本土刻蚀设备中流砥柱，多线布局助力国产替代

请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告|2023年03月13日买入中微公司（688012.SH）本土刻蚀设备中流砥柱，多线布局助力国产替代核心观点公司研究·深度报告电子·半导体证券分析师：胡剑证券分析师：胡慧021-60893306021-60871321hujian1@guosen.com.cnhuhui2@guosen.com.cnS0980521080001S0980521080002证券分析师：周靖翔证券分析师：李梓澎021-603754020755-81981181zhoujingxiang@guosen.com.cnlizipeng@guosen.com.cnS0980522100001S0980522090001证券分析师：叶子联系人：詹浏洋0755-81982153010-88005307yezi3@guosen.com.cnzhanliuyang@guosen.com.cnS0980522100003基础数据投资评级买入(上调)合理估值151.70-161.80元收盘价123.50元总市值/流通市值76106/76106百万元52周最高价/最低价150.48/76.70元近3个月日均成交额660.92百万元市场走势资料来源：Wind、国信证券经济研究所整理相关研究报告《中微公司（688012.SH）-前三季度新签订单同比增长60.24%，薄膜沉积设备加速布局》——2022-10-31《中微公司（688012.SH）-1H22扣非净利润同比增长约600%，新增订单约30亿元》——2022-07-07《中微公司（688012.SH）-1Q22刻蚀设备收入同比增长105%，盈利能力显著提升》——2022-04-29《中微公司（688012.SH）-刻蚀设备收入快速增长，研发增强助力多线布局》——2022-03-31《中微公司-688012-2021年三季报点评：下游需求旺盛，刻蚀设备高增长》——2021-10-29国产刻蚀设备龙头企业，产品覆盖海外一线大厂及国内头部厂商。中微成立于2004年，公司核心高管及技术人员多数具有国际半导体大厂从业经验，CEO尹志尧博士是近300项海内外专利的主要发明人。公司主营等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净化设备，产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造等领域。公司2022年全年预计实现营收47.4亿元，同比增长52.5%，实现归母净利润区间为11.70亿元，同比增长15.66%；实现扣非归母净利润9.19亿元，同比增长183.44%。刻蚀机业务高速发展，CCP市占率不断提升，ICP设备快速放量。公司CCP设备性能先进，在国产设备中处于绝对领先地位，已切入国际知名厂商5nm产线，国内市场份额持续提升，2022年公司已累计有2320个反应台在生产线运转；ICP设备2022年上半年收入4.13亿元，同比增长414.08%，截至2022年6月底，ICPNanova设备已经顺利交付超过220台反应腔，在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。截至2022年中，本土刻蚀设备国产化率约两成，中美贸易摩擦持续刺激国产设备的需求，公司作为国产刻蚀设备龙头有望持续受益。MOCVD设备保持领先地位，LPCVD、EPI、ALD有望成为业绩新增长点。公司MOCVD在Mini-LED中的蓝绿光生产线取得绝对领先地位，针对Micro-LED的新品设备也在积极研发，布局于金属钨填充的LPCVD设备、锗硅外延生长的Epi设备和原子层沉积的ALD设备研发顺利，部分已经进入样机制造和调试阶段，预计将于23年陆续推出，有望成为公司新的业务成长点。投资布局量测设备，有望成为国产替代新军主力。量测设备贯穿整个晶圆制造环节，设备价值约占产线价值的13%，也是前道国产化率最低的环节之一，截至2022年国产化率仅约1%。KLA的退出提高了国产量测设备环节的重要性，国产量测设备有望进入国产替代加速期，中微22年对睿励仪器追加1.08亿元现金投资，持股比例从20.4%变更为29.4%，持续投资布局工艺检测设备领域，有望成为国产量测设备主力，同时与制造设备形成良性协同作用。盈利预测与估值：目标价151.7-161.8元，上调至“买入”评级。我们预计2022-2024年公司归母净利润为12.19/15.59/19.22亿元（YoY20.5%/27.9%/23.3%），根据相对估值，目标价为151.7-161.8元，上调至“买入”评级。风险提示：下游需求不及预期；新产品研发失败风险；行业竞争加剧风险等。盈利预测和财务指标202020212022E2023E2024E营业收入(百万元)2,2733,1084,6366,2358,211(+/-%)16.8%36.7%49.1%34.5%31.7%净利润(百万元)4921011121915591922(+/-%)161.0%105.5%20.5%27.9%23.3%每股收益（元）0.921.641.982.533.12EBITMargin3.8%12.0%16.2%17.2%18.0%净资产收益率（ROE）11.3%7.3%8.0%9.3%10.3%市盈率（PE）134.275.262.448.839.6EV/EBITDA412.6169.586.354.137.9市净率（PB）15.125.465.024.554.08资料来源：Wind、国信证券经济研究所预测注：摊薄每股收益按最新总股本计算 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告2内容目录中微公司：国产集成电路制造高端设备领军者......................................6专注于集成电路和泛半导体微观加工，客户覆盖全球知名企业................................6刻蚀设备与MOCVD双向并行，盈利能力比肩国际大厂.......................................10国产刻蚀设备龙头企业，引领国产化设备革新.....................................12CCP设备供应国际一线厂商，ICP设备快速放量............................................12先进制程驱动，NAND迅速增长，国产化加速刺激刻蚀设备需求..............................13世界知名MOCVD设备供应厂商，应用空间广阔.....................................18MOCVD是LED外延片制备的核心设备，价值占比超过50%....................................18中微MOCVD全球领先，市场份额不断提升.................................................21切入LPCVD市场，EPI、ALD协同布局.............................................24投资布局量检测设备，有望成为国产替代主力.....................................27盈利预测.....................................................................31假设前提.............................................................................31未来3年业绩预测.....................................................................32盈利预测情景分析.....................................................................33估值与投资建议...............................................................34风险提示.....................................................................36财务预测与估值...............................................................38免责声明.....................................................................39 请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告3图表目录图1：中微公司历史沿革....................................................................6图2：中微股权结构相对分散................................................................7图3：中微刻蚀机覆盖国内外知名厂商........................................................9图4：中微MOCVD覆盖国内知名LED厂商......................................................9图5：公司员工数量相较2016年接近翻倍....................................................10图6：公司人员结构本科以上占比超过90%....................................................10图7：公司2017-2022年营业收入及增速（单位：亿元）.......................................10图8：2016-2021年公司主营业务毛利率变化..................................................10图9：公司2016-2021年收入分布...........................................................11图10：2019-2021年中微公司毛利率与行业平均对比...........................................11图11：2019-2021年中微公司净利率与行业平均对比...........................................11图12：2019-2021年中微公司毛利率与LAM、TEL对比..........................................11图13：2019-2021年中微公司净利率与LAM、TEL对比..........................................11图14：刻蚀是芯片制造的主要工艺之一......................................................12图15：刻蚀设备约占工艺设备的20%.........................................................12图16：干法刻蚀具有各向异性和高可控性....................................................12图17：10nm以下刻蚀达到100步以上........................................................14图18：多重模版工艺显著增加刻蚀步骤数..............................................