核心观点与关键数据
- 业绩表现：2025年公司营收20.53亿元，同比增长48.75%；归母净利润0.59亿元，同比转盈；扣非净利润-1.23亿元，同比亏损收窄；毛利率49.93%，同比提升1.03个百分点；归母净利率2.86%，同比提升3.69个百分点。25Q4营收8.52亿元，同比增长49.94%，环比增长70.47%；归母净利润0.73亿元，同比增长81.74%，环比增长1906.37%；扣非净利润0.17亿元，同比增长1247.86%，环比转盈；毛利率47.04%，同比下滑3.58个百分点，环比下滑1.65个百分点；归母净利率8.61%，同比增长1.51个百分点，环比提升7.88个百分点。
- 毛利率与净利率：2025年毛利率同比提升主要来自量检测设备，其中检测设备毛利率53.29%，同比提升0.77个百分点；量测设备毛利率41.91%，同比提升4.38个百分点。归母净利润显著高于扣非净利润，主要差异为1.67亿元的政府补贴。期间费用率同比下滑5.0个百分点，主要由于研发投入和股份支付费用增加，但营收规模扩大摊薄了期间费用。
- 25Q4表现：毛利率同环比下滑，但净利率同环比提升，主要由于期间费用摊薄，同比下滑5.11个百分点，环比下滑8.15个百分点；管理费用率同比下滑2.8个百分点，环比下滑3.4个百分点；研发费用率同比下滑3.3个百分点，环比下滑5.6个百分点。
战略布局与技术路线
- 核心技术路线：公司构建“光学+电子束+X光”三大核心技术路线，全面覆盖集成电路制造过程中的关键工艺环节。光学检测技术已实现批量量产，电子束关键尺寸量测设备完成样机研发，X光类设备如高深宽比刻蚀结构量测设备已通过头部存储客户产线验证。
- 产品组合：公司拥有十三大系列设备，涵盖图形缺陷检测、无图形检测、暗场设备等八大光学类设备系列，以及X光设备领域的明场设备、平整度量测设备等。三大系列智能软件已应用于头部客户，提升良率管理效率。
业务发展与产能布局
- 产能扩张：总投资超6亿元的广州产业化基地已投产，总投资超15亿元的上海张江研发测试及产业化项目已开工，总投资6.7亿元的研发、生产、运营一体深圳总部及研发中心升级建设项目顺利推进，持续扩充先进产能。
- 市场拓展：公司产品已应用于国内头部存储客户产线，并持续推出基于电子束及X光检测技术的新产品，覆盖先进逻辑、先进存储及HBM2.5D/3D封装等前沿领域。
研究结论与投资建议
- 盈利预测：上调公司26-27年盈利预测至3.8/6.2亿元，新增28年盈利预测10.9亿元，对应PE为171/105/59倍。
- 投资评级：维持“买入”评级，认为国产量/检测设备国产化率低，公司处于订单快速放量阶段，未来成长动力强劲。
- 风险提示：晶圆厂扩产不及预期、量/检测设备新品研发不及预期、下游客户招标不及预期。
