SEMICONChina2025召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段（20250324-20250330）

SEMICON China2025召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段（20250324-20250330） 报告摘要 行情回顾 本期（3月24日-3月30日），沪深300上涨0.01%，机械板块下跌3.56%，在所有一级行业中排名28。细分行业看，激光加工设备涨幅最大，上涨0.20%；油气装备跌幅最大，下跌6.78%。 本周观点 ◼子行业评级 SEMICON China 2025召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段。2025年3月26-28日，SEMICON China 2025于上海召开，全球1400多家知名企业参展，增幅27%，展位数量突破5000个，创历史新高。本次展会，国产企业大放异彩，密集推出新产品，其中：1）北方华创带来多款设备方案，并重磅发布两款新品，首款离子注入机Sirius MC 313、首款12英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830，半导体设备版图进一步拓宽。2）盛美上海晶圆级与面板级封装设备亮相，部分新产品包括Tahoe-SPM清洗设备、单片高温硫酸清洗设备、面板级先进封装电镀设备等。3）中微公司发布12英寸边缘刻蚀设备Primo Halona，关键工艺全面覆盖再进一步，同时推出多款LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备新产品，并获得了重复性订单，以及新开发硅和锗硅外延EPI设备等多款新产品，也将在近期投入市场验证。4）拓荆科技展示其最新的ALD系列、3D-IC及先进封装系列、CVD系列新品。5）新凯来首次公开亮相，其从薄膜沉积设备到光学检测系统，展台几乎覆盖了芯片制造的关键环节，为行业带来了新的竞争格局和发展机遇。本次SEMICON China展，国产半导体设备厂商技术迈入新阶段，加速国产替代，看好产业链投资机会。 ◼推荐公司及评级 相关研究报告 证券分析师：崔文娟电话：021-58502206E-MAIL：cuiwj@tpyzq.com分析师登记编号：S1190520020001 证券分析师：刘国清电话：021-61372597E-MAIL：liugq@tpyzq.com分析师登记编号：S1190517040001证券分析师：张凤琳 电话：E-MAIL：zhangfl@tpyzq.com分析师登记编号：S1190523100001 风险提示 宏观经济波动，外部需求波动。 目录 一、行业观点及投资建议............................................................4二、行业重点新闻..................................................................4三、重点公司公告..................................................................9(一)经营活动相关...................................................................9(二)资本运作相关..................................................................11四、板块行情回顾.................................................................12五、风险提示.....................................................................14 图表目录 图表1：中信所有一级行业本周涨跌幅..................................................13图表2：细分行业周度涨跌幅..........................................................13 一、行业观点 周核心观点： SEMICON China 2025召开，国产半导体设备企业技术迈入新阶段。 2025年3月26-28日，SEMICON China 2025于上海召开，全球1400多家知名企业参展，增幅27%，展位数量突破5000个，创历史新高。本次展会，国产企业大放异彩，密集推出新产品，其中：1）北方华创带来多款设备方案，并重磅发布两款新品，首款离子注入机Sirius MC313、首款12英寸电镀设备（ECP）——Ausip T830，半导体设备版图进一步拓宽。2）盛美上海晶圆级与面板级封装设备亮相，部分新产品包括Tahoe-SPM清洗设备、单片高温硫酸清洗设备、面板级先进封装电镀设备等。3）中微公司发布12英寸边缘刻蚀设备Primo Halona，关键工艺全面覆盖再进一步，同时推出多款LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备新产品，并获得了重复性订单，以及新开发硅和锗硅外延EPI设备等多款新产品，也将在近期投入市场验证。4）拓荆科技展示其最新的ALD系列、3D-IC及先进封装系列、CVD系列新品。5）新凯来首次公开亮相，其从薄膜沉积设备到光学检测系统，展台几乎覆盖了芯片制造的关键环节，为行业带来了新的竞争格局和发展机遇。本次SEMICON China展，国产半导体设备厂商技术迈入新阶段，加速国产替代，看好产业链投资机会。 二、行业重点新闻 【工程机械】首批启程！中联重科300马力动力换挡拖拉机智护春耕 近日，中联重科首批20台PZ3004动力换挡拖拉机从河南开封启程奔赴新疆，为当地春耕生产注入智能化动力。作为国产农机领域的创新标杆，中联重科深耕动力换挡技术多年。此前推出的PL2304动力换挡拖拉机成功填补国内市场空白。此次交付市场终端的PZ3004动力换挡拖拉机，通过技术升级进一步优化换挡平顺性与驾乘舒适性，集成6速区间动力换挡、AMT智能变速箱及360°全景正压驾驶室等核心配置，成为国产高端农机的新突破。 【工程机械】刷新世界纪录！“强基号”隧道掘进机今日在铁建重工下线 3月26日，国内自主研发的全球直径最大的土压平衡－双护盾组合式隧道掘进机“强基号”在湖南长沙成功下线，未来将用于扩大杭嘉湖南排后续西部通道工程南段隧洞施工。“强基号”最大开挖直径达12.68米，整机长107米，总重量3500吨。未来主要承担扩大杭嘉湖南排后续西部通道工程南段12.28公里输水隧洞的掘进任务，最大掘进埋深处约350米。针对隧洞软硬不均、软硬 交替等复杂地层情况，“强基号”采用“土压盾构－双护盾隧道掘进机”共存双模设计，创造性解决了复杂地层掘进难题，提升了隧道掘进机整体施工效率；同时，搭载智能掘进系统与超前地质预报系统，进一步提高掘进机的智能化和自动化水平。据悉，扩大杭嘉湖南排后续西部通道工程是国内城市排涝规模、洞径和埋深最大的深层隧洞排水系统工程，该工程主要任务为防洪排涝，兼顾改善水生态环境。工程建成后，将进一步减轻太湖流域防洪压力，保障杭州城西防洪排涝安全，构筑杭州主城区安全屏障，对推动区域经济高质量发展提供水安全保障具有重要意义。 【机器人】瑞士团队将机器人与“脊髓假体”首次无缝集成，可恢复瘫痪者运动能力 据科技日报报道，瑞士NeuroRestore团队开发出一种先进系统，能够将植入式脊髓神经假体与康复机器人无缝结合，通过发出精确电脉冲来刺激肌肉，配合机器人的运动，在治疗过程中产生自然而有效的肌肉活动。研究结果发表在最新一期《科学・机器人学》杂志上。新技术使用完全植入式的脊髓刺激器提供仿生电硬膜外刺激，这种方法通过模仿自然神经信号，更有效地激活运动神经元，区别于传统的功能性电刺激。 【机器人】国内首次！机器人要在无锡开运动会！ 3月24日，“2025世界机器人大赛——首届具身智能机器人运动会”新闻发布会透露，将于2025年4月24日至26日在无锡市惠山区举办的运动会，由中国电子学会主办、无锡市惠山国有投资控股集团有限公司和中国人形机器人百人会共同承办，是国内首次举办的具身智能人形机器人综合性运动会，由竞赛展示、嘉年华活动、主题会议组成，以创新的形式、多元的内容，展示科技创新成果，点燃全民创新引擎。“嘉年华活动将通过场景展示、游戏互动等多种方式，让大众近距离与机器人互动，感受科技创新的魅力，推动科技产品的普及和发展。”世界机器人大赛组委会秘书长李洋说，竞赛展示将设置竞技展示类、应用场景类和人机互动类三部分展示内容，从多维度展现具身智能技术成果及综合能力。同时，将围绕技术创新和场景应用设置相关奖项和奖金。运动会期间还将举办“人形机器人百人会论坛暨人工智能赋能新型工业化深度行（无锡站）活动”主题会议，多位具身智能领域院士专家和行业领袖齐聚一堂，围绕具身智能技术和产业发展的痛点、难点及未来发展趋势等话题展开深度对话。此外，无锡市关于人工智能、具身智能发展的若干政策文件、“具身智能+”典型场景案例、应用场景需求清单和采购意向订单等重磅内容将发布。 【机器人】我国首套自主研发重载铁路智能调车系统投运 3月22日9点56分，随着国家能源集团朔黄铁路黄骅港站远程操控台控制双源制机车完成 载有5394吨煤炭列车对位作业，我国自主研发的首套重载铁路智能调车系统正式投入运营，实现我国在重载铁路智能化领域又一突破。此次投运的重载铁路智能调车系统应用了三大首创技术：首个基于“云脑”的路港一体化智能调度平台，实现路港计划自动编制、空重车进路自动办理、翻前自动对位、翻后自动取送以及室外调车作业全流程精细化控制等功能；首个基于5G +北斗的调车自动驾驶“云控”技术，实现调车机车远程驾驶、自动驾驶，实现推进、对位等作业无人化。调车机车可实时感知周边200米范围内道岔、信号机状态，自主完成加减速控制、停车对位等关键操作，通过优化调机操纵策略，每列车作业时间至少压缩20%；首个基于5G+AI的路港协同作业的“云防”安全技术，实现车态检查、黄端识别、车号识别、线路预警、入侵检测、周界防护、人员精确定位等功能。 【机器人】智元举办首届供应商大会，携手百余家合作伙伴开创机器人发展新篇章 3月26日，智元机器人首届供应商大会在上海成功举办，智元与众多供应商伙伴共聚一堂，以“智领未来・共创共赢”为主题，探讨产品共创，效率共提，质量共建，成本共优等协同合作创新发展的新机遇。大会现场，智元机器人为两百余位来自各地的嘉宾代表分享了公司发展的长远规划，技术创新的最新成果，以及最新的供应链布局和合作契机，并向优秀供应商伙伴颁发奖项，携手开创智能机器人发展的新篇章。自成立以来，智元机器人以惊人的“智元速度”取得了一系列令人瞩目的成绩。成立半年发布首款产品远征A1，2024年1月制造工厂落地上海，8月发布远征A2及灵犀X1等系列产品，9月自建3000+平数采工厂。在今年1月，智元更是完成了累计量产下线1000台通用具身机器人的行业壮举，刷新行业记录。智元机器人致力以AI+机器人的融合创新，打造世界级领先的通用具身机器人产品及应用生态。目前，智元机器人拥有远征、精灵、灵犀三大机器人家族，产品覆盖多种商用场景。在今年一季度，智元已重磅发布首个通用具身基座模型——智元启元大模型（GO-1），全智能灵动机器人灵犀X2，另外还推出了众多的创新技术和方法，包括仿真框架和海量仿真数据集AgiBot Digital World、全新的数据采集范式ADC、OmniManip架构、4D世界模型EnerVerse等等。接下来，智元还将为行业带来更多的产品和技术创新。面对飞速发展的智能机器人产业和日新月异的AI技术，智元将携手供应商伙伴，以更加高效、深入的供应链合作，推动更广泛的应用，共同开创通用机器人的新局面。 【机器人】速腾聚创“机器人之眼”发布！开创AI感知新时代 2025年3月28日，RoboSense速腾聚创正式发布机器人视觉全新品类Active Camera的首款产 品AC1及AI-Ready生态，为行业提供颠覆性的机器人感知开发一站式解决方案。AC1作为ActiveCa