半导体设备细分领域龙头：干法去胶/热处理全球领先

2026年07月10日屹唐股份(688729.SH) 证券研究报告 半导体设备细分领域龙头，干法去胶/热处理全球领先 屹唐股份：并购筑基+国产替代，成就前道设备细分领域龙头 公司是全球领先的半导体前道设备制造商，专注于为集成电路客户提供干法去胶、快速热处理、干法刻蚀等核心设备，产品广泛应用于逻辑芯片、DRAM、3D闪存、模拟芯片、CIS等领域。公司2017年通过并购起家，早期业务主要集中于海外市场；随着北京基地投产及国产替代加速，25年境内收入同比+16%，现已形成覆盖中/美/德/韩/日等全球主要市场的业务布局。21-25年公司营业收入CAGR约12%，归母净利润CAGR约39%，展现出强劲增长态势。25年公司总收入为50.8亿元，其中专用设备和备品备件占比约98%。 专用设备：干法去胶/RTP全球第二，干法刻蚀持续突破 专用设备及备品备件为公司核心板块，20-25年收入CAGR约17%：①干法去胶设备：公司作为全球干法去胶设备第二大供应商，近年来市占率提升带动高增长，19-24年收入CAGR约26%，25年市占率达33.7%。 供 应 链 本 土 化 放 大 利 润 ，22-24年 毛 利 率 提 升 至27%（+12pcts）。利基市场格局稳定，23年全球规模6.3亿美元，公司继续导入长江存储、华虹等头部客户夯实壁垒。②快速热处理设备：公司为行业领军企业，全球市占率第二（占比13%），设备覆盖5nm逻辑芯片及先进存储制造，18-25年收入CAGR约16%，19-24年毛利率中枢40%。凭借核心技术优势，在200mm以上高端市场持续替代进口，25年市场份额占比为13.8%，成长空间广阔。③干法刻蚀设备：业务为高速成长期，19-25年收入CAGR约59%，受益产品结构优化，24年毛利率提升至20%（同比+11pct），市场认可度持续增强。23年全球干法刻蚀设备市场规模153亿美元，19-23年CAGR约8.9%，25年占全球市场份额0.5%，成长动能强劲。 常思远分析师SAC执业证书编号：S1450525120001changsy1@sdicsc.com.cn 周赵羽彤分析师SAC执业证书编号：S1450526060001zhouzyt@sdicsc.com.cn 备品备件：高毛利配套服务，增强客户粘性 相关报告 公司依托专用设备主业优势，延伸布局备品备件后市场服务，覆盖设备全生命周期需求（耗材6-12月/非耗材1年+）。凭借4800+台装机规模，该业务19-24年收入CAGR约18%，毛利率稳定在56%高位，形成与设备销售协同的高价值服务模式。 投资建议： 我们预计公司2026-2028年收入分别为61.4、75.3、93.2亿元，同比增长21%、23%、24%；归母净利润分别为8.4、11.4、15.4亿元，同比增长25%、36%、34%。考虑到公司是半导体设备国产化进程中稀 缺的细分龙头，技术卡位与业绩增长确定性突出，我们给予其2026年22倍PS估值，对应目标价45.73元，首次覆盖给予"买入-A"投资评级。 风险提示：行业周期波动；下游扩产不及预期；技术迭代风险；地缘政治风险；测算及假设不及预期风险。 内容目录 1.公司：国产半导体前道设备领军企业...........................................51.1.屹唐股份：并购筑基+国产替代，成就前道设备细分领域龙头.................51.2.业务结构：聚焦三大专用设备，国内外协同发展...........................61.3.国资赋能+子公司助力，募资重点投向扩产与研发..........................82.干法去胶设备：25年市占率33.7%，供应链本土化驱动盈利增长..................113.快速热处理设备：全球第二，高端市场进口替代先锋............................154.干法刻蚀设备：量价齐升，成长动能强劲......................................195.备品备件：高毛利配套服务，增强客户粘性....................................226.利预测及投资建议..........................................................236.1.盈利预测............................................................236.2.投资建议............................................................247.风险提示..................................................................24 图表目录 图1.公司营业收入及增速......................................................5图2.公司归母净利润及增速....................................................5图3.公司发展大事记..........................................................5图4.公司分类型产品收入占比..................................................6图5.公司分类型产品毛利率....................................................6图6.集成电路前道工艺流程及公司主要设备......................................7图7.逻辑、闪存、DRAM为专用设备主要销售领域..................................7图8. 19-24年公司各产品产品收入及增速.........................................7图9.公司专用设备产品收入占比................................................7图10.公司专用设备产品毛利率.................................................7图11.公司分地区收入占比.....................................................8图12.境内专用设备生产能力显著提升...........................................8图13.公司分渠道收入占比.....................................................8图14.公司分渠道营业收入及增速...............................................8图15.公司股权结构（截至2026年一季报）......................................9图16.公司子公司、分公司和参股公司情况......................................10图17. 2018-2024年全资子公司MTI合并净利润...................................10图18.北京屹唐半导体总部园区................................................10图19.集成电路前导芯片制造工艺去胶流程示意图................................11图20.干法去胶vs湿法去胶工艺...............................................11图21.公司干法去胶设备营业收入及增速........................................12图22.公司干法去胶设备产销量................................................12图23.公司干法去胶设备单位售价..............................................12图24.公司干法去胶设备毛利率................................................12图25.公司部分干法去胶设备零部件供应链情况..................................12图26.公司原材料采购自境外供应商比重........................................12图27.全球干法去胶设备市场规模..............................................14图28.公司干法去胶设备全球市占率............................................14图29. 2023年全球干法去胶设备市场竞争格局....................................15图30.集成电路前道芯片制造工艺热处理流程示意图..............................16 公司深度分析/屹唐股份 图31.热处理设备分类........................................................16图32.公司快速热处理设备营业收入及增速......................................16图33.公司快速热处理设备产销量..............................................16图34.公司快速热处理设备单位售价............................................17图35.公司快速热处理设备毛利率..............................................17图36. 2019-2028E全球热处理设备市场规模......................................18图37.全球热处理市场按工艺功能分类..........................................18图38. 2025年全球快速热处理设备竞争格局......................................18图39.公司快速热处理设备全球市占率..........................................18图40.刻蚀工艺饼干刨面图....................................................19图41.湿法刻蚀vs干法刻蚀工艺...............................................19图42.公司干法刻蚀设备营业收入及增速........................................19图43.公司干法刻蚀设备产量及增速............................................19图44.公司干法刻蚀设备销量及售价............................................19图45.公司干法刻蚀设备毛利率................................................19图46.公司paradigmE®系列等离子体刻蚀设备..................