调研日期: 2025-10-30 沈阳芯源微电子设备股份有限公司是一家成立于2002年的高新技术企业,专注于半导体生产设备的研发、生产和销售,提供完整的半导体装备与工艺整体解决方案。公司总部位于沈阳市浑南区,并在上海临港设有全资子公司。芯源公司已拥有授权专利217项,其中发明专利162项,产品系列丰富,可根据用户需求量身定制。作为国内领先的高端半导体装备制造企业,芯源公司的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品已广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-ICTSV、PV等领域,可满足不同工艺等级的客户要求。芯源公司曾承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目,连续两年被评为中国半导体行业十强企业。2019年12月16日,芯源公司在上交所科创板上市,成为“辽宁省科创板第一股”。 一、介绍 2025 年前三季度经营情况 公司前三季度实现营业收入 9.9亿,同比下降 10%,主要原因一是前道 Track产品成熟性还不高,客户端验收节奏较慢;二是前道物理清洗前期交付给战略大客户的大批量机台验收推迟;三是前道化学清洗,这是公司的战略新产品,今年签单增幅比较明显,但机台从签单到交验通常需要一定时间,前三季度尚未贡献收入,预计后续会陆续贡献收入。 前三季度归母净利润-1004.9万,主要原因是营收同比下降,同时人工成本增加等导致期间费用提升等。 现金流方面,前三季度经营活动现金流净额为-2.3亿,主要原因是战略新产品前道化学清洗机签单快速增长,物料备货采买支出大幅增加,同时人员增加导致员工薪酬等支出等增加,结合业务实际来看,公司经营性现金流总体是良性的。 合同负债方面,三季度末公司合同负债较去年年末增长接近80%,也在一定程度上从侧面反映了签单的情况。 整体上,公司从经营层面,无论是收入还是利润,今年会阶段性存在一些压力。但随着北方华创在今年 6月成为公司控股股东并全面赋能 以来,公司还是发生了很多新的变化,各方面的管理精细度都在持续提升。在集团的大力支持下,公司正持续聚焦主要资源,力争在今明两年实现前道 track的快速突破,另外也将持续加大前道化学清洗新品的客户端导入力度,同时不断巩固在后道先进封装领域的领先优势,坚定信心,确保未来几年业务稳健发展。 二、互动交流 Q1:公司前三季度签单情况及全年签单预期? A1:从签单结构来看,前三季度公司整体签单中约 60%是前道,不到40%是后道封装和小尺寸产品。公司前三季度整体签单同比保持了增长,其中化学清洗机增长亮眼,前三季度的签单是去年全年的数倍,增幅非常明显,这也是奠定明年公司化学清洗机收入的重要基础。 Q2:公司全新一代前道涂胶显影机目前的研发进展情况如何? A2:公司新一代机型整体推进顺利,目前一直在司内做调试和验证,将力争在今年导入到客户端验证,有望在明年看到新一代架构高产能前道涂胶显影机在客户端的整体表现和效果,届时我们也将在合规的前提下,通过多种方式及时与广大投资者交互。 Q3:公司化学清洗机的优势? A3:芯源作为化学清洗赛道的后发者,一定要走相对差异化的路线,公司以高端工艺为抓手,以高带低,瞄准目前客户被卡脖子的两款高端机台实现卡位的同时,实现中低端工序段的切入。目前高温硫酸机台已获得了客户的认可,同时今年拿到了批量重复订单,获得了较好的客户口碑,多家头部客户在纷纷导入这款产品。超临界难度更大一些,这款机台对于晶圆厂发展高端制程非常重要,公司已陆续向多家客户发出样机开展工艺验证。从前三季度化学清洗机签单结构来看,公司的签单中大概 70%是高难度机台,还有 30%是中低难度机台,也就是说我们成功实现了高带低的设想。我们认为这个趋势是好的,也希望明年在前道化学清洗领域不同工序段能拿到更多订单,这样也有助 于公司持续扩大生产规模并综合降本。 Q4:国内化学清洗机未来几年的增长趋势? A4:对于清洗品类,目前国产化率的提升可能到了相对瓶颈期,其主要原因是国内高端产品一直没有突破,被海外厂商卡住了脖子。海外厂商出售的时候通常会采取打包销售的策略,导致国内在没有突破高端清洗的前提下,整体的国产化率提升遇到瓶颈。但我们判断,随着芯源微等厂商陆续实现高端机台突破,未来三年,前道化学清洗机国产化率还将提升至更高的水平。芯源微也将与控股股东北方华创一起,充分利用体系优势、打包优势等,争取更多的市场份额。