晶圆机械手创新主体创新能力评价

创新主体创新能力评价 服务科技创新服务未来价值 CONTENTS 01晶圆机械手概述 持之以恒锐意进取 晶圆机械手概述 晶 圆 机 械 手 ， 技 术 难 度 较 高;高 度 依 赖 进 口 ， 国 产 替 代 迫 在眉 睫 。 持之以恒锐意进取 晶圆机械手概览 晶圆机械手简介 晶圆机械手（WaferHandlingRobot，简称WHR），是半导体制造过程中不可或缺的关键设备，通常采用精密的机械结构和先进的控制系统，以确保对晶圆的精准抓取、定位和移动。其工作原理通常基于先进的运动学和控制理论，通过计算机编程完成复杂的动作，包括定位、抓取和移动晶圆。在实际操作中，机械手会根据传感器的反馈信息实时调整其运动路径和动作，以适应各种生产要求。晶圆机械手广泛应用于半导体制造的多个环节，如清洗、刻蚀、光刻、扩散、沉积、装配、包装和测试等。此外，它在显示器制造和太阳能产业中也扮演着重要角色。在显示器制造中，晶圆机械手用于液晶显示屏（LCD）和有机发光二极管（OLED）的生产；在太阳能产业中，它被广泛应用于太阳能电池片的生产。 晶圆机械手技术发展 高集成度与协作能力 智能化 更高的集成度，更强的智能化和协作能力，半导体制造中的多功能一体化晶圆搬运，与其他自动化设备及人类工人进行良好的协作。更高的集成度，更强的智能化和协作能力，半导体制造中的多功能一体化晶圆搬运，与其他自动化设备及人类工人进行良好的协作。 应用智能算法，如深度学习算法，实现自我学习和优化，半导体制造中的智能化晶圆搬运，提高生产效率和产品质量。应用智能算法，如深度学习算法，实现自我学习和优化，半导体制造中的智能化晶圆搬运，提高生产效率和产品质量。 视觉与传感结合 集成视觉传感器和力传感器，提高搬运精度和安全性，减少人为因素带来的影响。集成视觉传感器和力传感器，提高搬运精度和安全性，减少人为因素带来的影响。 多自由度设计 机械手采用多自由度设计，能够实现复杂的运动轨迹，半导体制造中的高精度晶圆搬运，适应不同的生产环境机械手采用多自由度设计，能够实现复杂的运动轨迹，半导体制造中的高精度晶圆搬运，适应不同的生产环境 自动化 早期 采用简单的机械结构，实现一定程度的自动化，半导体制造过程中的晶圆搬运，提高生产效率。采用简单的机械结构，实现一定程度的自动化，半导体制造过程中的晶圆搬运，提高生产效率。 人工干预较多，效率低且易出错，半导体制造的初步阶段，主要用于简单的晶圆搬运。人工干预较多，效率低且易出错，半导体制造的初步阶段，主要用于简单的晶圆搬运。 2020s-未来 1980-1990s CONTENTS 02晶圆机械手相关专利之宏观解析 持之以恒锐意进取 晶圆机械手相关专利宏观解析 晶 圆 机 械 手 相 关 专 利 在 申 请 量表 现 出 明 显 趋 势 特 征 ， 并在 申 请 人 ， 申 请 国 家 以 及 主 分 类 号表 现 出 明 显 的 集 中 特征 。 02 持之以恒锐意进取 晶圆机械手相关专利申请趋势 从申请趋势来看： •全球晶圆机械手的总体申请趋势呈现上升趋势；•美国、日本地区的晶圆机械手专利申请在1980s-2010s时期，呈现波动上升态势•中国地区的晶圆机械手专利申请从2010s呈现快速上升趋势，并于2020年后实现对美国、日本的超越，中国市场的重要性尤为凸显•未来一段时期内，中国地区的申请量还将上升 华、华、华南，均呈现地区产业集聚效应创新主体最多的地区是，达232个；广地区有116个，位列第二；地区有89个，排名三位。 CONTENTS 03晶圆机械手相关专利之中观排行 持之以恒锐意进取 晶圆机械手相关专利多维排行 分 别 从 全 球/中 国 本 土 的 划 分 角 度 出 发 ， 从 申 请 量 ， 发 明 人 ，引 用 率 等 多 维 度 出 发 对 晶 圆 机 械 手 领 域 内 的 权 利 人 进 行 排 行 。 03 持之以恒锐意进取 “平均392件 在全球范围内， 申请数量最多的创主体是布鲁克斯，达705件；其次是川崎重工，有685件；应用材料申请量排名第三。 在国创新主体中，WHR相关专利申请最多的是州泓浒，达66件；其次是广川科技，有65件；设备厂商方华创以58件位居第三。 CONTENTS 晶圆机械手之国外创新主体创新体系评价 持之以恒锐意进取 国外创新主体晶圆机械手创新体系评价排行 基 于 晶 圆 机 械 手 相 关 专 利 数 据 ， 从 研 发 体 系 ， 创 新 成 果 、保 护 强 度 、 布 局 深 度 、 布 局 广 度 五 个 角 度 为 国 外 创 新 主 体进 行 创 新 能 力 进 行 评 估 ， 得 到 创 新 体 系 评 分TO P 1 0排 名 。 04 持之以恒锐意进取 布鲁克斯自动化股份有限公司 公司情况 产品情况 致力于为半导体制造、生命科学等高科技领域提供先进的自动化解决方案，是全球领先的半导体自动化设备供应商之一。设计、制造和销售用于半导体制造过程中的自动化设备和系统，包括机器人、传输系统等。半导体制造用自动化机器人、晶圆传输系统等。 主营业务 晶圆机械手产品 晶圆机械手维护 晶圆机械手研发 奖项荣誉 CONTENTS 05 晶圆机械手之国内创新主体创新体系评价 持之以恒锐意进取 国内创新主体晶圆机械手创新体系评价排行 基 于 晶 圆 机 械 手 相 关 专 利 数 据 ， 从 研 发 体 系 ， 创 新 成 果 、保 护 强 度 、 布 局 深 度 、 布 局 广 度 五 个 角 度 为 国 内 创 新 主 体进 行 创 新 能 力 进 行 评 估 ， 得 到 创 新 体 系 评 分TO P 1 0排 名 。 05 持之以恒锐意进取 泓浒(州)半导体科技有限公司 公司情况 产品情况 半导体晶圆传输自动化设备研发和制造，主要产品包括晶圆机械手，晶圆分选机Sorter、设备前端模块EFEM、真空传输模块VTM等。在半导体设备前、中、后道工艺均有产品使用；特别是8/12吋晶圆分选设备进入国产主流大硅片生产线及先进封装线；在机械手臂领域翻和维护领域丰富经验。 主营业务 晶圆机械手产品 晶圆机械手维护 晶圆机械手生产 晶圆机械手研发 奖项荣誉 国家级专精特“小巨人”企业、苏市“独角兽”培育企业、科技型中小企业 数据库晶圆机械手专利专题数据库 iFuturePat专题专利数据库——晶圆机械手专题专利数据库·数据权威基于全球专利数据、100+家创新主体分析，涵盖技术分类、法律状态等·规避专利风险基于动态更新的专利数据库，检索高风险技术点，预警潜在侵权纠纷·深度解析布鲁克斯、川崎重工等头部企业的核心专利布局逻辑，为国产研发提供“技术抄近道”指南·数据库网址http://www.ifutureip.com.cn/ 知识产权恒锐 垂直行业 恒锐知识产权是半导体垂直行业知识产权咨询与服务机构，通过与半导体产业深度融合，业务与客户覆盖集成电路产业设计、制造、封装、设备、材料等各领域，致力于为客户提供数据、分析、咨询、确权、行权和维权的全方位知识产权解决方案。 iFuture 恒锐知识产权服务有限公司恒锐佳知识产权代理事务所 双核互动 作为国和上市专利信息与情报分析的先行者与领先者，恒锐知识产权是全国知识产权评议服务示范创机构、中华代理师协会理事，致力于专利信息利用与高价值专利布局的双核互动服务，累计完成专利情报分析项目超过2000项，形成高价值专利布局超过5000件，助力10余家企业成功登陆科创板。 持之以恒锐意进取 标准报告 服务科技创新服务未来价值