系列跟踪报告之三：公司1-2月营收3倍增长，业绩逐步兑现步入快速放量期

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022年3月17日 公司研究 公司1-2月营收3倍增长，业绩逐步兑现步入快速放量期 ——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之三 买入（维持） 公司2022年1-2月营业收入实现3倍增长，湿法设备进入放量期。2022年1-2月公司实现营业收入2.2亿元，同比增长388.14%，2022年至今新增订单总额为7.7亿元，其中湿法设备新增订单2.9亿元。2021年度，公司新增订单总额为32.30亿元，同比增长64.80%，其中半导体设备新增订单11.20亿元，同比增长111.32%。我们预计公司2022年湿法设备订单有望达到20亿元，该业务步入放量期。 推第四期股权激励计划，彰显公司对未来发展的信心。2022年2月8日，公司推第四期股票期权与限制性股票激励计划，本激励计划首次授予的激励对象共计76人，其中股票期权激励计划拟授予激励对象股票期权165万份，限制性股票激励计划拟授予激励对象限制性股票135万股。本激励计划授予的股票期权的行权价格为46.50元/股，限制性股票的授予价格为23.25元/股，彰显公司对未来发展前景的信心。 至纯科技能提供全部28nm节点湿法设备，有望成为高端湿法设备的领先者。至纯科技采用先进的Nano Spray技术，目前已经可以提供28nm节点的全部半导体湿法工艺设备，2021年在14-7nm技术世代已经接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客戶产线验证。我们预计公司2022-2023年半导体湿法设备订单可达20/30亿元，2021-2023年清洗设备收入分别为7.68/13.90/18.68亿元，有望成为高端湿法设备的领先者。 盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内领先的半导体湿法设备巨头企业，随着湿法设备业务开始放量，公司将迎来快速发展期。我们维持至纯科技2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元，当前市值对应的PE分别为33x、30x、21x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 指标 2019 2020 2021E 2022E 2023E 营业收入（百万元） 986 1,397 2,307 3,266 4,159 营业收入增长率 46.34% 41.63% 65.13% 41.57% 27.34% 净利润（百万元） 110 261 347 381 555 净利润增长率 239.88% 136.36% 33.12% 9.75% 45.65% EPS（元） 0.43 0.85 1.09 1.20 1.74 ROE（归属母公司)（摊薄） 7.43% 8.29% 10.09% 10.14% 13.09% P/E 85 43 33 30 21 P/B 6.4 3.6 3.4 3.1 2.7 资料来源：Wind，光大证券研究所预测，股价时间为2022-03-16；股本2019-2021年分别为2.59/3.08/3.19亿股； 当前价：36.38元 作者 分析师：刘凯 执业证书编号：S0930517100002 021-52523849 kailiu@ebscn.com 分析师：王锐 执业证书编号：S0930517050004 010-56513153 wangrui3@ebscn.com 联系人：杨德珩 yangdh@ebscn.com 市场数据 总股本(亿股) 3.19 总市值(亿元)： 115.87 一年最低/最高(元)： 27.18/70.69 近3月换手率： 112.57% 股价相对走势 收益表现 % 1M 3M 1Y 相对 2.58 -8.40 37.61 绝对 -7.64 -24.52 19.48 资料来源：Wind 相关研报 公司技术路线对标国际大厂SCREEN，有望成为高端湿法设备的领先者——至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之二（2021-12-11） 中国半导体清洗设备龙头步入高速成长期——至纯科技（603690.SH）首次覆盖报告（2021-11-13） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 1. 行业数据及公司盈利预测 图表1： 2020年全球半导体设备市场销售额占比分布 图表2：日本SCREEN清洗设备路线图 资料来源：华经产业研究院、光大证券研究所整理 资料来源： SCREEN官网、光大证券研究所整理 图表3：盛美半导体兆声波清洗技术示意图 图表4：单片刷洗技术示意图 资料来源：盛美半导体官网、光大证券研究所整理 资料来源：PURDUE、光大证券研究所整理 图表5：至纯科技主营业务拆分及预测（单位：百万元，%） 主营业务 2020 2021E 2022E 2023E 高纯工艺系统营业收入 863.19 1122.15 1346.58 1615.89 YoY 35.53% 30% 20% 20% 毛利率 31.76% 32% 32% 32% 半导体设备营业收入 217.85 768.00 1390.00 1867.50 YoY 167% 253% 81% 34% 毛利率 29.85% 35.48% 36.21% 41.60% 光传感及光器件营业收入 314.66 409.06 511.32 639.15 YoY 19% 30% 25% 25% 毛利率 55.33% 56.00% 56.00% 56.00% 其他业务 1.36 7.80 18.20 36.40 YoY -59.04% 473.53% 133.33% 100.00% 毛利率 48.52% 30.00% 30.00% 30.00% 总体营业收入 1,397.06 2,307.01 3,266.10 4,158.94 YoY 41.63% 65.13% 41.57% 27.34% 毛利率 36.79% 37.41% 37.54% 39.98% 资料来源：Wind、光大证券研究所预测 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 2. 公司部分季度财务指标 图表6：至纯科技近两年单季营收、归母净利润及成本情况 图表7：至纯科技近两年单季毛利率及净利率情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 图表8：至纯科技近两年合同负债情况 图表9：至纯科技近两年存货情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 图表10：至纯科技近两年存货周转率情况 图表11：至纯科技近两年应付账款周转率情况 资料来源：wind、光大证券研究所； 资料来源：wind、光大证券研究所； 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 至纯科技（603690.SH） 利润表（百万元） 2019 2020 2021E 2022E 2023E 营业收入 986 1,397 2,307 3,266 4,159 营业成本 648 883 1,444 2,040 2,496 折旧和摊销 27 47 51 64 78 税金及附加 6 10 15 21 28 销售费用 37 54 90 127 162 管理费用 86 138 208 305 403 研发费用 59 96 159 229 312 财务费用 40 76 78 100 115 投资收益 1 22 20 20 20 营业利润 119 297 391 435 630 利润总额 120 298 394 433 630 所得税 9 37 47 52 76 净利润 110 261 347 381 555 少数股东损益 0 0 0 0 0 归属母公司净利润 110 261 347 381 555 EPS(元) 0.43 0.85 1.09 1.20 1.74 现金流量表（百万元） 2019 2020 2021E 2022E 2023E 经营活动现金流 -111 -281 -30 14 70 净利润 110 261 347 381 555 折旧摊销 27 47 51 64 78 净营运资金增加 714 719 973 750 1,094 其他 -963 -1,308 -1,400 -1,181 -1,656 投资活动产生现金流 -519 -909 -55 -190 -190 净资本支出 -240 -583 -141 -210 -210 长期投资变化 105 231 0 0 0 其他资产变化 -385 -557 87 20 20 融资活动现金流 969 2,218 -34 425 567 股本变化 48 49 11 0 0 债务净变化 559 845 76 571 736 无息负债变化 187 195 383 439 374 净现金流 339 1,028 -118 249 446 资产负债表（百万元） 2019 2020 2021E 2022E 2023E 总资产 3,257 5,957 6,712 8,038 9,630 货币资金 463 1,503 1,384 1,633 2,079 交易性金融资产 0 0 0 0 0 应收账款 814 980 1,239 1,608 2,047 应收票据 12 15 23 33 42 其他应收款（合计） 39 61 88 124 158 存货 635 794 1,075 1,318 1,614 其他流动资产 95 166 302 446 580 流动资产合计 2,151 3,751 4,440 5,620 7,080 其他权益工具 14 149 120 120 120 长期股权投资 105 231 231 231 231 固定资产 397 530 701 855 991 在建工程 59 433 415 401 391 无形资产 132 124 131 137 143 商誉 252 256 256 256 256 其他非流动资产 60 79 115 115 115 非流动资产合计 1,106 2,205 2,273 2,418 2,550 总负债 1,756 2,796 3,255 4,266 5,376 短期借款 563 959 871 1,242 1,978 应付账款 346 345 578 816 998 应付票据 21 28 43 61 75 预收账款 136 0 0 0 0 其他流动负债 27 53 108 165 219 流动负债合计 1,247 1,810 2,061 2,852 3,945 长期借款 225 588 788 988 988 应付债券 256 228 228 228 228 其他非流动负债 21 35 53 72 90 非流动负债合计 509 986 1,194 1,414 1,431 股东权益 1,501 3,161 3,457 3,772 4,254 股本 259 308 319 319 319 公积金 902 2,288 2,312 2,350 2,395 未分配利润 261 482 744 1,021 1,458 归属母公司权益 1,483 3,143 3,439 3,754 4,236 少数股东权益 18 18 18 18 18 盈利能力（%） 2019 2020 2021E 2022E 2023E 毛利率 34.3% 36.8% 37.4% 37.5% 40.0% EBITDA率 20.7% 20.2% 20.0% 19.1% 20.6% EBIT率 17.9% 16.8% 17.8% 17.1% 18.7% 税前净利润率