太阳能电池生产设备2025：TOPCon及更先进技术的最新工具

核心观点

• 太阳能电池生产设备领域发展迅速，设备供应商在提高生产效率、降低材料消耗、提升良率和设备利用率等方面取得了显著进步，有助于降低资本支出（CAPEX）和运营支出（OPEX）。
• 本调查重点关注 TOPCon 电池生产设备，同时涵盖 HJT 和 BC 设备的相关信息。
• 太阳能电池生产过程主要包括五个核心步骤：表面制备、发射极形成、钝化、金属化和 IV 测试。
• 表面制备步骤主要使用湿法清洗台，包括锯损伤刻蚀（SDE）、织构化、掺杂玻璃去除、边缘隔离和多晶硅包绕去除等应用。
• 发射极形成步骤主要使用扩散炉进行硼扩散，并采用激光辅助金属化（LECO）技术，实现超高比电阻发射极，提高电池效率。
• 钝化步骤是高效率电池架构的关键，TOPCon 电池的钝化涉及形成隧道氧化物和后续多晶硅沉积，然后进行掺杂。LPCVD 和 PECVD 是主流技术，PVD 也因其优势而受到关注。
• 金属化步骤是太阳能电池生产成本的主要驱动因素，银浆和屏幕是关键材料。LECO 技术的兴起推动了细线印刷和零汇流条（ZBB）设计的发展。
• IV 测试是电池生产线的最终性能验证步骤，LED 基测试器因其优越的光谱调节和稳定性而越来越受欢迎。
• 激光技术在 TOPCon 和 BC 电池生产中发挥着重要作用，包括激光掺杂、激光辅助接触形成和激光刻蚀等应用。
• 光学计量技术在电池生产中也越来越重要，可以非破坏性地分析薄膜的厚度、折射率、反射率和透射率等特性。
• 钙钛矿太阳能电池需要精确、致密、无针孔且符合性的薄膜沉积技术，ALD 是一种很有吸引力的选择。

关键数据

• 湿法清洗台的吞吐量在过去三年中提高了 15% 到 25%。
• TOPCon 电池的织构化金字塔尺寸约为 5 微米，比之前的 1 微米更优。
• LPCVD 和 PECVD 设备的吞吐量均超过 8,000 瓦片/小时。
• LED 基测试器的市场份额正在增长，因为它们比传统的氙灯测试器具有更好的光谱调节和稳定性。
• LECO 技术可以将 TOPCon 电池的效率提高到 26% 以上。

研究结论

• 太阳能电池生产设备领域正在快速发展，设备供应商正在不断推出新的技术和解决方案，以满足市场对高效率、低成本太阳能电池的需求。
• TOPCon 电池已成为太阳能电池生产的主流技术，设备供应商正在不断优化 TOPCon 电池生产设备，以降低成本和提高效率。
• BC 电池和钙钛矿叠层电池是未来太阳能电池发展的重要方向，设备供应商也在积极开发相应的生产设备。