中科飞测机构调研纪要

调研日期: 2025-04-27 深圳中科飞测科技股份有限公司是一家高科技企业，由海外留学归国的研发和管理团队为核心，与中科院微电子研究所深入合作，自主研发和生产工业智能检测装备。公司检测技术在行业处于国际前沿地位，检测设备在高端市场实现设备的国产化。公司通过国家高新技术企业认定，并获得微电子所投资企业显著产业化进展奖。公司产品包括三维形貌量测系统、表面缺陷检测系统、智能视觉缺陷检测系统等，已经获得国内多家顶尖先进封装厂商的设备验收及批量订单，填补了国内集成电路先进封装检测设备在高端市场的空白。公司创始人和核心团队成员具有海外多年技术积累和管理经验。 一、主要内容介绍 公司就中科飞测2024年度及2025年一季度经营情况进行了介绍。 二、互动问答 1、关于2024年及2025年一季度收入及订单拆解。 答: 2024年及2025年一季度,公司收入与订单整体结构较为类似,具体拆解来看: (1)从产品结构来看,营收占比构成与往年相比整体保持稳定,检测设备占比较高。此外,公司的套刻精度量测设备2024年以来增长迅速,2025年一季度营收和订单占比均有较大提升;另外,暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备在也逐步取得较大金额的订单,并成为新增订单占比最大的设备系列之一,预计未来将成为重要的增长点。 (2)从应用领域来看,公司收入及订单均以前道制程客户为主,与往年基本一致。2025年一季度的收入中,前道制程尤其是先进制程产 品占比相对较高,推动了一季度的毛利率上升。同时,新增订单方面,2025年一季度在HBM等新兴的先进封装领域获得了积极的市场反馈。 (3)从制程工艺来看,公司先进制程的收入和订单占比快速提升,已超过50%,成为公司增长的主要来源,尤其是2025年一季度,先进制程营收占比进一步显著提升。未来先进制程的收入和订单贡献有望持续增长。 (4)从客户构成来看,2024年度公司前五大客户均为国内头部的前道制程及先进封装企业,客户基础稳固。 2、关于2025年一季度毛利率大幅提升的原因。 答: 公司2025年一季度毛利率的变动主要受收入结构变动的影响,前道制程尤其是先进制程的产品收入占比较高,从而拉动公司一季度毛利率明显提升。 3、关于产品进展情况。 答: 公司各系列产品都在按计划稳步推进,并取得了积极的阶段性成果: (1)明场纳米图形晶圆缺陷检测设备目前已小批量出货到多家国内头部逻辑、存储客户,验证进展顺利,获得客户对测试数据积极的反馈。公司是国内最早推出明场纳米图形晶圆缺陷检测设备到先进制程大产线上进行验证的供应商之一,涵盖多种技术路线,可以满足不同的客户工艺需求。由于明场设备的技术难度较高,预计其在收入和批量订单方面实现较大的贡献仍需一定时间,公司对于明场设备的长期发展非常有信心。 (2)暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备出货及订单数量快速增长,已覆盖多家国内头部逻辑及存储客户,验证进展顺利。基于公司在无图形晶圆缺陷检测设备长期的技术积累和竞争优势,公司在暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备方面具有显著的竞争优势,预计较快可以实现收入及订 单增长。 (3)光学关键尺寸量测设备2024年已经成功实现销售,后续将重点推进面向更多客户的市场推广以及向更高工艺制程的设备迭代升级。 (4)升级迭代产品方面,公司各系列设备与目前国内最先进制程的产线扩产需求相匹配,并都取得了重要的阶段性成果。其中,无图形晶圆缺陷检测设备、薄膜膜厚量测设备应用在国内最先进制程产线的设备已经通过验证并实现销售;图形晶圆缺陷检测设备包括3D AOI设备、三维形貌量测设备等应用在HBM领域的设备都已经通过多家国内头部客户的验证;最新一代套刻精度量测设备已经实现多台出货,并全面覆盖国内的头部客户,预计很快能够实现销售。 4、关于2024年研发大幅增长原因及公司研发规划。答: 公司重点研发方向主要包括两方面,一是设备种类的拓展,二是现有产品向更前沿工艺的升级迭代。 (1)新产品研发方面,公司在三款重点设备进行了比较大的研发投入,目标是以最快的速度完成设备在客户产线的验证。另外,在完成9大类光学类设备的全面产品布局后,公司在电子束关键尺寸量测设备的研发方面也取得了一定进展,预计较快能够有设备的出货。 (2)现有产品升级迭代方面,目前公司各系列设备都在向国内最先进制程推进,无论是硬件、软件、关键零部件等方面都需要大量的研发投入。 (3)公司去年的股份支付费用超过8000万元,其中大部分计入了研发费用,这也是研发费用增长的一个重要因素。 未来研发支出来看,公司去年研发投入大幅增长主要是研发人员薪酬增长,以及部分新产品研发初期发生的研发投入比较大。随着在研项目持续推进、产品布局逐渐完善、研发团队建设基本完成,未来公司研发支出增速将有所放缓,研发投入占收入的比例也会整体呈现下降的趋势。 5、关于电子束设备的竞争格局以及竞争优势。 答: 目前国内电子束设备在部分领域已取得初步进展,但整体国产化率还相对较低。 公司在光学设备领域的整机研发、软件算法的控制等方面经验与电子束设备具有一定的共通性和复用性。公司有信心可以尽快推出电子束设备,并推动国内电子束量检测设备的进一步发展。 6、关于当前国内竞争形势及未来趋势,客户对于设备采购主要考量因素。 目前国内量检测设备市场的国产化率还非常低,未来几年国内企业整体上仍处于抢占国外企业市场份额的过程中。经过10余年的持续研发和产品迭代,公司目前无论在产品覆盖广度和深度、客户资源等方面,都打下了坚实的基础,在国内市场上占据领先地位。公司对未来在 新设备推出、现有设备的迭代升级以及产业化推进等方面继续保持领先地位充满信心。 客户在接受半导体设备进厂验证及采购时首要关注产品及技术成熟度,主要是由于新设备出货到客户产线进行验证会耗费客户大量的研发、工艺及生产资源,接受新设备到产线验证的选择上会非常谨慎。目前我们新设备在国内主流大产线上对标的主要还是国外的同类产品,国内其他厂商的设备相对较少。客户其他考虑因素还包括性价比、技术保密性等方面,尤其是先进工艺客户对技术保密性的要求明显提高。 7、关于全年业绩的展望。 答: 综合公司目前的经营情况、产品进展及市场环境,公司对2025年全年经营情况非常有信心: (1)收入层面:公司一季度收入同比增速放缓是一季度正常的季节性波动。结合公司现阶段在手订单、新产品验证情况、市场需求反馈等方面积极因素,2025年有信心继续保持较高的营收增速; (2)利润层面:预计2025年整体的研发费用增速会趋于稳定,研发费用率逐步降低,2025年全年盈利水平有望改善; (3)订单层面:一方面,公司年初至今订单获取节奏较好,尤其在暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新产品以及各产品系列向先进制程设备迭代都取得积极进展,有望带动订单持续增长;另一方面,国内客户整体需求乐观,尤其是先进制程客户产品需求明确。综合这些因素来看,公司对今年的订单比较乐观。