不断提升。 同时，在中美科技博弈背景下，国内半导体产业链自主化进程明显提速，国产替代需求持续释放。 除屹唐外，北方华创等国内半导体设备公司正积极推进产品迭代与客户验证，有望充分受益于国产化进程加速带来的进口替代机会。 投资建议：看好我国先进制程扩产带动RTP设备放量，重点推荐全球RTP设备龙二【屹唐股份】、平台化设备商【北方华创】。 风险提示：下游需求不及预期、各厂商技术研发不及预期等风险。