2025静电卡盘创新主体创新体系评价报告

ProfessionalIPServiceSince2012- 标准报告 服务科技创新服务未来价值 恒锐知识产权 垂直行业 恒锐知识产权是半导体垂直行业知识产权咨询与服务机构通过与半导体产业深度融合，业务与客户覆盖集成电路产业设计、制造、封装、设备、材料等各领域，致力于为客户提供数据、分析、咨询、确权、行权和维权的全方位知识产权解决方案。 iFuture 上海恒锐知识产权服务有限公司上海恒锐佳知识产权代理事务所 双核互动 作为国内和上海市专利信息与情报分析的先行者与领先者恒锐知识产权是全国知识产权评议服务示范创建机构、中华代理师协会理事，致力于专利信息利用与高价值专利布局的双核互动服务，累计完成专利情报分析项目超过2000项形成高价值专利布局超过5000件，助力10余家企业成功登陆科创板。 持之以恒锐意进取 数据库静电卡盘专利专题数据库 iFuturePat专题专利数据库一一静电卡盘专题专利数据库·数据权威：基于全球专利数据、100+家创新主体分析，涵盖技术分类、法律状态等·规避专利风险：基于动态更新的专利数据库，检索高风险技术点，预警潜在侵权纠纷·深度解析：应用材料、东京电子等头部企业的核心专利布局逻辑，为国产研发提供“技术抄近道”指南· 数据库网址：http://www.ifutureip.com.cnl 苏州芯慧联半导体科技有限公司 公司情况 产品情况 苏州芯慧联是一家专注于半导体领域专用设备设计及技术研发的企业，主要面向泛半导体领域的生产制造企业，为其提供配套的工艺设备、零部件、系统单元以及技术服务支持。芯慧联的静电卡盘能够完全替代进口产品，技术达到国际领先水平。 主营业务 奖项荣誉 广东海拓创新技术有限公司 公司情况 产品情况 海拓创新是一家专注半导体及显示行业关键零部件进行国产化的技术型公司，在国产化静电卡盘及基于静电卡盘为技术核心设备领域的设计、生产具有领先地位，通过了ISO14001、ISO14001等国际质量体系认证，其静电卡盘系统涵盖晶圆搬般运、氧化物/多晶硅刻蚀、离子注入、薄膜等工序。 主营业务 奖项荣誉 苏州众芯联电子材料有限公司 众芯联在静电卡盘领域内属于新兴企业，其生产的静电卡盘广泛应用于芯片和面板制造领域，主要服务于干刻、PVD、CVD等设备。 奖项荣誉 浙江新纳陶瓷新材有限公司 浙江新纳陶瓷新材有限公司 公司情况 产品情况 新纳陶瓷是一家专业从事设计开发、生产制造、销售陶瓷材料和产品的高新技术民营企业，拥有国外先进、国内领先的陶瓷材料和产品生产线，已形成以陶瓷基板、结构陶瓷、陶瓷器件等为主导的多门类产品，专注于半导体、移动通讯、新能源等应用领域的陶瓷材料及器件的研发生产，是国内特种陶瓷材料和产品的主要生产厂家 主营业务 奖项荣誉 北京华卓精科科技股份有限公司 华卓精科在中国半导体用静电卡盘市场中属于领先企业之一，其12英寸PVD氮化铝静电吸盘已经实现量产，并在市场中获得了一定的份额，能够满足12英寸晶圆的加工需求。 奖项荣誉 君原电子科技（海宁）有限公司 公司情况 产品情况 君原电子是国内第一家实现规模化生产半导体静电吸盘的公司，引领了国内相关产业的发展，其产品线实现了对14nm及以上的主要刻蚀机台静电吸盘产品的全覆盖，能够满足不同工艺节点和设备类型的需求，为客户提供一站式的解决方案。 主营业务 奖项荣誉 烟台睿瓷新材料技术有限公司 烟台睿瓷新材料技术有限公司 公司情况 产品情况 睿瓷新材专业从事特种陶瓷材料研制、高精度陶瓷零部件加工、半导体陶瓷静电吸盘及其组件制备，掌握从陶瓷粉体到吸盘制备全链条自主核心技术，睿瓷新材具有独立静电吸盘生产线，形成了年产700套以上静电吸盘的生产能力能够提供标准的12寸和8寸氧化铝静电卡盘，以及300mm以上尺寸的碳化硅和氧化铝真空吸盘。 奖项荣誉 江苏鲁汶仪器股份有限公司 鲁汶仪器致力于为集成电路制造产业提供先进的装备和工艺解决方案，研发了业界领先的离子束塑形设备(IBS)、离子束沉积设备(IBD)等，鲁汶仪器也提供电感耦合等离子体刻蚀设备(ICP)、薄膜沉积设备(CVD)，以及气相分解金属沾污收集设备(VPD)等晶圆工艺制造设备与检测设备。 奖项荣誉 北京北方华创微电子装备有限公司 公司情况 产品情况 北方华创的主要产品包括刻蚀机、PVD、ALD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等领域。 主营业务 静电卡盘产品 ?静电卡盘维护 奖项荣誉 中国半导体行业协会会员、中国半导体市场领军企业、高新技术企业、专精特新“小巨人"企业、科学进步奖、知识产权创新奖、中国专利优秀奖 中微半导体设备（上海）股份有限公司 公司情况 产品情况 中微公司是一家以中国为基地、面向亚洲和全球的微观加工高端设备公司，其等离子刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已被广泛应用于从45纳米到1X纳米工艺的芯片加工制造及先进封装，用于LED和功率器件外延片批量生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投入批量生产 主营业务 奖项荣誉 中国半导体行业协会会员、高新技术企业、中国专利金奖、中国专利银奖 国内创新评价汇总 国内创新主体静电卡盘创新体系评价排行 基于静电卡盘相关专利数据，从研发体系，创新成果、保护强度、布局深度、布局广度五人角度为国内创新主体进行创新能力进行评估，得到创新体系评分TOP10排名。 持之以恒锐意进取 CONTENTS 05 国内创新主体静电卡盘创新体系评价排行 持之以恒锐意进取 日本特殊陶业株式会社 日本特殊陶业株式会社 公司情况 产品情况 日本特殊陶业在半导体设备零部件领域占据着显著的份额，提供着多种半导体制造设备用的精密陶瓷部件。日本特殊陶业是全球主要的静电卡盘翻新生产商之一，同时也是陶瓷型静电卡盘市场份额中排名靠前。 奖项荣誉 京瓷株式会社 京瓷株式会社 公司情况 产品情况 京瓷在电子陶瓷领域是全球规模最大的先进陶瓷供应商，被称为电子陶瓷之王。京瓷的静电卡盘具有高精度，高温耐久性和化学稳定性，适用于等离子体环境，更够在各种操作温度下保持良好的性能。 主营业务 奖项荣誉 住友大阪水泥股份有限公司 产品情况 住友大阪水泥株式会社在陶瓷材料方面的发展主要集中在半导体制造设备的关键部件--静电卡盘（ESC）的生产。公司的ESC由超细颗粒高纯度碳化硅支撑，具有高纯度，高导热性，高耐用性。 奖项荣誉 CerSJ工业陶瓷技术进步奖，华为核心供应商名单，Sumitomo Electric Group Kaizen Awards 新光电气工业股份有限公司 公司情况 产品情况 新光电气是一家在半导体封装领域具有深厚技术和广泛市场影响力的公司。新光电气利用其从陶瓷烧结到加工，组装检验的一体化生产优势，实现了高品质，低价格，短交货期，提供满足客户尖端需求的静电卡盘。 主营业务 奖项荣誉 2016年泛林半导体Supplier Excellence Award，英特尔2017年度Supplier Continuous Quality Improvement Award,Japan FineCeramic Association Regional Award 株式会社创意科技 株式会社创意科技 东陶机器株式会社 东陶机器株式会社 公司情况 产品情况 东陶机器株式会社（TOTO）除了主营的卫浴洁具和建材以外，其在精密套磁领域也有涉猎较深，其在半导体制造和光通信领域制造和销售高品质高精度的陶瓷产品，如气滑，静电卡盘和焊接毛细管等。 奖项荣誉 IF设计大奖，红点设计奖。 日本碍子株式会社 日本碍子株式会社 公司情况 产品情况 日本碍子株式会社是一家以先进陶瓷为核心的公司，其在静电卡盘领域主要为下游厂家提供氮化铝，氧化铝等先进陶瓷件。 主营业务 奖项荣誉 宇宙探测创新中心选中。 拉姆研究公司 拉姆研究公司 奖项荣誉 连续七年入选《财富》美国500强，全球最受赞赏公司，英特尔EPIC杰出供应商 东京电子株式会社 TEL东京电子株式会社 公司情况 产品情况 东京电子是全球第四大半导体设备厂商，其涂胶显影设备全球市占率排名第一。东京电子所制造的静电卡盘在日本台湾和韩国拥有较高的影响力，应用产业多数为半导体，平板显示器和数据存储器方面。 主营业务 奖项荣誉 TSMC卓越表现奖，科睿唯安年度百强创新机构，全球百搭创新灵修，nikkei综合报告优秀奖。 应用材料股份有限公司 公司情况 奖项荣誉 美国国家技术奖，中国专利奖，全球500强，英特尔epic杰出供应商，入选《财富》杂志评选的全球最受尊敬公司 国外创新评价汇总 国外创新主体静电卡盘创新体系评价排行 基于静电卡盘相关专利数据，从研发体系，创新成果、保护强度、布局深度、布局广度五人角度为国外创新主体进行创新能力进行评估，得到创新体系评分TOP10排名。 04 持之以恒锐意进取 CONTENTS 国外创新主体静电卡盘创新体系评价排行 持之以恒锐意进取 半导体部件厂技术分类数量排名情况 “部件厂中, IPC小组数量最多的外国企业是日本碍子株式会社，涉及60个技术分类；其次是住友大阪水泥股份有限公司，有35个；IPC小组数量最多的中国企业是君原电子科技（海宁）有限公司，涉及24个技术分类；其余的创新主体IPC小组均小于10。 半导体设备厂技术分类数量排名情况 全球IPC小组数量最多的企业是应用材料股份有限公司，技术分类达有128个；其次是东京电子株式会社，有103个；中国设备厂中微半导体（上海）股份有限公司，技术分类达有41个；其余的创新主体的IPC小组均小于10. 国内外部件厂静电卡盘相关专利发明人数量TOP10 国内外设备厂静电卡盘相关专利发明人数量TOP10207 “在设备厂中，中外厂商发明人人数差距明显） 全球范围内静电卡盘相关专利发明人数最多的是应用材料股份有限公司，有1290位发明人;其次是东京电子株式会社，有1039位发明人； “在中国部件厂商中被引总次数最多的企业是北京华卓精科科技股份有限公司，有16件，对应被引用率为31.03% 中国设备厂商-被引总次数及被引用率TOP10 在中国设备厂中 被引总次数最多的企业是北京北方华创微电子设备有限公司，有174次，对应被引用率为25.12%其次是中微半导体设备（上海）股份有限公司有150次，对应的被引用率为18.28%；其他厂商的专利被引用总次数均不足10次。 全球部件厂商-近5年被引≥5次专利数及被引用率TOP10 “近五年， 在全球部件厂中 近5年被引次数≥5次的专利数最多的企业是新光电气公司，有148件，对应被引用率为24.23%； 其次是东陶机器株式会社，有122件，对应的被引用率为38.68%; 全球设备厂商-近5年被引≥5次专利数及被引用率TOP10 “近五年， 在全球设备厂中， 近5年被引次数≥5次的专利数最多的企业是应用材料股份有限公司，有209件，对应被引用率为39.67%; 其次是东京电子，有136件，对应的被引用率为35.26%。 “近五年， 在国内部件厂中, “近五年， “近五年， “近五年， “平均12件 国内设备厂商静电卡盘专利申请量TOP10 “平均54件 在国内设备厂中, 其次是北方华创微电子，有211件； 从第三名开始申请量低于15件。 静电卡盘相关专利多维排行 人设备厂/部件厂，国内/国外的划分角度出发，人申请量发明人，引用率等多维度出发对静电卡盘领域内的权利人进行排行。 持之以恒锐意进取 CONTENTS 03 静电卡盘相关专利多维排行 持之以恒锐意进取 中国各地区创新主