- 公司2025Q1-3营收80.6亿元，同比+46.4%，Q3单季收入31.0亿元，同比+50.6%，延续高增势头，好于预期。
- 刻蚀设备收入23.2亿元，同比+35.3%，主要系先进逻辑和存储领域关键工艺大规模量产；CCP设备60:1成为国内标配，90:1即将上市；ICP设备精度达原子水平。
- 薄膜设备LPCVD和ALD收入约2.0亿元，同比+25%，新品快速放量。
- 存货/合同负债为81.9/43.9亿元，同比+5%/+47%，新接订单向好，后续收入有望持续增长。
- 毛利率波动及研发投入影响盈利，Q3利润端基本符合预期。
- Q1-3归母净利润12.1/扣非归母净利润8.9亿元，同比+32.7%/+9.1%；Q3分别为5.1/3.5亿元，同比+27.5%/+5.5%。
- Q3净利率/扣非净利率为16.0%/11.2%，同比-3.3pct/-4.8pct，盈利承压。
- 毛利率37.9%，同比-5.8pct，环比稳定，主要因新品确收及先进机台验证成本增加。
- 期间费用率29.1%，同比+1.2pct，销售及管理费用下降3.7pct，规模效应明显；研发费用率同比+5.0pct，为主要增长来源，压制盈利。
- 研发费用资本化率28.9%，同比-11.9pct，影响利润表观增速。
- Q3非经损益1.57亿元，增厚利润表现。
- 薄膜、量测等先进制程新品突破顺利，平台化布局加速。
- AI趋势下，公司新品研发加速，逐步覆盖半导体高端设备50%-60%。
- 刻蚀设备：覆盖95%以上需求，具备≥60:1深宽比量产能力，TSV设备持续获单。
- 薄膜沉积设备：六种先进设备已上市，同步开发金属薄膜气相设备、新一代PECVD设备。
- 量测设备：增资超微公司开发电子束检测设备，扩大覆盖度。
- 泛半导体设备：开发化合物半导体外延设备，陆续开展验证。
- 投资建议：维持2025-2027年营收预测120.28/159.77/205.59亿元（同比+32.7%/+32.8%/+28.7%），归母净利润预测23.45/32.88/44.56亿元（同比+45.2%/+40.2%/+35.5%），EPS 3.75/5.25/7.12元，对应PE 79/56/42倍，维持“增持”评级。
- 风险提示：新品产业化进度不及预期、行业竞争格局恶化。
