光刻机技术是半导体工艺中的关键,决定了芯片晶体管尺寸大小,直接影响芯片性能和功耗。自美国对中国半导体制裁起,光刻机对国内半导体行业发展及集成电路产业链自主可控重要性日益凸显。建议关注光刻机产业链“卡脖子”环节中技术积累较深或直接/间接进入ASML/上海微电子等供应链环节厂商。
产业链环节及推荐标的:
- 光源:福晶科技、波长光电
- 光学器件:茂莱光学、腾景科技、炬光科技、晶方科技
- 物镜:赛微电子、福光股份、永新光学
- 计算/控制模块:电科数字
- 洁净设备:美埃科技、蓝英装备
- 温控:同飞股份、海立股份
- 零部件/结构件:新莱应材、富创精密、珂玛科技
- 其他:芯碁微装(直写光刻)、旭光电子(大功率电子管)、东方嘉盛(服务)、京华激光(光学制版用光刻机)、华卓精科(工件台,未上市)
- 整机:上海微电子(未上市)、奥普光电
风险提示:
- 技术研发进度不及预期风险
- 下游需求不及预期风险
- 宏观经济和行业波动风险
- 地缘政治风险
- 国际贸易摩擦风险