敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年9月6日 公司研究 22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长 ——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之五 买入（维持） 事件：2022年8月31日，公司发布2022年半年度报告：公司2022H1营业收入为11.2亿元，同比增长21.67%；归母净利润为0.81亿元，同比减少45.92%；扣非归母净利润为0.97亿元，同比增长128.12%；毛利率为36.09%，同比增长5.22pcts；净利率为7.76%，同比减少8.37pcts。 公司2022Q2营业收入为5.72亿元，同比减少16.99%；归母净利润为0.59亿元，同比减少21.27%；扣非归母净利润为0.59亿元，同比增长48.26%；毛利率为36.92%，同比增长9.63pcts；净利率为10.14%，同比减少0.94pcts。 点评：公司22Q2扣非净利润同比+48%，清洗设备业务高速增长。公司22H1归母净利润同比-46%，主要系22H1非经为-0.16亿元（21H1为1.08亿元）；22H1扣非净利润同比+128%，22Q2扣非净利润同比+48%，主要系公司半导体设备业务增长所致。公司22H1清洗设备订单8亿元（22年目标20亿），同比+87%；收入4.7亿元，同比+73%，毛利率提升11.2pcts至35%，清洗设备业务实现高速增长。公司22H1合同负债为4.47亿元，较22Q1增长81%。 清洗设备领域进展顺利，拳头产品获持续订单。目前公司在28nm节点获得全部工艺的设备订单，在14nm以下制程获得了4台设备订单，拳头产品包括SPM、晶背清洗等机型在核心关键工序段均得到第一梯队客户的广泛认可，并获得持续订单。公司湿法设备可覆盖第三代半导体晶圆制造全工序段，已累计获得近40台订单，近期拿到了N型电池生产线的湿法设备订单，预计于第三季度交付。 高纯工艺系统持续增长，支持类设备国产替代进展良好。公司22H1以支持设备为主的高纯工艺系统持续增长，核心客户如中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微等，气体及化学品设备、前驱体设备和研磨液等设备国产替代进展良好。 积极布局电子大宗气体、晶圆再生及部件清洗等新的增长曲线。（1）大宗气嘉定工厂年初顺利供气，逐步爬坡，为首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂；（2）在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线，具备年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生的产能。 盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务持续放量，以及积极布局支持类设备、电子大宗气体等，公司进入快速发展期。我们维持至纯科技2022-2024年的归母净利润分别为3.81、5.55、7.26亿元，当前市值对应的PE分别30x、21x、16x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 指标 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 1,397 2,084 3,006 3,760 4,707 营业收入增长率 41.63% 49.18% 44.23% 25.08% 25.19% 净利润（百万元） 261 282 381 555 726 净利润增长率 136.36% 8.12% 35.30% 45.53% 30.87% EPS（元） 0.85 0.88 1.19 1.74 2.27 ROE（归属母公司)（摊薄） 8.29% 6.93% 8.57% 11.09% 12.68% P/E 43 41 30 21 16 P/B 3.5 2.8 2.6 2.3 2.0 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2022-09-02；股本2020-2022年分别为3.08/3.19/3.20亿股； 当前价：36.02元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.20 总市值(亿元)： 115.10 一年最低/最高(元)： 26.66/65.00 近3月换手率： 182.70% 股价相对走势 -44%-27%-9%8%25%09/2112/2103/2206/22至纯科技沪深300 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 -18.93 -6.58 -8.92 绝对 -22.14 -10.00 -27.36 资料来源：Wind 相关研报 22Q1营收和扣非净利润同比大幅增长，半导体湿法设备进入快速放量期——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之四（2022-05-02） 公司1-2月营收3倍增长，业绩逐步兑现步入快速放量期——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之三（2022-03-17） 公司技术路线对标国际大厂SCREEN，有望成为高端湿法设备的领先者——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之二（2021-12-11） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 1. 公司部分季度财务指标 图表1：至纯科技近两年单季营收、归母净利润及成本情况 图表2：至纯科技近两年单季毛利率及净利率情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 图表3：至纯科技近两年合同负债情况 图表4：至纯科技近两年存货情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 图表5：至纯科技近两年存货周转率情况 图表6：至纯科技近两年应付账款周转率情况 资料来源：wind、光大证券研究所 资料来源：wind、光大证券研究所 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 利润表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入 1,397 2,084 3,006 3,760 4,707 营业成本 883 1,330 1,905 2,295 2,857 折旧和摊销 47 62 88 117 147 税金及附加 10 10 15 19 24 销售费用 54 74 107 132 165 管理费用 138 199 289 361 447 研发费用 96 144 210 263 329 财务费用 76 79 77 87 82 投资收益 22 51 10 20 20 营业利润 297 371 475 615 842 利润总额 298 375 454 630 825 所得税 37 90 73 76 99 净利润 261 284 381 555 726 少数股东损益 0 2 0 0 0 归属母公司净利润 261 282 381 555 726 EPS(元) 0.85 0.88 1.19 1.74 2.27 现金流量表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流 -281 -191 292 443 505 净利润 261 282 381 555 726 折旧摊销 47 62 88 117 147 净营运资金增加 682 821 725 305 444 其他 -1,271 -1,355 -903 -533 -813 投资活动产生现金流 -909 -716 -544 -570 -572 净资本支出 -583 -921 -587 -590 -592 长期投资变化 231 206 0 0 0 其他资产变化 -557 -1 43 20 20 融资活动现金流 2,218 906 266 135 78 股本变化 49 11 1 0 0 债务净变化 845 277 298 184 113 无息负债变化 195 569 213 424 452 净现金流 1,028 -4 14 9 12 资产负债表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 总资产 5,957 7,933 8,825 9,988 11,279 货币资金 1,503 1,519 1,533 1,542 1,553 交易性金融资产 0 0 0 0 0 应收账款 980 1,206 1,323 1,654 1,864 应收票据 15 13 30 38 47 其他应收款（合计） 61 104 120 150 188 存货 794 1,183 1,421 1,599 1,992 其他流动资产 166 203 249 287 334 流动资产合计 3,751 4,766 5,202 5,888 6,732 其他权益工具 149 154 154 154 154 长期股权投资 231 206 206 206 206 固定资产 530 975 1,313 1,668 2,025 在建工程 433 373 550 682 782 无形资产 124 173 180 186 192 商誉 256 256 256 256 256 其他非流动资产 79 129 175 175 175 非流动资产合计 2,205 3,167 3,623 4,100 4,546 总负债 2,796 3,643 4,153 4,761 5,326 短期借款 959 1,283 1,657 1,781 1,834 应付账款 345 527 762 1,033 1,285 应付票据 28 11 19 23 29 预收账款 0 0 0 0 0 其他流动负债 53 80 107 130 158 流动负债合计 1,810 2,761 3,171 3,682 4,139 长期借款 588 649 709 769 829 应付债券 228 0 0 0 0 其他非流动负债 35 180 226 264 311 非流动负债合计 986 881 982 1,079 1,187 股东权益 3,161 4,290 4,672 5,226 5,953 股本 308 319 320 320 320 公积金 2,288 3,088 3,125 3,172 3,172 未分配利润 482 673 1,016 1,524 2,250 归属母公司权益 3,143 4,066 4,447 5,002 5,728 少数股东权益 18 224 224 224 224 盈利能力（%） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 毛利率 36.8% 36.2% 36.6% 39.0% 39.3% EBITDA率 20.2% 23.2% 19.8% 22.5% 22.9% EBIT率 16.8% 20.1% 16.8% 19.4% 19.8% 税前净利润率 21.3% 18.0% 15.1% 16.8% 17.5% 归母净利润率 18.7% 13.5% 12.7% 14.8% 15.4% ROA 4.4% 3.6% 4.3% 5.6% 6.4% ROE（摊薄） 8.3% 6.9% 8.6% 11.1% 12.7% 经营性ROIC 5.7% 6.4% 6.8% 9.2% 10.5% 偿债能力 2020 2021 2022E 2023E 2024E 资产负债率 47% 46% 47% 48% 47% 流动比率 2.07 1.73 1.64 1.60 1.63 速动比率 1.63 1.30 1.19 1.16 1.15 归母权益/有息债务 1.64 1.86 1.79 1.87 2.06 有形资