受益于国产替代趋势叠加ICP设备逐步放量，刻蚀设备收入超预期

受益于国产替代趋势叠加ICP设备逐步放量，中微公司2021年上半年实现营业收入13.39亿元，同比增长36.82%，归母净利润3.97亿元，同比增长233.17%。其中，刻蚀设备业务收入大幅增长，ICP进入快速增长通道；Mini LED有望进入商业化元年，公司作为国内领先企业有望显著受益；外延内生式发展战略，积极投入EPI、LPCVD等设备研发。我们预计2021~2023年公司营业收入达30.65亿元、41.8亿元和56.08亿元，归母净利润达5.85亿元、6.99亿元、8.94亿元，给予买入-A评级，6个月目标价209元，对应2021年220X动态市盈率。