屹唐股份是全球领先的半导体前道设备制造商，专注于干法去胶、快速热处理、干法刻蚀等核心设备，产品广泛应用于逻辑芯片、DRAM、3D闪存等领域。公司发展历程分为技术获取、产能建设和市场突破三个阶段，目前已成为国产半导体前道设备领军企业。
公司业务主要分为三大板块：专用设备、备品备件和其他业务。其中，专用设备是公司业绩支柱，包括干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备，2020-2025年收入CAGR约17.2%。备品备件业务作为专用设备后市场服务，覆盖设备全生命周期需求，2020-2025年收入CAGR约18%，毛利率稳定在56%高位。
干法去胶设备：公司作为全球干法去胶设备第二大供应商，2025年市占率达33.7%。供应链本土化放大利润，2022-2024年毛利率提升至27%。主要技术包括远程等离子体技术、双晶圆真空反应腔等。
快速热处理设备：公司为行业领军企业，全球市占率第二（占比13%），设备覆盖5nm逻辑芯片及先进存储制造。2018-2025年收入CAGR约16%，毛利率中枢40%。核心技术包括双面加热技术、氩气水壁电弧灯设计等。
干法刻蚀设备：业务为高速成长期，19-25年收入CAGR约59%，2024年毛利率提升至20%。产品矩阵包括ParadigmE系列、Novyka系列和Hydrilis XT系列，满足不同工艺需求。核心技术包括双晶圆真空反应腔设计、扁平型电感耦合等离子体源等。
备品备件：公司依托专用设备主业优势，延伸布局备品备件后市场服务，覆盖设备全生命周期需求。19-24年收入CAGR约18%，毛利率稳定在56%高位。
公司募资25亿元，重点投向扩产和研发，将显著提升公司在半导体前道设备领域的产能保障和技术壁垒。预计2026-2028年收入增速分别为21%、23%、24%，归母净利润增速分别为25%、36%、34%。给予2026年22倍PS估值，对应目标价45.73元，首次覆盖给予"买入-A"投资评级。
主要风险包括行业周期波动、下游扩产不及预期、技术迭代风险和地缘政治风险。
