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中微公司(688012)是刻蚀设备领域的世界领先企业,主要受益于刻蚀设备和MOCVD设备收入的快速增长。公司在刻蚀设备研发稳定推进,并已运用于国际知名客户产线。此外,公司在大陆晶圆厂新一轮产能扩张中持续受益国产替代大背景下。预计公司2021-2023年归母净利润为5.13、6.43、7.70亿,维持增持评级。