系列跟踪报告之四：22Q1营收和扣非净利润同比大幅增长，半导体湿法设备进入快速放量期

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年5月2日 公司研究 22Q1营收和扣非净利润同比大幅增长，半导体湿法设备进入快速放量期 ——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之四 买入（维持） 当前价：31.32元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 分析师：王锐 执业证书编号：S0930517050004 010-56513153 wangrui3@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.19 总市值(亿元)： 99.75 一年最低/最高(元)： 26.66/70.69 近3月换手率： 106.52% 股价相对走势 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 -6.44 -12.04 22.80 绝对 -11.02 -25.38 2.49 资料来源：Wind 相关研报 公司1-2月营收3倍增长，业绩逐步兑现步入快速放量期——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之三（2022-03-17） 公司技术路线对标国际大厂SCREEN，有望成为高端湿法设备的领先者——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之二（2021-12-11） 中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期——至纯科技（603690.SH）首次覆盖报告（2021-11-13） 事件：2022年4月30日，公司发布2022年一季报和2021年年报：公司2022Q1营业收入为5.48亿元，单季同比增长136.98%；实现归母净利润0.22亿元，单季同比减少70.78%；实现扣非归母净利润0.39亿元，单季同比增长1130.87%；毛利率为35.22%，单季同比减少6.32pcts；净利率为5.28%，单季同比减少25.95pcts。 公司2021年营业收入为20.84亿元，同比增长49.18%；实现归母净利润2.82亿元，同比增长8.12%；实现扣非归母净利润1.62亿元，同比增长46.57%；毛利率为36.19%，同比减少0.60pcts；净利率为13.64%，同比减少5.03pcts。 点评： 公司22Q1营收和扣非净利润同比大幅增长，半导体湿法设备进入快速放量期。公司2022Q1营业收入为5.48亿元，同比增长约137%；归母净利润为0.22亿元，同比减少约71%，主要由于政府补助及公允价值变动影响，非经常性损益为-0.17亿元，相比2021Q1的0.72亿元减少近0.9亿元；扣非归母净利润为0.39亿元，同比增长1131%；合同负债为2.47亿元，同比增长2.9%；存货为12.72亿元，同比增长7.5%。公司营收和扣非净利润实现大幅增长。 21年公司湿法设备收入7亿元，同比+222%，总营收入占比34%，未来占比将继续提升。公司2021年实现营业收入20.84亿元，其中半导湿法设备收入7.01亿元，同比增长222%，高纯工艺系统收入10.78亿元，同比增长25%，光电业务收入3.03亿元，同比减少3.7%。半导体湿法设备收入增长2倍多，在总营收中占比达33.64%，我们预计公司2022年半导体湿法设备收入为13.9亿元，营收占比有望提升至46%，将成为公司第一大主营业务，未来占比将继续提升。 21年公司半导体湿法设备订单达11.2亿元，2022年订单目标超过20亿元，有望持续翻倍。2021年公司湿法设备的订单达到了11.20亿元，同比增长111.32%，单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了97台，12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过3.8亿元；2022年订单目标超过20亿元，单片湿法设备订单占比预计达60%。我们预计2023年公司湿法设备订单有望达到30-40亿元，经测算2022-2023年的湿法设备收入分别为13-14/19-20亿元，半导体湿法设备进入快速放量期。 公司在28nm节点获得全部工艺的湿法设备订单，在14nm以下制程获得4台湿法设备订单，有望成为高端湿法设备的领先者。至纯科技采用先进的Nano Spray技术，在先进制程的28nm节点获得了全部工艺的湿法设备订单，在14nm以下制程也拿到了4台湿法设备订单。另外，公司湿法设备已经在数个成熟工艺的产线上拿到了整条线的设备订单，有效替代了之前的两家日本厂商，还在氮化镓和碳化硅产线上拿到了整条线的湿法设备订单。目前，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。 公司是国内高纯工艺支持设备的领先供应商，每年交付超过5000台套。公司高纯工艺支持设备包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等工艺支持性的设备，每年交付超过5000台套，不单单做集成服务，2021年将从高纯工艺系统业务中单独分类出来为支持设备及部件。目前，客户包括上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线晶圆厂。 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 公司服务类业务除高纯工艺集成服务外，积极布局晶圆再生及部件清洗业务和半导体大宗气体业务，有望成为新的增长动力。公司在为集成电路制造企业及泛半导体产业提供设计、安装、测试调试服务的基础上，在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线，该项目以14nm晶圆厂需求为设计基础，将服务于中国半导体高阶市场，具备年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。此外，公司为国内28nm工艺节点的集成电路制造厂商配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，将为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应。 盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务开始放量，公司进入快速发展期。我们维持至纯科技2022-2023年的归母净利润分别为3.81和5.55亿元，预计2024年的归母净利润为7.26亿元，当前市值对应的PE分别为26x、18x、14x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 图表1：公司盈利预测与估值简表 指标 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 1,397 2,084 3,006 3,760 4,707 营业收入增长率 41.63% 49.18% 44.23% 25.08% 25.19% 净利润（百万元） 261 282 381 555 726 净利润增长率 136.36% 8.12% 35.09% 45.80% 30.77% EPS（元） 0.85 0.88 1.20 1.74 2.28 ROE（归属母公司)（摊薄） 8.29% 6.93% 8.56% 11.10% 12.67% P/E 37 35 26 18 14 P/B 3.1 2.5 2.2 2.0 1.7 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2022-04-29；股本2020-2021年分别为3.08/3.19亿股； 图表2：公司主要控股参股公司2021年经营情况 资料来源：公司公告、光大证券研究所整理 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 1. 行业数据及公司盈利预测 图表3： 2020年全球半导体设备市场销售额占比分布 图表4：日本SCREEN清洗设备路线图 资料来源：华经产业研究院、光大证券研究所整理 资料来源： SCREEN官网、光大证券研究所整理 图表5：盛美半导体兆声波清洗技术示意图 图表6：单片刷洗技术示意图 资料来源：盛美半导体官网、光大证券研究所整理 资料来源：PURDUE、光大证券研究所整理 图表7：至纯科技主营业务拆分及预测（单位：百万元，%） 主营业务 2021 2022E 2023E 2024E 高纯工艺系统营业收入 1077.80 1293.36 1552.03 1862.44 YoY 24.86% 20% 20% 20% 毛利率 34.71% 35% 35% 35% 半导体设备营业收入 701.12 1390.00 1867.50 2485.00 YoY 222% 98% 34% 33% 毛利率 32.48% 34.96% 40.20% 41.00% 光传感及光器件营业收入 303.11 318.27 334.18 350.89 YoY -4% 5% 5% 5% 毛利率 50.43% 50.50% 50.50% 50.50% 其他业务 2.07 4.37 6.24 8.74 YoY 52% 111% 43% 40% 毛利率 -25.88% 10.00% 10.00% 10.00% 总体营业收入 2084.10 3005.99 3759.95 4707.06 YoY 49.18% 44.23% 25.08% 25.19% 毛利率 36.19% 36.62% 38.95% 39.31% 资料来源：Wind、光大证券研究所预测 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 2. 公司部分季度财务指标 图表8：至纯科技21Q1-22Q1单季营收、归母净利润及成本情况 图表9：至纯科技21Q1-22Q1单季毛利率及净利率情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 图表10：至纯科技21Q1-22Q1合同负债情况 图表11：至纯科技21Q1-22Q1存货情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 图表12：至纯科技21Q1-22Q1存货周转率情况 图表13：至纯科技21Q1-22Q1应付账款周转率情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 敬请参阅最后一页特别声明 -5- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 财务报表与盈利预测 利润表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入 1,397 2,084 3,006 3,760 4,707 营业成本 883 1,330 1,905 2,295 2,857 折旧和摊销 47 62 88 117 147 税金及附加 10 10 15 19 24 销售费用 54 74 107 132 141 管理费用 138 199 286 357 424 研发费用 96 144 210 263 329 财务费用 76 79 66 82 102 投资收益 22 51 10 20 20 营业利润 297 371 460 608 830 利润总额 298 375 453 631 825 所得税 37 90 73 76 99 净利润 261 284 381 555 726 少数股东损益 0 2 0 0 0 归属母公司净利润 261 282 381 555 726 EPS(元) 0.85 0.88 1.20 1.74 2.28 现金流量表（百万元） 2020 2021 2022E 2023E 2024E 经营活动现金流 -281 -191 11 147 178 净利润 261 282 381 555 726 折旧摊销 47 62 88 117 147 净营运资金增加 596 677 801 814 1,063 其他 -1,185 -1,211 -1,259 -1,339 -1,758 投资活动产生现金流 -909 -716 -544 -570 -572 净资本支出 -583 -921 -587 -590 -592 长期投资变化 231 206 0 0 0 其他