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至纯科技公告中标长江存储高纯工艺系统订单,金额2.76亿元。公司充分受益国内半导体制造行业高景气及设备国产化,半导体相关业务未来有望持续高增。维持22-24年EPS至1.23、1.64、2.11元,维持目标价57.41元,增持。国内半导体设备需求旺盛,下半年有望迎来订单高峰期。国内晶圆制造投资高景气,设备国产化有望加速。风险提示:下游资本开支不及预期。