中科飞测(688361)首次覆盖报告：半导体量检测设备"破局者"，领航先进制程扩产新征程

证券研究报告2025年11月10日 半导体量检测设备"破局者"，领航先进制程扩产新征程 中科飞测（688361.SH）首次覆盖报告 核心结论 【核心结论】 中科飞测是国内领先的半导体质量控制设备与软件提供商，聚焦晶圆前道与先进封装的质量控制核心赛道。2025H1公司实现营业收入7.02亿元，同比增长约51.39%。后续随着国内先进制程晶圆代工扩产，资本开支上升+设备国产化率将提升。我们预测25-27年公司有望实现营业收入20.61/31.28/44.13亿元，实现归母净利润1.84/4.11/7.18亿元。当前股价对应25-27年PS为23.17/15.27/10.82倍，首次覆盖给予“增持”评级。 【核心逻辑】 国产前后道量检测设备龙头，广泛覆盖国内主要晶圆厂、封测厂。2024年底，公司交付量突破千台，覆盖全球66.6%的质量控制设备市场空间。公司量检测设备已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线。公司有望显著受益于国内晶圆厂扩产，加速导入国产量检测设备，订单及收入规模实现快速增长。 分析师 前道量检测设备国产化率低，高弹性有望带来高增长。根据光刻人的世界公众号统计，截至2025年9月，中国半导体量检测设备国产化率16.4%，较2023年提升5.2个百分点。国产设备已覆盖28 nm及以上制程主要工艺环节，并在部分细分领域实现14 nm节点的技术突破。虽然与国际领先厂商在先进制程环节仍存在约2–3代差距，但本土厂商正快速缩小差距。中科飞测已具备28–14 nm节点及先进封装领域的批量交付能力，部分产品进入验证阶段，标志着国产设备正从“补位”走向“并跑”。 葛立凯S080052508000918321289971gelikai@research.xbmail.com.cn 相关研究 公司不断拓展量检测产品线，先进制程设备放量可期。公司在深紫外成像、缺陷识别算法等方面持续突破，正向14nm、7nm及先进封装场景扩展并推进电子束关键尺寸量测等前瞻项目；先进制程明场光学、暗场光学前道量检测设备有望逐步由验证阶段进入放量阶段，进一步打开公司成长空间。 风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期风险，竞争格局恶化风险，上游核心零部件短缺风险，技术迭代不及预期风险 内容目录 投资要点..................................................................................................................................5关键假设.............................................................................................................................5区别于市场的观点..............................................................................................................5股价上涨催化剂..................................................................................................................5估值与目标价......................................................................................................................5中科飞测核心指标概览.............................................................................................................6一、立足良率控制核心赛道，国产半导体量检测设备龙头....................................................71.1聚焦三大核心板块，质量控制全链布局.......................................................................71.1.1发展历程：从检测技术突破到质量控制全链布局................................................71.1.2产品体系：覆盖检测、量测、良率管理的三大核心板块.....................................71.1.3股权结构：科研与资本协同，控股权稳定可持续................................................91.1.4管理团队：深厚科研底蕴与产业经验并重.........................................................101.1.5技术团队：研发体系完善，激励绑定强化创新动力..........................................10二、先进制程良率控制核心环节，产业格局与国产化进程..................................................112.1量检测设备：先进制程良率控制的核心支撑..............................................................112.1.1从产业链视角看半导体制造环节，检测与量测构筑良率基础............................112.1.2缺陷检测体系与关键技术，光学与电子束检测协同提升良率控制.....................132.1.3量测技术原理：结构参数量化与精度控制.........................................................152.1.4全球半导体检测与量测设备市场规模稳步增长，前道制程是核心应用领域......172.2全球半导体设备景气回升，量检测赛道保持稳健发展...............................................182.3全球量检测设备技术演进与区域格局........................................................................192.3.1检测与量测路线持续演化，AI参与发展...........................................................192.3.2亚太产能扩张、美欧创新引领，国产厂商加速突破..........................................202.4量检测设备国产化率与替代节奏加速........................................................................212.4.1中国市场持续扩容，成为全球量检测设备增量核心..........................................212.4.2国产替代率稳步提升，本土厂商迎来结构性突破窗口.......................................22三、技术领先、结构优化，成长动能持续积聚....................................................................233.1产品体系：构建全流程良率管理解决方案.................................................................233.1.1量检测设备：覆盖检测、量测与智能软件三大板块..........................................233.1.2产能布局与研发体系：持续强化创新驱动力与产业化能力...............................243.2经营表现与财务分析：规模高增、结构稳健、盈利能力持续强化.............................263.2.1营收情况经营规模快速增长，盈利能力长期向好..............................................263.2.2存货与产销规模：产能扩张良性匹配，订单储备充足.......................................28 3.3公司客户结构保持稳定，核心量检测设备保持领先...................................................303.4募投项目与产能扩张：政策驱动与产业化并行推进...................................................31四、盈利预测与估值............................................................................................................324.1盈利预测....................................................................................................................324.2相对估值....................................................................................................................33五、风险提示.......................................................................................................................34 图表目录 图1：中科飞测核心指标概览图...............................................................................................6图2：中科飞测发展历程..........................................................................................................7图3：缺陷类检测设备.............................................................................................................8图4：先进量测类设备.............................................................................................................8图5：智能软件系统........................................................................................................