至纯科技发布2022年中报，营收保持较快增长，制程设备驶入快车道。净利润受政府补助影响，制程设备表现亮眼。新增订单高速增长，维持全年40亿新增订单目标。制程设备获得持续订单，14nm制程设备实现出货。高纯工艺系统逐步实现自给，产能建设支撑业务发展。公司制程设备已经从验证订单阶段迈入批量订单阶段，有望实现快速放量。维持“买入”评级。
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