江苏微导纳米科技股份有限公司是一家专注于先进微米级、纳米级薄膜设备研发、生产与销售的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，辅以化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术，产品体系涵盖光伏、LED、集成电路、MEMS、新能源和柔性电子等领域。
核心业务与技术优势
公司以ALD技术为核心，形成梯次发展的产品体系，是国内首家将量产型High-k ALD设备应用于集成电路制造前道生产线的厂商，也是首批开发硬掩膜CVD设备的国产厂商之一。在光伏领域，公司率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产，相关产品连续多年在国内同类企业中营收规模、订单总量和市场占有率位居第一。公司拥有七个国家级、省级研发平台，承担多项国家、省级重大科技专项，技术积累丰富。
2025年上半年业绩表现
公司2025年上半年实现营业收入10.5亿元，同比增长33.42%，其中半导体设备收入1.94亿元，同比增长27.17%，占比提升至18.45%。半导体领域在手订单达23.28亿元，较年初增长54.72%。净利润同比增长348.95%，扣非净利润同比增长1090.38%。
半导体领域业务进展
- 订单增长：iTomic HiK系列、MeT系列ALD设备，iTronix MTP系列CVD设备持续获得量产订单，iTomic PE系列ALD设备市场认可度提升，iTronix PE系列CVD设备拓展顺利。
- 工艺覆盖：ALD设备涵盖主流薄膜材料及工艺，在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域实现产业化；CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破，进入存储芯片等领域。
- 先进封装进展：推出适用于50~200°C温度区间的低温工艺设备，iTronix PE系列CVD设备已获得重要客户订单并顺利验证。
新产品与研发投入
公司推出iTomic Spatix系列空间型ALD设备，单批次处理12片晶圆，适用于存储芯片等高产能需求场景。研发团队规模达349人，占员工总数28.05%，研发投入超60%用于半导体领域，重点覆盖逻辑、存储、先进封装等项目。
募投项目影响
公司成功发行可转债，募投项目包括“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”和“研发实验室扩建项目”，旨在提升生产能力、研发能力及科技成果转化能力，解决产能瓶颈，巩固市场竞争力。
