光刻机：自主可控最核心环节，产业迎来黄金加速期

用指导目录》中将国产KrF及ArF光刻机明确列入，标志着我国在DUV光刻机已取得明确进展。 投资逻辑国产替代势在必行。光学物镜系统在面型精度、表面光洁度指标等方便仍有较大差距投资建议建议积极关注产业链部分环节优质标的：汇成真空等。风险提示产业进展不及预期、终端需求不及预期、核心生产制造设备管控的风险。 敬请参阅最后一页特别声明 敬请参阅最后一页特别声明内容目录一、光刻机：晶圆制造最核心设备之一，技术难度最高且当前国产化率最低..............................51、光刻机是推动半导体产业延续“摩尔定律”发展的基石.........................................52、光刻机市场“三分天下”，高端机台主要被ASML垄断..........................................73、高端机型主要被ASML垄断，Nikon及Canon出货主要集中在中低端品类..........................84、当前光刻机国产化率低，海外限制加剧背景下的国产替代势在必行..............................10二、光学系统为光刻机最核心部件，蔡司是全球光学部件供应商.......................................111、全球光刻机光学市场规模达35亿美元，蔡司一家独大.........................................112、投影物镜国产之路道阻且长，蔡司技术水平遥遥领先..........................................132.1 DUV投影物镜之难：四大途径缩小像差，设计、材料、工艺、组装缺一不可.....................132.2 EUV反射系统之难：原子级平整度，仅蔡司有生产能力.......................................142.3超精密光学部件国产化虽已实现突破，但与蔡司相差甚远、任重道远...........................15三、光源及双工台同为光刻机核心部件，对光刻机效率起到重要作用...................................161、光源的波长对光刻机的工艺能力起到决定性作用..............................................161.1汞灯...................................................................................161.2准分子激光.............................................................................171.3 EUV光源...............................................................................172、双工台在光刻机中起到承载和移动晶圆的作用................................................17四、相关供应链企业努力攻坚，国内高端光刻机突破势在必行.........................................181、茂莱光学：多品类光学镜头核心供应商，应用范围广泛........................................182、汇成真空：真空镀膜设备供应商，客户涵盖业内知名科研院所..................................203、波长光电：产品覆盖广泛，光学技术储备丰富................................................214、福晶科技：布局光学晶体及精密光学元件....................................................215、福光股份：特种及民用光学镜头厂商........................................................236、腾景科技：聚焦光学元件及透镜产品........................................................24五、风险提示...................................................................................24图表目录图表1：通过改变波长、数值孔径等方案，光刻机向更高分辨率技术路线发展...........................5图表2：光刻机历经五次历史迭代.................................................................5图表3：光刻机为半导体设备中占比最大的品类，占比达24%..........................................6图表4：光刻技术水平决定芯片制造的精细化程度...................................................6图表5：光刻流程涵盖涂胶显影及曝光.............................................................7 敬请参阅最后一页特别声明图表6：ASML24年共计销售418台光刻机...........................................................7图表7：24年ASML光刻机销量约占全球市场61.2%..................................................7图表8：ASML最先进等级的EUV光刻机内部结构图...................................................8图表9：2024年全球EUV及ArFi高端光刻机被ASML垄断.............................................8图表10：ASML光刻机销量（台）..................................................................9图表11：随产品持续迭代，24年ASML光刻机均价有所提升（单位：百万欧元）.........................9图表12：2024年ASML中国大陆地区收入占比达41%，是最重要的细分市场.............................9图表13：近年来海外对华半导体政策出台一系列管制措施，自主可控势在必行.........................10图表14：上海微电子SSX600系列光刻机..........................................................11图表15：光学系统为光刻机的核心，物镜系统为最主要光学部件.....................................11图表16：光刻机光学系统主要光学部件...........................................................12图表17：ASML2024年各地区供应商分布...........................................................12图表18：2024年全球光刻机光学市场规模约为53亿美元............................................12图表19：2024年光刻机光学竞争格局.............................................................13图表20：光刻机投影物镜重量可达500kg..........................................................13图表21：光刻机投影物镜一般需要29枚镜头......................................................13图表22：蔡司最畅销的几款DUV（深紫外线）、NUV（近紫外线）物镜系统.............................14图表23：EUV光刻光学工艺更为复杂..............................................................15图表24：EUV特性要求采用全反射的投影物镜系统..................................................15图表25：蔡司主要EUV光学部件.................................................................15图表26：蔡司光刻机光学加工工艺远超茂莱光学...................................................16图表27：光刻机光源的变化.....................................................................16图表28：可见光谱图示.........................................................................17图表29：ASML TWINSCAN XT系列工件台...........................................................18图表30：茂莱光学生产的光学器件及光学系统.....................................................19图表31：茂莱光学生产的透镜产品...............................................................19图表32：2024年茂莱光学产品收入结构...........................................................20图表33：汇成真空电子束蒸发高精密光学镀膜机可以承载稀有金属膜料镀膜...........................20图表34：汇成真空24年营收5.2亿元，同比+35.8%................................................21图表35：汇成真空24年净利润0.08亿元，同比-16%...............................................21图表36：波长光电24年营收4.16亿元，同比+14.32%..............................................21图表37：波长光电24年净利润0.37亿元，同比-29.28%............................................21图表38：福晶科技生产的晶体、光学元件及激光器件...............................................22图表39：至期光子股权结构（截止2025年6月8日）..............................................22图表40：至期光子2024年营收