2智研咨询精品行研报告·专项定制·月度专题·可研报告·商业计划书·产业规划三.2023上ARCHRPR中国半导体设备产业现状及发展趋势研究报告编制：智研咨询www.chyxx.com服务热线：400-600-8596010-60343812 CONTENT精品行研报告·专项定制·月度专题·可研报告·商业计划书·产业规划三01半导体设备行业相关概述021中国半导体设备行业发展现状分析·03中国半导体设备行业投融资动态分析录04中国半导体设备行业重点企业分析05中国半导体设备行业潜在风险分析06中国半导体设备行业发展趋势分析www.chyxx.com服务热线：400-600-8596010-60343812 2智研咨询精品行研报告·专项定制·月度专题·可研报告·商业计划书·产业规划三PART01半导体设备行业相关概述最全面的产业分析·可预见的行业趋势www.chyxx.com服务热线：400-600-8596010-60343812 ●1.1定义及分类己智研咨询半导体设备种类繁多，应用领域较为广泛重要的角色，对干实现高效、高质量的半导体器件生产尤为重要。当前、以半导体设备为代表的半导体产业已经成为我国战略性产业，它不仅仅是我国经济发展的战略方向，更是大国间科技竞争的战略制高点。半导体设备分类制造设备封测设备根据用于工艺流程的不同，半导体设备通常分为制造设备（前道设备）光刻机刻蚀机划片机贴片机和封测设备（后道设备）。前道设备主要包括光刻机、刻蚀机薄膜沉积设备、CMP设备、清洗设薄膜沉积设备CMP设备裂片机分选机备、离子注入机设备、热处理设备等。后道设备主要分为封装设备和测试设备，封装设备主要包括划片测试机探针台机、贴片机、裂片机、引线键合机清洗设备离子注入机切筋成型机等：测试设备主要包括Y分选机、测试机、探针台等。LLLE资料来源：公开资料、智研咨询整理www.chyxx.com 1.2行业发展历程2智研咨询人工智能等新兴产业的崛起，推动半导体设备行业快速发展早期发展阶段快速发展阶段全球化与技术创新阶段1950-1970年）（1980-1990年）（2000年-至今）●早期发展阶段（1950-1970年）：集成电路等技术发展，推动半导体设备行业起步半导体设备行业作为现代科技的核心支柱之一，其发展对于全球信息技术和电子工业格局产生了深远影响。从晶体体本设备的发展历程不仅推动了科技进步，更是为各国经济增长和社会发展带来了前所未有的机遇。半导体设备行业的起源可追溯至20世纪50年代，1950年，贝尔实验室成功研制出第一颗硅晶体管，标志着半导体技术的诞生。随后，集成电路、平面工艺等关键技术的问世和不断进步，有力地推动了半导体设备行业的初步形成和持续发展。在这一阶段，光刻机、扩散炉、薄膜沉积设备和蚀刻设备等关键生产设备，为日后大规模集成电路的生产奠定坚实的基础。 ?1.2行业发展历程2智研咨询人工智能等新兴产业的崛起，推动半导体设备行业快速发展·快速发展阶段（1980-1990年）：半导体设备行业向精细化、自动化方向发展1980年，随看微处理器和存储器等复杂集成电路的天规模应用，对半导体设备提出了更高的要求。在这一时期，半导体设备行业开始向精细化、自动化方向迈进，涌现出深紫外光刻机、离子注入机等精密设备，这些设备的出现，使得芯片线宽不断缩小，集成度大幅提高，推动了整个行业的技术进步。与此同时，全球半导体设备市场也在速扩大，形成了以美国、日本为主导，欧洲、亚洲新兴市场快速崛起的竞争格局。这一时期的半导体设备行业经历了前所未有的发展机遇和挑战，为未来的技术革新和市场拓展奠定了坚实的基础。●全球化与技术创新阶段（2000年-至今）：人工智能等产业兴起，推动半导体设备行业革新与发展进入21世纪以来，随着人工智能、互联网、移动通信等新兴产业的蓬勃发展，半导体设备行业迎来了前所未有的新机遇。一方面，由于全球产业链深度整合，中国、韩国等地逐渐崛起为全球半导体设备产业的重要基地，并成为技术创新和产业发展的新引擎。另一方面，原子层沉积（ALD）、极紫外光刻（EUV）、3D封装等前沿技术的研发与应用不断突破，为半导体设备行业带来了革新与发展的新动力。这些技术的不断进步不仅推动了半导体设备行业的发展，也为各国经济增长和社会进步注入了强大的动力。资料来源：公开资料、智研咨询整理www.chyxx.com ●1.3产业链图谱己智研咨询产业链：半导体设备上游原材料种类繁多，下游主要应用于半导体行业从我国半导体设备产业链来看，半导体设备产业链上游主要为零部件及系统，零部件主要包括轴承、传感器、反应腔喷林头、射频发生器、石英、机械臂、泵等：核心子系统主要包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、热管理系统、集成系统等。产业链中游主要为半导体设备，主要包括光刻机、刻蚀机、清洗设备、量测设备、分选机等。产业链下游主要为半导体制造，企业主要包括华润微电子、士兰微、通富微电、水晶光电等。上游中游下游零部件及系统半导体设备半导体制造半导体分立器件零部件：轴承、传感光刻机刻蚀机器、反应腔喷淋头M華调微电子射频发生器、石英、CRMICRO清洗设备机械臂、泵等。量测设备光电子器件扩散设备光迅科技核心子系统：气液流分选机ACCELINK量控制系统、真空系小品光电统、制程诊断系统、集成电路薄膜沉积离子注入光学系统、热管理系设备设备等T通富微电统、集成系统等。SMEIPARTNERED WITHAMDZ赛微电子资料来源：公开资料、智研咨询整理www.chyxx.com ·1.3产业链图谱2智研咨询产业链上游：上游原材料产量持续增加，为半导体设备稳定供应提供保障抽承作为半导体设备行业重要零部件，主要功能是支撑机械旋转体，减少运动摩擦，确保回转精度和生产销量。近年来我国轴承产量持续增长，中国轴承工业协会数据显示，2022年我国轴承产量较上年同期增长11.16%，为259亿套。得益于半导体行业持续发展，我国对半导体设备需求增加，带动轴承产量增长。随看半导体设备等行业需求持续增长，我国轴承产量有望继续增长，预计2023年我国轴承产量将增长至270亿套。传感器主要分为温度传感器、压力传感器、图像传感器、烟雾传感器等，这传感器在半导体制造过程中能够实现设备的自动调节和优化，从而提高生产效率和质量控制水平。据统计，2022年我国传感器市场规模较上年同期增长10.82%，为3297亿元，得益于社会持续进步，叠加传感器相关扶持政策不断出台，推动传感器市场规模增长。预计2023年我国传感器市场规模有望增长至3324.9亿元。2018-2023年我国轴承产及预测（单位：亿2018-2023年中国传感器市场规模及预测（单套)位：亿元）3003500250HH300020025002000150150010010000S50002018年2019年2020年2021年2022年2023年E2018年2019年2020年2021年2022年2023年E 2智研咨询?1.3产业链图谱产业链中游：光刻机销量持续增长，有助于建立和完善半导体设备产业供应链从半导体设备细分产品来看，光刻机、得益干下游晶圆巨大需求、5G基础设ASML、Nikon和canon是全球光刻机刻蚀机以及薄膜沉积设备为半导体设施以及服务器云计算的快速发展，导市场三大竞争者，2022年这三天企业备主要核心设备，其市场占比均超过致相关芯片需求持续增加，进一步推光刻机营收分别为161亿美元、20亿20%。具体来看，光刻机市场占比为动全球半导体设备市场的复苏。据统美元和15亿美元。其中，ASML在全24%；刻蚀机和薄膜沉积设备的市场计，2022年全球光刻机销量较上年同球光刻机前三大企业中所占市场份额占比均为20%；测试设备和封装设备期增长13.33%，为510台。未来，随为82.1%，占据龙头位置。市场占比分别为9%和6%，这些核心着下游市场需求的持续增加，全球光设备在半导体制造中发挥看至关重要刻机销量有望持续增长。的作用。2022年全球光刻机前三企业市场份全球半导体设备细分产品市场占比2018-2022年全球光刻机销量（单位：台）额占比情况其他,光刻机，60021.00%24.00%500封装设备，4006.00%00200测试设备，刻蚀设备，1009.00%薄膜沉积设20.00%02018年2019年2020年2021年2022年ASML Canon Nokon备，20.00%资料来源：智研咨询整理www.chyxx.com ●1.3产业链图谱2智研咨询产业链下游：半导体设备需求快速增长，带动全球半导体行业销售额持续增加半导体设备主要应用于半导体行业，半导体行业不仅是高新技术产业的基础和关键，同时也是全球经济发展的核心动力之一。当前，半导体行业在5G、物联网、人工智能等领域都有着广的应用前景。与此同时，全球各国数字化转型和科技创新步伐加快，对半导体设备需求不断提升，带动了全球半导体行业销售额增长。SIA数据显示，2023年1-10月，全球半导体行业销售额虽然呈现增长趋势，但与上年同期相比，各月销售额均有所下滑。然而，2023年11月，全球半导体行业销售额较上年同期增长5.3%，达到480亿美元，这是自2022年8月以来首次实现同比增长，这一数据表明，全球芯片市场在2024年有望继续走强，SIA预测，2024年全球半导体市场将实现双位数增长。Gartner数据显示，2022年全球半导体总收入较上年同期增长1.1%，为6016.94亿美元。其中，前十天半导体厂商分别为三星电子、英特尔、SK海力王、高通、美光科技、博通、AMD、德州仪器、联发科技以及苹果，合计占上比为46.1%在前十大半导体厂商中，AMD表现最好，2022年收入同比增长42.9%，为232.85亿美元：英特尔表现相对较差，2022年收入较上年同期下降19.5%，为583.73亿美元。2023年1-11月全球半导体产业销售额（单位：亿美元）2022年全球TOP10半导体厂商收入（单位：亿美元）600500■三星电子4.00英特尔SK海力士300■高通200■美光科技100博通AMD■德州仪器■联发科技■苹果■其他资料来源：SIA、Gartner、智研咨询整理www.chyxx.com 2智研咨询精品行研报告·专项定制·月度专题·可研报告·商业计划书·产业规划三PART02中国半导体设备行业发展现状分析最全面的产业分析·可预见的行业趋势www.chyxx.com服务热线：400-600-8596010-60343812 2智研咨询?2.1政策环境分析》政策持续利好行业发展，推动半导体设备国产化进程我国半导体设备行业受到政策的持续利好，发展势头强劲。在“十二五”期间，太阳能光伏、平板显示等新领域的崛起我国半导体行业逐步走向整体发展。2015年，国家出台《中国制造2025》，提出要形成关键制造设备的供货能力。2021年，国家出台《“十四五”国家信息化规划》，提出要加快集成电路设计工具等特色工艺的突破，并加强集成电路等关键前沿领域的战略研究布局和技术融通创新。政策的不断出台，为我国半导体设备行业的发展提供了强有力的支撑。我国半导体设备政策发展历程“十二五”期间《中国制2025》“十三五”期间“十四五”期间2015年，《中国制造《集成电路产业“十三《“十四五”国家信息政府对集成电路产业大2025》提出形成关键制五”发展规划建议“提化规划》提出加强集成力扶持，政策主要围绕产业升级和加大投资力造设备的供货能力，进出基本建成技术先进、电路等关键前沿领域的度展开。一步推动了半导体设备安全可靠的集成电路产战略研究布局和技术融产业链的完善。业体系。通创新。2011-2015年2015年2016-2020年2021-2025年O资料来源：政府官网、智研咨询整理www.chyxx.com 2.1政策环境分析2智研咨询政策持续利好行业发展，半导体设备行业竞争力不断突破体设备行业竞争力不断突破。2023年国家层面半导体设备行业相关政策国家发展改革委印发《关于做好2023年享受税收优惠政策的集成电路企业或