深耕半导体专用温控/废气处理设备，国内市场份额稳步提升

公司近一年市场表现 投资要点： 半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动业绩快速增长。公司作为国内实现进口替代的半导体专用设备供应商，主营产品包括半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆传片设备（Sorter），其中温控设备收入占比超60%。受益于半导体产业市场需求的持续增长以及产品竞争优势，公司产品销售数量持续增长，整体收入 业绩稳步增长，2022-2024年公司收入/归母净利润CAGR为24.36%/29.54%。 半导体专用温控设备市场集中度较高，公司产品市占率国内领先。半导 请务必阅读最后股票评级说明和免责声明1 公司研究/深度分析 2025年6月13日 深耕半导体专用温控/废气处理设备，国内市场份额稳步提升 增持-A(首次) 京仪装备（688652.SH） 半导体设备 市场数据：2025年6月12日 收盘价（元）：52.71 总股本（亿股）：1.68 流通股本（亿股）：1.02 流通市值（亿元）：53.87 基础数据：2025年3月31日 每股净资产（元）：12.56 每股资本公积（元）：8.97 每股未分配利润（元）：2.42 资料来源：最闻 分析师：叶中正 执业登记编码：S0760522010001电话： 邮箱：yezhongzheng@sxzq.com谷茜 执业登记编码：S0760518060001电话：0351-8686775 邮箱：guqian@sxzq.com 体专用温控设备主要应用于刻蚀制程。根据QYResearch，预计2031年全球半导体温控设备市场规模将达到12.3亿美元。公司温控设备主要应用于先进 制程产线，适配业内主流厂商的工艺设备。据测算，预计2023-2025年，中国半导体专用温控设备市场规模将达到13.27/16.01/16.99亿元。国内市场集中度较高,2018年至2022年国内CR6约90%，以ATS、SMC为代表，公司打破国外厂商垄断、22年温控设备国内市占率排名第一，24年国内市占率约39%。公司产品核心技术指标处于国内领先、国际先进水平，并向超低温方向研发新品。 半导体专用工艺废气处理设备需求提升空间大，公司产品市占率稳步提升。半导体专用工艺废气处理设备主要应用于薄膜沉积和刻蚀环节。根据QYResearch，预计2030年全球半导体废气处理设备市场规模达23.51亿美元。公司废气处理设备已批量化应用在晶圆制造产线，与主流厂商设备完成匹配验证。据测算，预计2023-2025年，中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模将达到23.70/24.26/24.71亿元。国内市场集中度较高,2018年至2022年国内CR6约90%，以爱德华、戴思为代表，公司是半导体专用工艺废气处理设备领域内主要的国内厂商，市占率稳步提升、22年国内市占率上升至第四，24年国内市占率约13%。 晶圆传片设备国产化率极低，公司产品本土优势显著。公司晶圆传片设备主要应用于逻辑芯片90nm-28nm等各种工艺需求，目前主要针对12英寸晶圆产线设计。根据QYResearch，预计2028年国内半导体晶圆传输设备市场规模达3.33亿美元，销量超3000台。晶圆传片设备国内市场本土厂商市场份额占比极低，主要供应商包括京仪装备、瑞斯福公司、平田公司等。与境外竞争对手相比，公司产品性价比高，在技术服务、响应速度等方面拥有本土企业优势，率先实现晶圆传片设备的国产替代。 盈利预测、估值分析和投资建议：公司是极少数实现Chiller/Scrubber设备 国产替代量产出货的本土设备供应商。公司凭借领先的研发能力、可靠的产品质量和优秀的客户服务水平，产品逐步实现进口替代，并已广泛用于长江存储、中芯国际、华虹集团等国内主流集成电路制造产线。据测算，预计到2025年，公司现有产品在中国的合计市场空间约达60亿元，国产替代趋势下公司市场份额提升空间较大。公司24H1新签订单约10.5亿元，在手订单约22亿元，预测全年累计新增订单将达到16-19亿元。预计公司2025-2027年分别实现营业收入13.72/17.32/21.33亿元，归母净利润2.24/3.19/4.04亿元，对应EPS分别为1.34/1.90/2.40元，以6月12日收盘价52.71元计算，25-27年PE分别为39.48X/27.72X/21.94X。首次覆盖给予“增持-A”评级。 风险提示：贸易摩擦与地缘政治矛盾风险、下游行业市场需求降低风险、市场竞争风险、技术升级迭代的风险、客户集中的风险、首发限售解禁后股东减持风险。 财务数据与估值： 会计年度 2023A 2024A 2025E 2026E 2027E 营业收入(百万元) 742 1,026 1,372 1,732 2,133 YoY(%) 11.8 38.3 33.6 26.3 23.1 净利润(百万元) 119 153 224 319 404 YoY(%) 30.7 28.4 46.7 42.4 26.4 毛利率(%) 38.4 32.8 34.1 35.7 36.7 EPS(摊薄/元) 0.71 0.91 1.34 1.90 2.40 ROE(%) 6.2 7.4 9.8 12.2 13.4 P/E(倍) 74.3 57.9 39.5 27.7 21.9 P/B(倍) 4.6 4.3 3.9 3.4 2.9 净利率(%) 16.0 14.9 16.4 18.4 18.9 资料来源：最闻，山西证券研究所 目录 1.半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动收入快速增长6 1.1公司是半导体专用温控设备领域内主要的国内厂商6 1.2半导体设备市场需求旺盛，公司产品销量持续增长带动收入提升7 2.半导体专用温控设备市场集中度较高，公司产品市占率国内领先9 2.1受下游半导体制造市场推动，半导体专用设备应用领域广泛9 2.2预计2031年半导体温控设备全球规模达12亿美元，竞争格局较为集中11 2.3量价齐升带动温控设备收入增长，国内市场空间较大12 2.4核心技术指标国际先进、国内领先，2024年温控设备国内市占率约39%15 3.半导体专用工艺废气处理设备需求提升空间大，公司产品市占率稳步提升17 3.1预计2030年半导体废气处理设备全球规模超20亿美元，CR3超50%17 3.2销量整体上升带动废气处理设备收入增长，国内需求提升空间较大19 3.3关键性能参数国内领先，废气处理设备市占率稳步提升22 4.晶圆传片设备国产化率极低，公司产品本土优势显著23 4.1预计2028年国内半导体晶圆传输设备市场规模超3亿美元23 4.2晶圆传片设备国产化率极低，公司产品性价比高率先实现国产替代25 5.盈利预测及估值27 5.1盈利预测27 5.2可比公司估值28 6.风险提示29 6.1行业风险29 6.2经营风险30 图表目录 图1：公司主营业务发展历程6 图2：公司股权结构（持股2%以上）7 图3：公司营业收入及同比增速（亿元，%）8 图4：公司归母净利润及同比增速（亿元，%）8 图5：公司主营产品收入结构（%）8 图6：公司主营产品毛利率（%）8 图7：2024年研发费用率同行比较（%）9 图8：2023-2024年综合毛利率同行比较（%）9 图9：半导体专用设备主要应用的环节10 图10：2022年中国半导体专用温控设备各工艺环节市场规模占比（%）11 图11：2022年中国半导体专用温控设备各工艺环节应用数量占比（%）11 图12：全球半导体温控设备市场规模及CAGR（亿美元，%）12 图13：2025年全球半导体温控设备市场前10强生产商排名及市场占有率（%）12 图14：公司半导体专用温控设备与工艺设备的连接示意图13 图15：公司半导体专用温控设备销量变动情况14 图16：公司半导体专用温控设备价格变动情况14 图17：国内主要供应商的市占率情况16 图18：2018-2024年中国半导体专用温控设备市场规模及京仪装备市场占有率（万美元，%）16 图19：2022年中国半导体专用工艺废气处理设备各工艺环节市场规模占比（%）18 图20：2022年中国半导体专用工艺废气处理设备各工艺环节应用数量占比（%）18 图21：2019-2030年全球半导体废气处理设备市场销售额及增长率(亿美元，%)18 图22：2023年全球前五大生产商半导体废气处理设备市场份额（%）18 图23：公司半导体专用工艺废气处理设备与工艺设备的连接示意图19 图24：公司半导体专用工艺废气处理设备销量变动情况20 图25：公司半导体专用工艺废气处理设备价格变动情况20 图26：国内主要供应商的市占率情况22 图27：2018-2024年中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模及京仪装备市场占有率（万美元，%）22 图28：公司晶圆传片设备的运行示意图24 图29：2018年-2022年全球EFEM及晶圆传片设备市场规模及增速（亿美元，%）25 图30：2023-2028年中国EFEM及晶圆传片设备市场规模及销量预测（亿美元，台）25 图31：2021年全球半导体晶圆传输设备市场生产商市占率排名26 图32：公司晶圆传片设备销量及价格变动情况26 表1：2023-2025年半导体专用温控设备市场空间测算14 表2：2023-2026年公司半导体专用温控设备主要客户需求规模测算15 表3：公司与ATS公司、SMC公司主要竞品的指标对比情况17 表4：2023-2025年半导体专用工艺废气处理设备市场空间测算21 表5：2023-2026年公司半导体专用工艺废气处理设备主要客户需求规模测算21 表6：公司与爱德华公司、戴思公司主要竞品的指标对比情况23 表7：公司晶圆传片设备与国外主流竞品主要技术指标对比情况26 表8：公司营业收入预测（百万元，%）28 表9：可比公司估值比较29 1.半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动收入快速增长 1.1公司是半导体专用温控设备领域内主要的国内厂商 公司半导体专用温控设备已打破国外厂商垄断。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品包括半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆传片设备（Sorter）。公司半导体专用温控设备已打破国外厂商垄断，公司是国内极少数实现半导体专用温控设备和半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商，公司产品技术水平国内领先、国际先进。 图1：公司主营业务发展历程 资料来源：公司招股书，山西证券研究所 公司实控人为北京市国资委。截至2025年6月5日，持有公司5%以上股份的主要股东包括京仪集团和安徽北自，持股占比分别为28.13%和15.0%，京仪集团的股东北控集团系北京市国资委全资持股的国有独资公司，为公司的直接控股股东。北京市国资委直接持有北控集团100%的股权，通过北控集团、京仪集团间接持有公司28.13%的股份，是公司的实际控制人。 图2：公司股权结构（持股2%以上） 资料来源：iFinD，山西证券研究所 1.2半导体设备市场需求旺盛，公司产品销量持续增长带动收入提升 公司主营半导体专用温控/工艺废气处理设备，产品销量持续增长。公司主营业务收入主要来源于半导体专用设备，主要包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备、晶圆传片设备等自动化设备，主营业务收入逐年快速增长。2022-2024年，公司营业收入分别为6.64/7.42/10.26亿元，同比分别增长32.38%/11.84%/38.28%，2022年至2024年年均复合增长率为24.36%；归母净利润0.91/1.19/1.53亿元，同比分别增长54.95%/30.75%/28.35%，2022年 至2024年年均复合增长率为29.54%。受益于半导体产业市场需求的持续增长以及公司产品竞争优势，公司产品销售数量持续增长，整体销售收入稳步增长。2025年一季度，公司营收3.