半导体：六氟化钨价格走高，河北电子特气产业迎变局

近期，半导体关键材料六氟化钨价格持续上行，牵动全球半导体产业链神经。作为国内电子特气产业重要聚集地，河北依托产业基础与龙头企业布局，在本轮行业变动中占据关键位置，其中中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司（简称“中船特气”）的产能与技术布局，成为行业关注的客观焦点。 1.六氟化钨价格上行的客观背景 六氟化钨是半导体芯片制造的核心电子特气，是CVD钨膜的沉积关键材料，广泛用于逻辑/存储芯片的接触孔与通孔填充，属于芯片制造不可或缺的关键材料。2026年以来，六氟化钨价格呈现明显上涨态势。市场数据显示，6N级六氟化钨报价达220-300万元/吨，较4月初涨幅超190%；7N级产品因供应稀缺，长协价达330万-360万元/吨。 价格上行源于供需两端的客观变化。供给端收缩：日本关东电化、中央硝子两家企业六氟化钨合计产能约2000吨，占全球产能的25%，受中国钨原料出口管制政策影响，其库存仅能维持至2026年6月底，下半年将面临断供风险；同时，六氟化钨属于剧毒危化品，环评、安评要求严苛，扩产周期需1.5-2年，短期新增供给有限。需求端快速增长：AI算力产业爆发带动HBM需求井喷，2026年全球HBM需求同比大幅提升，且单颗HBM的六氟化钨用量是普通存储芯片的数倍；此外，随着3D NAND闪存堆叠层数向375层甚至更高层级跨越，对上游六氟化钨的需求持续刚性增长。 2.电子气体是电子工业的“血液”和“粮食” 电子气体是集成电路制造、半导体显示、半导体器件制造过程中不可缺少的关键材料，被称为电子工业的“血液”和“粮食”。按用途和特性，电子气体主要分为电子大宗气体和电子特气两大类。 电子大宗气体：主要包括氮气、氦气、氧气、氩气、氢气、二氧化碳等六大 品种。其中，氮气作为环境气、保护气、清洁气和运载气，通常贯穿半导体制造的全流程，是用量最大的核心气体；其余品种的用量相对较少，在各特定工艺环节中发挥辅助作用。电子特气：种类繁多，超过百余种，常见包括三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、氨气、氙气、硅烷、一氧化二氮、磷烷以及各类激光气体等。这些气体专用于半导体制造中的特定工艺环节，虽然单一品种用量较小，但在相应工序中均发挥着不可替代的关键作用。 整体来看，电子大宗气体及电子特气在气体品种及用量、应用环节、纯度要求、供应模式、与客户的合作期限等方面均存在显著不同。 电子特气广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，其中沉积、刻蚀和清洗环节用量最大。以集成电路制造为例，上千道精密工序的完成需要依赖上百种电子特气，它们的纯度、配比与稳定供应直接决定了芯片的最终良率与可靠性。例如，六氟化钨用于沉积钨膜、氨气用于沉积氮化硅、硅烷用于沉积硅基薄膜，三氟化氮用于对多种材料的干法刻蚀与腔室清洗，磷烷用于N型掺杂，稀有气体/卤素组成的混合气用于准分子激光的工作气体等。 电子特气品类繁多，单一品种用量较小，以三氟化氮及六氟化钨占比最大。根据Linx Consulting数据，2021年全球电子特气市场中，规模排名前五的电子特气为三氟化氮、六氟化钨、刘氟丁二烯、氨气以及氙气，占比依次为20%、 8%、7%、4%以及4%。 3.中船特气的产业定位与布局 河北是国内电子特气产业的重要承载地，中船特气作为央企控股企业，是全球六氟化钨领域的重要供应商，其产能、技术与客户资源具备显著行业地位。公司六氟化钨的主要产能布局于河北邯郸基地，是河北电子特气产业的核心支撑。 中船特气围绕“电子特气为主、含氟新材料协同”的布局，已形成70余种电子特气产品的覆盖，并以三氟化氮、六氟化钨为主，氯化氢、氟化氢、氘气以及混配气等占比不断提升。在电子特气领域，公司整体竞争位势处于国内第一梯队，也是全球核心供应商之一。 公司当前六氟化钨有效产能约2000吨/年，拥有全球规模最大的生产基地，产品纯度以6N级为主，可满足部分3D NAND、HBM及先进逻辑芯片的生产需求。此外，公司规划新增1000吨/年六氟化钨产能，项目预计2027年投产，届时总产能将达3000吨/年，进一步巩固全球竞争地位。近期，受海外供给紧张影响，多家下游客户与公司沟通增量供应事宜，业务洽谈活跃度提升。 4.河北电子特气产业的发展逻辑 六氟化钨价格上行，客观上凸显了河北在国内电子特气领域的产业价值。从产业基础看，河北邯郸依托中船特气，已形成涵盖研发、生产、供应的完整电子特气产业链，集聚效应初步显现。 从行业趋势看，全球半导体产业链国产替代加速，高端六氟化钨作为“卡脖子”材料，其自主可控需求迫切。河北凭借中船特气的龙头带动，逐步成为国内高纯电子特气的核心供给区，既契合国家半导体产业发展战略，也推动区域化工产业向高端新材料领域转型升级。 结语 六氟化钨价格上行，是全球半导体供应链重构的客观缩影。河北以中船特气为核心，在高纯电子特气领域形成的产能、技术与产业集群优势，使其成为本轮 行业变动中的关键区域。未来，随着全球半导体产业持续发展，河北电子特气产业的布局与动向，将持续受到产业链关注。 本文仅供参考，不构成投资建议。 作者单位：财达证券投行委研究部课题组