半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产

半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产 【华西机械团队】 分析师：黄瑞连SACNO：S1120524030001邮箱：huangrl@hx168.com.cn 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明2024年12月5日 核心观点 本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长。公司是本土半导体工艺辅助设备龙头，Chiller&L/S唯一国内均可量产供应商，产品充分适配国内最先进的14nm逻辑芯片和192层3DNAND存储芯片产线，供货长江存储、中芯国际、长鑫科技、华虹等头部客户。受益于国内晶圆厂扩产&国产替代，公司业绩持续快速增长。1）收入端：2023年公司营业收入达到7.42亿元，2019-2023年CAGR为33.9%，2024Q1-3收入为7.72亿元，同比+28%。2024Q3末公司存货17亿元，同比+116.5%；合同负债6.2亿元，同比+86.3%，在手订单充足，将保障短期收入端快速增长。2）利润端：2020年公司扭亏为盈，2023年归母净利润1.19亿元，同比+30.8%，2020-2023年CAGR高达111%，利润端表现较收入端更加出色。2020-2024Q1-3年公司销售净利率分别为1.82%、11.73%、13.73%、16.05%和16.8%，盈利水平持续提升。 先进制程扩产趋势下，Chiller&L/S是价值量提升最明显环节。大基金三期落地彰显国家解决半导体“卡脖子”决心，先进逻辑+存储将是主要投资方向，叠加AI驱动下先进制程扩产的产业趋势已经确立。节点升级将大幅提升资本开支，不仅是核心设备总用量提升，先进制程设备单台价值量同样提升明显，Chiller&L/S价值量提升尤为明显。以Chiller为例，先进逻辑7nm节点每万片需求量将提升3-4倍；先进NAND提升更为明显，高深宽比蚀刻需引入低温蚀刻技术来满足工艺需求，每万片新增超低温Chiller需求约100台，且单价大幅提升，可见Chiller价值量提升显著高于其他工艺制程设备，此外，先进制程扩产同样带来L/S价值量提升。根据我们测算，2024-2025年中国大陆Chiller&L/S合计市场规模达到59.8/64.1亿元，高于Chiller&L/S各1%的价值量占比测算。 公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间。1）不同于其他前道工艺设备，Chiller&L/S可完全实现进口替代，公司先进制程收入敞口接近100%，考虑到公司Chiller在大陆头部先进制程客户接近实现独供，短期最先受益先进制程晶圆厂扩产，以2023分别为15亿元、33元亿计算，公司Chiller&L/S的市占率为29%、11%，中长期看公司Chiller&L/S整体市占率仍有较大提升空间。2）后服务市场收入已成为海外半导体设备龙头重要收入来源，23财年AMAT/LAM后市场收入占比高达22%/38%可以得到印证。公司后市场服务主要包括零配件和维保服务，IPO募投着力布局L/S核心零部件火炬头的自制产能。2023年公司后市场收入仅为6547万元，收入占比仅9%，远低于海外成熟公司后市场收入占比，2019-2023年公司累计实现设备收入21.64亿元，按照后市场收入占设备价值量10%，公司自有设备配套的后市场空间约2.2亿元，我们判断随着公司Chiller&L/S持续大规模出货，后服务业务有望加速增长，成为公司重要的增长点。 投资建议：我们预计公司2024-2026年营业收入为10.23、15.22和19.97亿元，同比+38%、49%和31%；2024-2026年归母净利润为1.61、2.80和4.16亿元，同比+35%、74%和49%；2024-2026年EPS为0.96、1.67和2.48元，2024/12/4股价53.5元对应PE为56、32、22倍，考虑到公司为本土半导体工艺辅助设备龙头，后市场业务成长逻辑清晰，首次覆盖，给予“增持”评级。 风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、海外制裁超预期加剧、行业竞争加剧等 目录 投资建议与风险提示 1.1引领Chiller&L/S设备进口替代，供货大陆先进制程客户 京仪装备成立于2016年，是国内领先的半导体工艺辅助设备公司，专注于温控设备（Chiller）、工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆传片设备（Sorter）三大类产品，同时还提供设备零部件及维修服务。北京自动化院为京仪集团下属研究院，在温度控制、机械手运功轨迹控制方面已有较强技术积累，公司在此基础上成立并快速发展。成立仅一年后，公司半导体温控设备、工艺废气处理设备分别通过中芯国际、长江存储、大陆英特尔产线验证；2021年公司Chiller实现超低温-70°C温控，L/S处理量上限提升至1600slm，产品不断迭代升级，全面适配LAM、TEL、中微公司、北方华创等设备的工艺需求，引领Chiller&L/S设备进口替代。 1.1引领Chiller&L/S设备进口替代，供货大陆先进制程客户 作为工艺辅助设备，公司三大类产品广泛应用于晶圆制造各环节，而且设备性能已充分满足国内先进制程客户量产需求。 1）半导体温控设备（Chiller）：即对反应腔温度、压力和流量进行精密控制，用于刻蚀、沉积、扩散等环节。公司竞争力较强，可满足14nm逻辑芯片和192层3D NAND存储芯片等先进制程量产需求，2022年公司Chiller国内市占率为35.7%，连续三年位居第一。此外，公司创造性通过两级复叠技术实现-70°C超低温温控，国际领先，并朝着更低温控区间进行研发。2）半导体工艺废气处理设备（LocalScrubber）：即对各环节产生的工业废气进行无害化处理，主要用于刻蚀、沉积等环节。目前公司产品可应用于28nm以上逻辑芯片量产，以及192层3DNAND存储芯片的先进制程产线。公司竞争力持续提升，2022年公司L/S设备国内市占率为15.6%，排名第四，与第一名份额仅差3pct。3）晶圆传片设备（Sorter）：贯穿整个制造流程，公司已覆盖微晶背接触式、真空式和夹持式三种主流技术路线，根据公司招股书披露，目前WPH和重复精度指标对标国外产品，可满足先进制程产线需求。目前市场主要由国外厂商主导，随着公司第三代设备实现量产，收入规模及市场占有率有望迎来0-1突破。 1.1引领Chiller&L/S设备进口替代，供货大陆先进制程客户 温控设备为公司主要收入来源，先进制程收入占比超过95%。1）从收入结构看，①温控设备为公司主要收入来源，2019-2024H1收入占比分别为65%、55%、50%、48%、62%和65%。②受益于产品技术不断突破，工艺废气设备已成为公司收入第二大增长点，2024H1年收入占比达30%。③备件及维保服务，收入占比长期在10%左右；晶圆传片设备收入体量较小，处于0-1突破阶段。综合来看，温控设备和工艺废气设备合计收入占比约90%，构成公司收入主体。2）若按照应用产线制程划分，2020-2023H1公司半导体专用设备中先进制程产品收入占比分别为97%、98%、99%和97%，可见不同于传统工艺制程设备，公司Chiller、L/S完全可以实现进口替代，是板块先进制程敞口最大的公司之一。 1.1引领Chiller&L/S设备进口替代，供货大陆先进制程客户 公司客户集中度较高，涵盖长江存储、中芯国际、华虹集团等国内头部晶圆厂。2020-2023H1公司前五大客户营收占比超过70%，客户集中度较高，基本涵盖了本土头部晶圆厂，其中长江存储常年位列公司第一大客户，2021年营收占比最高超过50%，后续虽有所下降，但仍保持在30%；2023H1长鑫科技进入前五大客户，进一步彰显公司产品在存储领域的市场竞争力。此外，我们注意到2020-2023H1公司前五大客户营收占比逐渐降低，主要系客户群体持续扩张。 1.2核心人员激励充分，高管具备晶圆厂工作背景 实控人为北京市国资委，公司具备深厚的区域性资源优势。截至2024Q3，北京市国资委通过北控集团、京仪集团持有公司28.13%股份，为公司实际控制人。集成电路产业链作为北京市高精尖产业发展重点，高校科研资源丰富&半导体产业基金密集，公司背靠北京国资委，具备深厚的区域性资源优势和资本实力。 1.2核心人员激励充分，高管具备晶圆厂工作背景 我们注意到公司设立安徽北自作为员工持股平台，持股份额高达17.2%（见上页），是公司第二大股东，持股员工包括副董事长赵力行、总经理于浩，以及芮守祯、杨春水、吕维迪等核心技术骨干。此外，持股员工范围不止局限于管理层及产品研发部门，采购部、销售部及生产制造部人员均有不同比例持股，将公司利益与核心员工紧密捆绑，利于公司长期发展。 1.2核心人员激励充分，高管具备晶圆厂工作背景 公司管理层产业经验丰富，晶圆厂背景利于工艺设备的开发。公司高管技术出身且产业经验丰富，总经理于浩和副总经理周亮曾长期任职于中芯国际、大连英特尔、紫光集团，我们认为晶圆厂工作经历对工艺设备理解更加深刻，也是公司产品能持续快速突破的重要因素。此外，芮守祯、何茂栋等Chiller研发负责人均来自于北京自动化院，公司借助北京自动化院良好基础快速发展；Scrubber技术总监杨春水从业经验达14年，曾在国际主流厂商爱德华公司工作5年，在一线积累了大量应用经验。 1.2核心人员激励充分，高管具备晶圆厂工作背景 公司持续加大研发支出，研发费用率高于国外同行。1）半导体行业作为典型的技术密集型行业，技术迭代快，持续的研发投入至关重要。2019年公司研发费用0.21亿元，2023年达到0.61亿元，期间CAGR高达30%，2024Q1-Q3研发费用同比+65.39%，投入力度进一步加大，推测与新品的布局有一定关系。2）研发费用率方面，公司研发费用率低于前道工艺设备公司，主要系产品相对聚焦，研发项目方向集中，而且已经取得一定的领先地位，研发效率高；此外，公司侧重算法、控制系统的优化，研发投入不以原材料为主，研发成果转化率也高。相比海外同行，公司研发投入强度明显高于平均水平，有助于公司持续实现技术突破，不断缩小与海外公司的技术差距。 1.2核心人员激励充分，高管具备晶圆厂工作背景 公司已掌握多项温控、废气处理和晶圆传控核心技术，相关技术水平国内领先。Chiller和L/S的主要技术壁垒在于精密温控算法、热场结构与流场结构设计、循环系统等，而Sorter设备在于稳定运行算法和洁净度。公司依靠自主研发，已掌握13项相关核心技术，三大产品分别在温控区间、废气处理量、WPH、稳定性等关键性能指标方面实现对标国外产品，不同于前道工艺制程设备，公司Chiller、L/S完全可以实现进口替代，最先受益先进制程扩产。 1.3收入规模快速扩张，盈利水平持续提升 受益于Chiller&L/S设备快速放量，公司收入规模快速扩张。1）2019年公司营收为2.31亿元，2023年达到7.42亿元，期间CAGR达到33.9%，实现快速增长。2024Q1-Q3营业收入7.72亿元，同比+27.84%，延续较好增长势头。2）分产品来看，2023年Chiller和L/S分别实现营收4.61亿元、2.16亿元，2019-2023年CAGR分别达到32.4%和56.7%，是公司收入端持续快速增长的主要驱动力。2020-2021年公司L/S设备放量明显，根据公司招股书披露，主要系公司自研Kylin系列产品通过长江存储产线验证，大连英特尔、长江存储批量下单。 1.3收入规模快速扩张，盈利水平持续提升 利润端，2020-2023年公司归母净利润CAGR高达111%，高于同期收入端增速，盈利能力持续提升。2019年公司仍处于亏损状态，2020年扭亏为盈，利润端正式进入高速增长阶段，2023年公司归母净利润达到1.19亿元，2024Q1-3达到1.30亿元，同比+11.14%。进一步分析发现，2019年以来公司销售净利率和扣非销售净利率均呈现明显上行趋势，2024Q1-3分别达到1