半导体湿法设备订单充沛，一季度扣非业绩高速增长

1 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 xml 半导体湿法设备订单充沛，一季度扣非业绩高速增长 ■事件： 1. 公司发布2021年年度报告，2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%，归属于母公司所有者的净利润2.82亿元，同比增长8.12%；扣非归母净利润1.62亿元，同比增长46.57%。 2. 公司发布22Q1季度报告，22Q1公司主营收入5.48亿元，同比上升136.98%；归母净利润2189.44万元，同比下降70.78%；扣非净利润3871.19万元，同比上升1130.87%。 ■半导体设备收入大增，22Q1扣非后净利率表现亮眼：公司2021全年营收同比大幅增长49.18%，其中高纯工艺集成系统、半导体设备、光传感及器件营收分别为10.78亿元、7.01亿元、3.03亿元, 同比分别+24.86%、+222.06%、-3.72%，毛利率分别为34.71%、32.48%、50.43%，同比分别+2.95pct、+2.63pct、-4.92pct，半导体设备收入增长最快。从22Q1的情况来看，一季度公司实现营收5.48亿元,同比上涨136.98%,扣非后归母净利润0.38亿元,同比上涨1130.87%，22Q1公司扣非后归母净利率7.07%，同比提高5.71pct，Q1扣非后净利率大幅提高。 ■湿法设备订单快速增长，进入加速发展期：公司湿法设备在半导体国产替代的推动下，步入快速成长期，从2018年开始拿到1亿级别的订单， 2021年订单已经超过11亿。2022年1-4月公司新增订单18.02亿元，其中半导体湿法设备新增订单6.31亿元。从公司设备的技术能力来看，公司不仅在客户的先进制程28纳米节点获得全部工艺的设备订单，还在14纳米以下制程也拿到了4台湿法设备订单，技术实力国内领先。2021年，公司主营半导体清洗设备的子公司至微科技成功引入大基金二期、中芯聚源等战略投资者，助力业务加速发展。 ■投资建议：我们预计公司2022年~2024年收入分别为30.54亿元、41.01亿元、51.38亿元，归母净利润分别为4.03亿元、5.67亿元、7.29亿元，EPS分别为1.26元、1.78元、2.29元，维持 “买入-A”投资评级。 ■风险提示：全球半导体景气度不及预期；晶圆厂资本开支不及预期；国内设备公司技术研发不及预期；国产化进度不及预期风险。 Table_Tit le 2022年05月01日 至纯科技（603690.SH） Table_BaseI nfo 公司快报 证券研究报告 半导体 投资评级 买入-A 维持评级 6个月目标价： 42.82元 股价（2022-04-29） 31.32元 Table_M ar ketInfo 交易数据 总市值（百万元） 9,975.43 流通市值（百万元） 9,948.59 总股本（百万股） 318.50 流通股本（百万股） 317.64 12个月价格区间 27.18/69.13元 Tabl e_Char t 股价表现 资料来源：Wind资讯 升幅% 1M 3M 12M 相对收益 -8.33 -15.09 13.0 绝对收益 -14.64 -24.44 1.4 马良 分析师 SAC执业证书编号：S1450518060001 maliang2@essence.com.cn 021-35082935 郭旺 分析师 SAC执业证书编号：S1450521080002 guowang@essence.com.cn Tabl e_Repor t 相关报告 至纯科技：湿法设备订单大幅提高，有望步入加速成长期/马良 2021-10-30 至纯科技：大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展/马良 2021-10-18 至纯科技：清洗赛道领航者，国产化替代正当时/马良 2021-08-31 至纯科技：清洗赛道佼佼者，国产化替代放量在即/马良 2021-07-28 -16%4%24%44%64%84%104 %124 %202 1-05202 1-09202 2-01至纯科技 沪深300 2 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 xml (百万元) 2020 2021 2022E 2023E 2024E 主营收入 1,397.1 2,084.1 3,054.0 4,101.3 5,138.1 净利润 260.6 281.8 402.8 567.0 729.3 每股收益(元) 0.82 0.88 1.26 1.78 2.29 每股净资产(元) 9.87 12.77 13.90 17.28 19.38 盈利和估值 2020 2021 2022E 2023E 2024E 市盈率(倍) 38.3 35.4 24.8 17.6 13.7 市净率(倍) 3.2 2.5 2.3 1.8 1.6 净利润率 18.7% 13.5% 13.2% 13.8% 14.2% 净资产收益率 8.3% 6.9% 9.1% 10.3% 11.8% 股息收益率 0.5% 0.0% 0.5% 0.6% 0.6% ROIC 16.7% 11.3% 12.1% 13.3% 13.7% 数据来源：Wind资讯，安信证券研究中心预测 3 公司快报/至纯科技 本报告版权属于安信证券股份有限公司。 各项声明请参见报告尾页。 财务报表预测和估值数据汇总 利润表 财务指标 (百万元) 2020 2021 2022E 2023E 2024E (百万元) 2020 2021 2022E 2023E 2024E 营业收入 1,397.1 2,084.1 3,054.0 4,101.3 5,138.1 成长性 减:营业成本 883.1 1,329.9 1,923.7 2,570.7 3,220.5 营业收入增长率 41.6% 49.2% 46.5% 34.3% 25.3% 营业税费 9.6 10.0 15.3 20.5 25.7 营业利润增长率 148.8% 25.0% 29.6% 40.2% 28.3% 销售费用 54.4 74.1 91.6 123.0 154.1 净利润增长率 136.4% 8.1% 42.9% 40.8% 28.6% 管理费用 137.6 199.4 274.9 369.1 462.4 EBIT DA增长率 141.1% 17.1% 25.4% 31.3% 22.5% 研发费用 95.5 144.4 195.5 262.5 328.8 EBIT增长率 153.0% 15.3% 31.1% 34.0% 24.0% 财务费用 76.3 78.5 90.0 99.0 99.0 NOPLAT增长率 122.0% 4.5% 42.3% 35.4% 24.7% 资产减值损失 -4.0 -11.5 -12.0 -12.0 -12.0 投资资本增长率 53.7% 33.1% 23.6% 21.0% 12.5% 加:公允价值变动收益 150.1 64.6 - -0.0 - 净资产增长率 110.6% 35.7% 8.5% 23.1% 11.7% 投资和汇兑收益 22.5 51.3 30.0 30.0 30.0 营业利润 296.9 371.1 481.1 674.4 865.4 利润率 加:营业外净收支 1.3 3.5 -6.0 -6.0 -6.0 毛利率 36.8% 36.2% 37.0% 37.3% 37.3% 利润总额 298.2 374.7 475.1 668.4 859.4 营业利润率 21.3% 17.8% 15.8% 16.4% 16.8% 减:所得税 37.4 90.4 71.3 100.3 128.9 净利润率 18.7% 13.5% 13.2% 13.8% 14.2% 净利润 260.6 281.8 402.8 567.0 729.3 EBIT DA/营业收入 31.5% 24.7% 21.2% 20.7% 20.2% EBIT /营业收入 28.2% 21.8% 19.5% 19.4% 19.2% 资产负债表 运营效率 2020 2021 2022E 2023E 2024E 固定资产周转天数 119 130 113 81 62 货币资金 1,502.5 1,519.4 2,226.5 2,990.0 3,745.8 流动营业资本周转天数 330 307 292 307 312 交易性金融资产 - 0.0 0.0 - - 流动资产周转天数 760 736 699 696 695 应收帐款 1,040.8 1,310.4 2,601.8 2,544.8 3,730.6 应收帐款周转天数 244 203 231 226 220 应收票据 14.6 12.7 38.8 28.4 51.0 存货周转天数 184 171 179 176 174 预付帐款 198.5 482.7 188.6 831.3 519.1 总资产周转天数 1,187 1,200 1,062 961 905 存货 794.5 1,182.9 1,846.9 2,164.0 2,798.0 投资资本周转天数 639 605 527 480 445 其他流动资产 200.3 257.8 184.5 214.2 218.8 可供出售金融资产 - - - - - 投资回报率 持有至到期投资 - - - - - ROE 8.3% 6.9% 9.1% 10.3% 11.8% 长期股权投资 231.0 205.9 205.9 205.9 205.9 ROA 4.4% 3.6% 4.0% 4.8% 5.2% 投资性房地产 - 423.4 423.4 423.4 423.4 ROIC 16.7% 11.3% 12.1% 13.3% 13.7% 固定资产 530.1 974.9 940.0 905.1 870.1 费用率 在建工程 432.9 373.0 373.0 373.0 373.0 销售费用率 3.9% 3.6% 3.0% 3.0% 3.0% 无形资产 193.2 400.2 383.6 366.9 350.3 管理费用率 9.9% 9.6% 9.0% 9.0% 9.0% 其他非流动资产 818.2 789.6 676.2 759.4 733.6 研发费用率 6.8% 6.9% 6.4% 6.4% 6.4% 资产总额 5,956.7 7,933.0 10,089.2 11,806.4 14,019.7 财务费用率 5.5% 3.8% 2.9% 2.4% 1.9% 短期债务 958.8 1,283.1 1,892.7 2,086.1 2,586.7 四费/营业收入 26.0% 23.8% 21.3% 20.8% 20.3% 应付帐款 417.0 719.4 1,244.0 1,197.4 1,835.1 偿债能力 应付票据 28.0 11.0 71.4 38.2 85.0 资产负债率 46.9% 45.9% 53.9% 51.5% 54.4% 其他流动负债 406.1 747.8 751.3 664.5 727.4 负债权益比 88.5% 84.9% 116.8% 106.1% 119.1% 长期借款 588.1 648.9 1,171.2 1,779.5 2,102.6 流动比率 2.07 1.73 1.79 2.20 2.11 其他非流动负债 397.9 232.4 304.9 311.7 283.0 速动比率 1.63 1.30 1.32 1.66 1.58 负债总额 2,795.9 3,642.6 5,435.5 6,077.6 7,619.8 利息保障倍数 5.16 5.78 6.61 8.0