如何把握先进制程下光刻机投资机遇？

请务必阅读正文之后的免责条款部分行业研究●证券研究报告行业周报领先大市(维持)评级1M3M12M2.153.4519.97.7611.0334.58熊军SAC执业证书编号：S0910525050001xiongjun@huajinsc.cn宋鹏SAC执业证书编号：S0910525040001songpeng@huajinsc.cn鹏鼎控股：预计25H1业绩同比亮眼，AI+汽车双轨并进-华金证券-电子-鹏鼎控股-公司快报江丰电子：拟定增不超19.5亿，加码静电吸盘/超高纯金属溅射靶材-华金证券-电子-江丰电子消费电子：Meta Ray-Ban/Rokid Glasses/小米AI眼镜价格锚点在哪里？-华金证券-电子-周报半导体设备：传统工艺升级/先进技术增量，争设备之滔滔不绝-华金证券-电子-先进封装设备电子：如何看待眼镜终端演变过程中的投资机遇？-华金证券-电子-行业周报2025.6.2电子：如何看待AI基础设施化带来半导体机遇？-华金证券-电子-行业周报2025.5.25 1 / 28 投资评级首选股票一年行业表现资料来源：聚源升幅%相对收益绝对收益分析师分析师相关报告2025.7.16-公司快报2025.7.122025.6.292025.6.20 http://www.huajinsc.cn/2/28直接影响芯片性能和功耗。自美国对中国半导体制裁起，光刻机对国内半导体行业发展及集成电路产业链自主可控重要性日益凸显。建议关注光刻机产业链“卡脖子”环节中技术积累较深或直接/间接进入ASML/上海微电子等供应链环节厂商。（1）光源：福晶科技、波长光电；（2）光学器件：茂莱光学、腾景科技、炬光科技、晶方科技；（3）物镜：赛微电子、福光股份、永新光学；（4）计算/控制模块：电科数字；（5）洁净设备：美埃科技、蓝英装备；（6）温控：同飞股份、海立股份；（7）零部件/结构件：新莱应材、富创精密、珂玛科技；（8）其他：芯碁微装（直写光刻）、旭光电子（大功率电子管）、东方嘉盛（服务）、京华激光（光学制版用光刻机）、华卓精科（工件台，未上市）。（9）整机：上海微电子（未上市）、奥普光电。风险提示：技术研发进度不及预期风险；下游需求不及预期风险；宏观经济和行业波动风险；地缘政治风险；国际贸易摩擦风险。 http://www.huajinsc.cn/内容目录1、如何把握先进制程下光刻机投资机遇？.........................................................................................................51.1AI发展推动先进工艺产能（7nm及以下）持续扩张，ArFi/EUV光刻机需求加剧.................................51.2短期：核心设备限制下，多重曝光技术助力制程突破..........................................................................101.3长期：高端光刻机突破仍为先进制程大规模量产基石..........................................................................162、行情回顾......................................................................................................................................................202.1周涨跌幅排名.......................................................................................................................................202.2全球行情一览.......................................................................................................................................213、行业高频数据跟踪.......................................................................................................................................233.1面板价格..............................................................................................................................................233.2存储器价格...........................................................................................................................................244、风险提示......................................................................................................................................................26图表目录图1：技术节点分类............................................................................................................................................5图2：2024-2028E各制程节点增长同比（以7nm为界，%）...........................................................................6图3：12英寸晶圆芯片的制程节点分布..............................................................................................................7图4：双沟槽LELE技术（左）Vs.双线条LELE技术......................................................................................12图5：双重图案会增加密度...............................................................................................................................13图6：适用于不同核心图层的多重图形成像技术及边界值................................................................................13图7：八重图形化（SAOP）工艺后所能形成的最小图案化半周期为5.5nm...................................................14图8：随着技术节点演进，基于浸没式光刻的多重光刻技术的步骤增加和套刻误差控制难度激增...................15图9：EUV光源系统结构图..............................................................................................................................17图10：EUV光源产生工作原理图.....................................................................................................................17图11：光刻机镜片制造流程.............................................................................................................................17图12：ASML投影物镜加工工艺十分精密........................................................................................................18图13：提高光刻物镜NA的方法......................................................................................................................18图14：浸没式和干法ArF光刻的主要物理和光学差异.....................................................................................18图15：TWINTWINSCAN双工件台工作动图....................................................................................................19图16：TWINSCAN双工件台光刻机运行流程图..............................................................................................19图17：2025/07/14-2025/07/18申万一级各行业涨跌幅（%）.........................................................................20图18：2025/07/14-2025/07/18电子各行业涨跌幅（%）................................................................................21图19：费城半导体指数（短时间维度）...........................................................................................................21图20：费城半导体指数（长时间维度）...........................................................................................................22图21：2024/03/05-2025/07/18各类DRAM颗粒现货价格（美元）................................................................24图22：近两周DDR5(16