半导体设备板块2023年中报总结：订单兑现业绩继续高增，“周期复苏”+“先进工艺”成为市场预期关键

——半导体设备板块2023年中报总结 研究背景：我们选取10家主要半导体前道设备公司北方华创/中微公司/拓荆科技/盛美上海/华海清科/精测电子/中科飞测/芯源微/万业企业/至纯科技，6家主要半导体后道设备企业华峰测控/长川科技/光力科技/金海通/联动科技/耐科装备，7家主要半导体设备零部件企业新莱应材/富创精密/英杰电气/正帆科技/华亚智能/汉钟精机/江丰电子对各板块2023Q2经营情况进行总结和分析；并选取半导体设备（中信）指数，分析回顾半导体设备板块2023Q1末以来市场表现；综合得出结论：当前维度下，“周期复苏”左右大客户新订单预期，“先进工艺突破”左右短期情绪与长期成长天花板；前者利好β，后者贡献催化与α估值溢价。因此，我们建议基于β，综合考虑板块情绪与α溢价择时布局。 2023Q1半导体设备板块市场及经营情况概述： 市场表现：除大盘因素外，板块内部在“减持”和“美/日/荷出口管制加码”压力下自4月20日高位至今回调约20.2%。 前道设备：核心工艺设备继续高增，低国产化率量检测设备持续突破 1）收入端，2023Q2单季度看，平台型公司北方华创/中微公司/盛美上海分别实现营收45.6/13.0/9.9亿元，同比+37.7%/27.5%/34%，继续保持高增；高订单销售比拓荆科技/华海清科营收6.0/6.2，同比+44.7%/67.6%，订单兑现，收入呈现高弹性。低国产化率环节，中科飞测2023H1营收3.6亿元，同比+202%；精测电子控股子公司上海精测2023H1实现营收8503万元，同比+66%；均取得突出进展。 2）利润端，2023Q2北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海扣非后归母净利润分别为10.8/2.9/0.5/1.4/0.5/3.0亿元，同比增长119%/14%/-36%/113%/35%/27%。全年看，股权激励摊销费用一定程度上会压制利润释放，预计2023年北方华创/中微公司/拓荆科技/盛美上海/华海清科/精测电子/芯源微分别产生股权激励摊销费用6.6/3.0/1.8/1.1/0.45/0.22/0.25亿元。 3）后市展望：以合同负债窥探公司在手订单，2023Q2末北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/盛美上海/芯源微/精测电子/中科飞测合同负债分别达85.9/18/15.1/12.7/10.2/4.7/3.4/5.6亿元，同比增长51%/13%/39%/26%/155%/-26%/-53%/102%/86%，为后续业绩提供强保障；其中，北方华创/中科飞测/精测电子合同负债创新高。 后道设备：2023Q2，华峰测控/长川科技/光力科技/金海通/联动科技/耐科装备分别实现营收1.8/4.4/1.7/0.8/0.7/0.5亿元，同比-36%/-32%/15%/-19%/-43%/-48%，受周期下行冲击，后道设备企业2023Q2业绩继续承压。展望后续，下游封测端各公司2023Q2营收增速已不同程度修复，封测端稼动率提升将进一步催化下游封测企业释放资本开支，带动半导体后道设备需求复苏。 设备零部件：2023Q2，新莱应材/富创精密/英杰电气/正帆科技/华亚智能/汉钟精机/江丰电子分别营收6.3/4.9/4.1/9.3/1.3/10.8/6.3亿元，同比增长6%/54%/64%/61%/-18%/39%/6%。短期看，国产设备企业拉货恢复，国产替代催化下国内需求旺盛；长期看，半导体零部件企业突破关键卡脖子环节+拓品类逻辑不变。 后市展望：“周期复苏”和“先进工艺”成为市场预期关键 1）2023Q2,中芯国际产能利用率78%，开始回升，部分下游客户也已逐步开始补库存；随着终端需求逐步向好以及新产品工艺平台的升级，下游资本开支也将进一步释放，兑现市场对新订单的预期。 2）“摩尔定律”下技术变革带来的扩产才是半导体设备企业突破成长天花板的关键。在当前科技博弈、国产替代的背景下，尤其当成熟制程扩产进入后半周期，先进工艺的突破和设备导入将成为下一轮成长周期的关键；在先进工艺阶段掌握核心技术的设备企业预计将享有市场更高的估值溢价。 投资建议： 半导体设备板块，我们建议从三个维度去选择标的： 1）平台化战略下，选择已构建阶梯化成长曲线的标的，建议关注：北方华创、中微公司、盛美上海； 2）收入弹性角度，选择高订单销售比标的，建议关注：拓荆科技、华海清科； 3）国产突破角度，选择低国产化率环节标的,建议关注：精测电子，中科飞测、芯源微。 半导体设备零部件板块，我们建议从两个维度去选择标的： 1）成长角度，选择推进品类扩张+新品放量的标的，建议关注：富创精密、新莱应材、正帆科技； 2）国产突破角度，选择布局核心卡脖子环节的标的，建议关注：英杰电气、汉钟精机。 风险提示：下游晶圆厂扩产及招标不及预期，中美科技博弈影响上游供应链，消费端需求复苏及库存调整不及预期，国产化推进不及预期。 1.半导体设备板块2023二级报总结 1.1.市场表现：减持+美/日/荷出口管制加码预期下，板块自高位回调20.2% 我们以半导体设备（中信）指数为参考，回顾2023Q1末至今半导体设备板块股价走势，可以发现，沪深300自2023年4月18日高位至今回调8.63%，而半导体设备指数自2023年4月20日高点至今回调20.2%，半导体设备板块波动更为剧烈。整体板块回调除受大盘情绪影响之外，板块内部的压力主要来自于： 1）拓荆科技/华海清科首发解禁、国家集成电路基金减持等对股价造成一定压力； 2）日本/荷兰/美国加强出口管制预期，强化板块悲观情绪。 图1.2022Q4-2023Q1半导体设备（中信）指数股价走势 表1：主要半导体前道设备公司2023Q2以来相关减持进展 从2023Q2涨跌幅来看，前道半导体设备公司中拓荆科技/微导纳米/精测电子涨幅居首，分别达到51%/49%/45%；后道设备紧跟封测端稼动率，终端需求复苏仍不明朗，因此个股涨跌幅更多受估值水平、自身α影响，差异较大。 从机构持仓来看，除华亚智能以外，板块其他主要公司机构持仓比例进一步提升，尤其半导体前道设备企业均获机构大幅加仓，中微公司/拓荆科技/华海清科/中科飞测/精测电子/芯源微/微导纳米/盛美上海/华峰测控/长川科技/新益昌机构持仓比例均达到2022年初以来的最高位。 表2：主要半导体设备公司2023Q1/2023Q2涨跌幅及2022Q1-2023Q2机构持仓比例变化 1.2.前道设备：核心工艺设备继续高增，低国产化率量检测设备持续突破 1.2.1.财务表现：订单兑现营收持续高增，股权激励摊销相对压制利润 受益充沛在手订单及设备稳步交付，2023Q2核心半导体设备企业营收继续保持高增。单季度看，北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/精测电子/中科飞测/盛美上海/至纯科技分别实现营收45.6/13.0/6.0/6.2/4.1/5.1/2.0/9.9/7.0亿元 ， 同比增长37.7%/27.5%/44.7%/67.6%/27.1%/1.5%/170.4%/34.0%/21.6%。 图2.主要半导体前道设备公司2023Q2营收及增速情况 细分到各公司业务结构看： 1）平台型公司：稳步高增长。北方华创集成电路设备运营主体北方华创微电子2023H1实现营收69.5亿元，同比增长80%，增势显著；电子元器件业务主体七星华创营收10.6亿元，同比下滑21%，受元器件业务逆向影响，总营收实现稳步高增。中微公司则继续实现稳步增长，2023H1刻蚀设备//MOCVD设备分别实现营收17.2/3.0亿元，同比增长32.6%/24.1%。盛美上海2023H1清洗设备/电镀炉管设备等/先进封装设备分别实现营收10.8/3.5/1.8亿元，同比+46%/40%/60%，各业务均继续保持高增长。 2）高订单销售比：保持高业绩兑现。拓荆科技/华海清科2022年分别新签订单43.62（不含demo机台）/35.71亿元，订单销售比均超2倍；2023H1分别营收10/12.3亿元，同比+91.8%/72.1%，均保持高业绩兑现。 3）低国产化率：进展显著。目前，半导体工艺控制设备为半导体前道制造重要卡脖子环节，2022年国产化率不足5%，板块内部膜厚/OCD/电子束缺陷复检等设备处于工艺升级以及1-10放量阶段，明场缺陷检测等设备仍处于0-1突破阶段。2023H1中科飞测营收3.6亿元，同比增长202%；精测电子控股子公司上海精测2023H1实现营收8503万元，同比增长66%；均取得突出进展。 图3.北方华创2023H1营收结构及增速 图4.中微公司2023H1营收结构及增速 图5.华海清科2023H1营收结构及增速 图6.盛美上海2023H1营收结构及增速 图7.精测电子2023H1营收结构及增速 图8.微导纳米2023H1营收结构及增速 扣非利润端：2023Q2北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海扣非后归母净利润分别为10.8/2.9/0.5/1.4/0.5/3.0亿元，同比增长119%/14%/-36%/113%/35%/27%亿元，对应扣非净利率分别为19.1%/20.5%/6.5%/24.9%/14.9%/25.2%。其中： 1）北方华创：利润水平大幅上修得益于收入规模高增之外，还得益于2023Q2产生经常性损益约3亿元，主要为税收优惠补助； 2）拓荆科技：利润相对承压主要因股权激励摊销所致，2023H1合计产生股份支付费用1.21亿元，同比增加1.2亿元，根据公司2022年股权激励计划公告中测算，预计2023-2026年分别产生股权激励摊销费用1.8/1.0/0.8/0.6亿元。 3）量检测设备：中科飞测2023Q2首次实现扣非利润扭亏为盈；上海精测2023H1净利润-684万元，仍小幅亏损。半导体量检测设备仍处于早期成长阶段，十分依赖研发投入，精测电子2023H1半导体业务研发投入达1.1亿元，中科飞测上半年研发支出也达9669.5万元。 4）股权激励费用：半导体前道设备工艺及技术壁垒极高，股权激励有助于各设备公司绑定核心人才，赋能公司长期成长。北方华创目前已实行2018、2019、2022三期股权激励计划，根据各激励计划测算，三期合计预计2023-2025分别产生股权激励费用6.6/4.7/2.8亿元。中微公司2020、2022、2023年三期股权激励预计合计在2023-2025年分别产生摊销费用3.0/2.8/1.4亿元。盛美上海2023年股权激励计划预计在2023-2025年分别产生摊销费用1.1/2.7/1.4亿元。华海清科已实行2023年股权激励计划，预计于2023-2025年分别产生摊销费用0.45/0.91/0.74亿元。精测电子2022年股权激励计划预计2023年产生摊销费用2248万元。芯源微2023年股权激励计划预计2023年产生摊销费用2516万元。 综合来看，相较于海外半导体设备企业20-25%的常态化利润率水平，拓荆科技、芯源微、北方华创仍有较大的提升空间。 图9.主要半导体前道设备公司2023Q1/2023Q2扣非归母净利润及增速情况（亿元，%） 表3：主要半导体前道设备公司2022Q1-2023Q2各季度扣非净利率 非经常性损益：2023Q2北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海/中科飞测/精测电子/至纯科技分别产生非经常性损益1.6/5.1/0.2/0.4/0.3/0.1/0.4/0.5/0.2亿元。 中微公司非经常性损益主要来自于投资收益，重点包括出售拓荆科技股份产生税后净收益4.06亿元；其他设备企业非经常性损益主要为政府补贴。 图10.主要半导体前道设备公司2023Q2非经常性损益情况（亿元） 1.2.2.后续展望：发出商品/合同负债维持高位，为后续业绩提供强保障 展望2023 H2 ：预计营收继续保持高增。2023H1末，北方华创（库存商品）/中微公司/拓荆科技