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微晶硅技术在HJT的应用中具有较高的透光率和稳定性，以及更高的掺杂效率，能够提高电导率和开路电压。微晶硅的沉积技术主要有团簇式和链式PECVD，其中团簇式PECVD具有占地面积小、设备稼动率高等优点，但腔体内部有大量含Fe零件，自清洁时会受到侵蚀；链式PECVD则具有厂房层高小、结构简单等优点，但产线长、维护不便。在光伏行业的应用案例中，山西晋能、南昌国电投和浙江爱康等公司已经成功应用了团簇式PECVD技术。
