首次覆盖报告：半导体量检测设备"破局者"，领航先进制程扩产新征程

中科飞测是国内领先的半导体质量控制设备与软件提供商，聚焦晶圆前道与先进封装的质量控制核心赛道。2025H1公司实现营业收入7.02 亿元，同比增长约 51.39%。随着国内先进制程晶圆代工扩产，资本开支上升+设备国产化率将提升。预测25-27年公司有望实现营业收入 20.61/31.28/44.13亿元，实现归母净利润1.84/4.11/7.18亿元。当前股价对应25-27年PS为23.17/15.27/10.82倍，首次覆盖给予“增持”评级。

公司聚焦三大核心板块：检测设备、量测设备和智能软件，覆盖晶圆前道与先进封装的质量控制全链路。产品体系涵盖12类关键产品，包括无图形/图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌/介质薄膜膜厚/套刻精度/光学关键尺寸量测设备等，以及良率管理系统、缺陷自动分类系统、光刻套刻分析反馈系统等智能软件。公司已广泛应用在中芯国际、长江存储等国内主流集成电路制造产线，2024年底交付量突破千台，覆盖全球66.6%的质量控制设备市场空间。

核心逻辑在于：1）国产前后道量检测设备龙头，广泛覆盖国内主要晶圆厂、封测厂，有望显著受益于国内晶圆厂扩产；2）前道量检测设备国产化率低，高弹性有望带来高增长，国产设备已覆盖 28 nm 及以上制程主要工艺环节，并在部分细分领域实现 14 nm 节点的技术突破；3）公司不断拓展量检测产品线，先进制程设备放量可期，正向 14nm、7nm 及先进封装场景扩展并推进电子束关键尺寸量测等前瞻项目。

风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期风险、竞争格局恶化风险、上游核心零部件短缺风险、技术迭代不及预期风险。