25Q3营收超预期，高深宽比刻蚀设备受益存储扩产

公司发布三季报。 ►刻蚀&薄膜设备放量，Q3营收端高增好于预期 2025Q1-3公司收入80.6亿元，同比+46.4%，其中Q3为31.0亿元，同比+50.6%，延续高增势头，好于市场预期。25Q3营收拆分：1）刻蚀设备：收入23.2亿元，同比+35.3%，主要系先进逻辑中段关键刻蚀工艺和先进存储超高深宽比刻蚀工艺大规模量产。分产品看，CCP方面60:1设备已成为国内标配，90:1刻蚀机马上进入市场；ICP方面，加工精度和重复性已达原子水平；2）薄膜设备：LPCVD和ALD收入约2.0亿元（2024年为1.6亿元），新品快速放量。公司刻蚀设备保持出色竞争力，已突破至5nm及更先进节点量产；薄膜设备覆盖率不断增加，性能完全对标海外。截止2025Q3末，公司存货/合同负债为81.9/43.9亿元，同比+5%/+47%，公司新接订单向好，后续随着产品矩阵不断扩大，看好收入体量持续快速增长。 ►毛利率波动&研发投入影响盈利水平，Q3利润端基本符合预期2025Q1-3公司归母净利润/扣非归母净利润为12.1/8.9亿元，同比+32.7%/+9.1%；其中Q3为5.1/3.5亿元，分 别同比+27.5%/+5.5%，利润端增速低于收入端，符合我们预期。2025Q3公司净利率/扣非净利率为16.0%/11.2%，分别同比-3.3pct/-4.8pct，盈利水平有所承压。具体分析：1）毛利端：25Q3公司毛利率为37.9%，同比-5.8pct，环比基本稳定，推测系新品确收及先进机台验证等成本较大；2）费用端：25Q3公司期间费用率为29.1%，同比+1.2pct，其中销售及管理合计下降3.7pct，规模效应明显；而研发费用率同比+5.0pct，为主要增长来源，压制了盈利水平，进一步分析，25Q1-3公司研发费用资本化率为28.9%，同比-11.9pct，影响了利润端表观增速；3）25Q3非经损益1.57亿元（去年同期约6000万元），一定程度增厚利润端表现。 #3、薄膜、量测等先进制程新品突破顺利，平台化布局加速推进 AI产业趋势下，先进制程敞口+平台化是投资设备重要考量因素，尤其存储大周期下，超高深宽比刻蚀设备更加重要。公司新品研发显著加速，将不断内生外延，逐步覆盖半导体高端设备50%-60%，深度受益： ①刻蚀设备：已覆盖95%以上刻蚀需求，具有量产≥60:1深宽比刻蚀设备能力，并积极储备更高深宽比结构刻蚀技术，TSV硅通孔刻蚀设备持续获得重复订单；②薄膜沉积设备：六种先进薄膜设备已经顺利进入市场,并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发；③量测设备：公司增资超微公司重点开发电子束检测设备，将通过各种方式不断扩大覆盖度；④泛半导体设备：公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。 投资建议 我们维持2025-2027年公司营收预测为120.28、159.77、205.59亿元，分别同比+32.7%、+32.8%、+28.7%；归母净利润预测为23.45、32.88、44.56亿元，分别同比+45.2%、+40.2%、35.5%；对应EPS为3.75、5.25、7.12元。2025/10/29日股价296.66元对应PE分别为79、56、42倍，维持“增持”评级。 风险提示 新品产业化进度不及预期、行业竞争格局恶化等。 资料来源：Wind，华西证券研究所[Table_Author]分析师：黄瑞连邮箱：huangrl@hx168.com.cnSACNO：S1120524030001联系电话： 分析师承诺 作者具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格或相当的专业胜任能力，保证报告所采用的数据均来自合规渠道，分析逻辑基于作者的职业理解，通过合理判断并得出结论，力求客观、公正，结论不受任何第三方的授意、影响，特此声明。 评级说明 行业评级标准 华西证券研究所： 地址：北京市西城区太平桥大街丰汇园11号丰汇时代大厦南座5层网址：http://www.hx168.com.cn/hxzq/hxindex.html 华西证券免责声明 华西证券股份有限公司（以下简称“本公司”）具备证券投资咨询业务资格。本报告仅供本公司签约客户使用。本公司不会因接收人收到或者经由其他渠道转发收到本报告而直接视其为本公司客户。 本报告基于本公司研究所及其研究人员认为的已经公开的资料或者研究人员的实地调研资料，但本公司对该等信息的准确性、完整性或可靠性不作任何保证。本报告所载资料、意见以及推测仅于本报告发布当日的判断，且这种判断受到研究方法、研究依据等多方面的制约。在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及预测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息始终保持在最新状态。同时，本公司对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改，投资者需自行关注相应更新或修改。 在任何情况下，本报告仅提供给签约客户参考使用，任何信息或所表述的意见绝不构成对任何人的投资建议。市场有风险，投资需谨慎。投资者不应将本报告视为做出投资决策的惟一参考因素，亦不应认为本报告可以取代自己的判断。在任何情况下，本报告均未考虑到个别客户的特殊投资目标、财务状况或需求，不能作为客户进行客户买卖、认购证券或者其他金融工具的保证或邀请。在任何情况下，本公司、本公司员工或者其他关联方均不承诺投资者一定获利，不与投资者分享投资收益，也不对任何人因使用本报告而导致的任何可能损失负有任何责任。投资者因使用本公司研究报告做出的任何投资决策均是独立行为，与本公司、本公司员工及其他关联方无关。本公司建立起信息隔离墙制度、跨墙制度来规范管理跨部门、跨关联机构之间的信息流动。务 请投资者注意，在法律许可的前提下，本公司及其所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务。在法律许可的前提下，本公司的董事、高级职员或员工可能担任本报告所提到的公司的董事。 所有报告版权均归本公司所有。未经本公司事先书面授权，任何机构或个人不得以任何形式复制、转发或公开传播本报告的全部或部分内容，如需引用、刊发或转载本报告，需注明出处为华西证券研究所，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。