半导体设备平台型公司，受益国产替代加速

本土半导体设备领军者，业绩呈现加速增长势头 公司专业从事半导体装备、真空装备及精密电子元器件等业务，其中半导体设备覆盖刻蚀、薄膜沉积、氧化扩散、清洗设备等领域，成功供货中芯国际、长江存储、华虹集团、武汉新芯等龙头客户。受益于内资晶圆厂大规模扩产&设备国产替代，公司业绩加速增长。1）收入端：2022年公司营业收入达到146.88亿元，2018-2022年CAGR达到45%。2023Q1实现营收38.71亿元，同比+81%，保持快速上升态势；2）利润端：2022年公司归母净利润为23.53亿元，2018-2022年CAGR高达78%，2023Q1达到5.92亿元，同比+187%。2022年公司销售净利率和扣非销售净利率分别达到17.30%和14.34%，同比+4.98pct和+6.01pct。截至2023Q1末，公司存货和合同负债分别达到150.12、78.22亿元，同比+55%、+54%，验证在手订单充足，将保障业绩延续高增。 海外制裁加速国产替代进程，大陆半导体设备需求维持高位 美国、荷兰、日本相继加入限制阵营，主要聚焦在先进制程领域，半导体设备国产替代诉求愈发迫切。底层技术方面，国产半导体设备企业在多个核心领域已具备先进制程技术积淀，具备持续扩张的底层基础。政策扶持方面，2023年科技自主可控已经上升到举国体制，多省市将集成电路半导体芯片纳入当地政府报告，并从技术创新、项目建设、资金支持等层面支持产业链发展，政策利好持续落地。海外制裁升级背景下，半导体设备进口替代逻辑持续强化，我们看好晶圆厂加速国产设备导入，2023年国产化率提升有望超出市场预期。 晶圆厂扩产方面，我们预计2023年内资晶圆厂资本开支整体持平或微降，好于年初市场预期。随着2023Q2招标陆续启动，国产半导体设备公司订单有望快速兑现。此外，半导体景气复苏同样利好设备，中国大陆IC设计龙头库存水位开始下降，行业底部信号清晰。SEMI预计2024年全球晶圆厂设备支出约920亿美元，同比增长21%。 叠加自主可控需求，我们预计2024年中国大陆半导体设备市场规模将达2652亿元，同比+32%，重回快速增长。 平台型产品线布局趋于完善，公司成长逻辑清晰 作为国产半导体设备领军者，公司持续受益设备国产替代+产品线延展。1）刻蚀设备：我们预估2024年中国大陆半导体刻蚀设备市场规模达到557亿元，其中ICP和CCP设备市场规模分别达到306和195亿元。公司在ICP领域具备较强市场竞争力，引领国产替代浪潮，同时积极布局CCP领域，有望持续扩张。2）薄膜沉积设备：我们预估2024年中国大陆半导体薄膜沉积设备市场规模将达583亿元，其中PECVD、PVD、ALD市场规模分别为193、111、64亿元。公司PVD市场竞争力显著，在2022年华虹无锡和积塔半导体PVD招标中份额分别达到20%和36%。此外，公司持续拓展CVD、ALD等产品系列，不断打开成长空间。3）热处理设备：我们预计2025年中国大陆热处理设备市场规模约为52亿元，2022年公司在华虹无锡、积塔半导体热处理设备招标中份额分别为7%、44%，已具备较强市场竞争力。4）清洗设备：我们预计2024年中国大陆市场规模约133亿元，公司收购Akrion完善清洗设备产品线，产品体系不断完善，已成功覆盖槽式、单片清洗设备，有望成为重要增长点。 盈利预测与投资评级： 考虑到公司在手订单充足、订单加速交付，我们维持2023- 2025年公司营业收入预测分别为211.65、275.14和353.00亿元，当前市值对应动态PS分别为7、6和4倍；维持2023-2025年归母净利润预测分别为35.43、47.59和61.71亿元，当前市值对应动态PE分别为45、33和26倍。考虑到公司在国产半导体设备领域的平台型龙头地位，同时估值处于底部，维持“买入”评级。 风险提示： 晶圆厂资本开支不及预期、新品产业化进展不及预期等。 1.国产半导体设备领军者，业绩表现加速增长 1.1.国产半导体设备平台型龙头，产品系列持续拓展 北方华创成立于2001年，是国内领先的高端电子工艺装备供应商，专业从事半导体装备、真空装备及精密电子元器件等的研发、生产、销售和技术服务。 公司构筑多元化技术平台，多线并行布局产品体系。公司与子公司北方华创微电子、北方华创真空等均系经北京市科技局、财政局、税务局联合认定的高新技术企业，经过多年研发创新，公司已掌握刻蚀、薄膜沉积、真空热处理等领域的多项核心技术，曾承担国家科技部“十五”863集成电路制造装备重大项目及国家02科技重大专项，蝉联2013-2018年“中国半导体设备十强单位”，并荣获“国家级企业技术中心”、2018年“中国半导体设备五强企业”、2021年“中国电子百强企业”等荣誉称号。 图1：公司成立二十余载，平台化布局半导体装备、真空装备、精密电子元器件等领域 公司主营产品包括半导体装备、真空&新能源锂电装备及精密元器件三大类： （1）半导体工艺装备：主要由子公司北方华创微电子生产经营，覆盖刻蚀设备（ICP、CCP）、薄膜沉积设备（PVD、CVD、ALD）、氧化扩散、清洗设备、外延设备等类别，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、先进封装、第三代半导体、微机电系统等领域。 （2）真空&锂电装备：真空装备主要包含真空热处理设备、气氛保护热处理设备、连续式热处理设备和晶体生长设备等，广泛应用于真空电子、新能源光伏、半导体材料、磁性材料、新能源汽车等领域。锂电设备主要提供浆料制备、真空搅拌机、涂布机、强力轧膜机、高速分切机等极片制造装备，集流体卷绕PVD镀膜设备已进入客户端验证。 （3）精密电子元器件：由子公司七星华创精密电子生产经营，包括石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电容器、微波组件、模拟芯片、模块电源等产品，广泛应用于高铁、智能电网、通信、医疗电子、精密仪器、自动控制等领域。 图2：公司主营产品包括半导体装备、真空及锂电设备、精密电子元器件等 电子工艺装备为公司主要收入来源，泛半导体设备收入占比快速提升。1）整体来看，2018-2022年公司电子工艺装备（主要包含半导体设备&真空设备）收入占比分别为76%、79%、80%、82%、82%，构成公司收入主体；2）细分设备来看，2022年北方华创微电子实现收入114.33亿元，占公司总收入78%，较2018年的60%明显提升，侧面反映出公司半导体设备收入占比快速提升。（注：北方华创微电子主营“半导体设备”，其业务范畴涵盖集成电路、新型显示、新能源等泛半导体领域） 图3：2022年公司电子工艺装备收入占比82% 图4：2022年北方华创微电子收入占比达到78% 公司客户群体覆盖国内泛半导体各细分领域龙头。1）集成电路：公司批量供货中芯国际、长江存储、华虹集团、武汉新芯等龙头客户，28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD设备已率先进入国际供应链体系；2）LED、MEMS、新能源光伏等领域：覆盖三安光电、华灿光电、隆基股份、晶澳太阳能等龙头客户。公司客户集中度适当，2020-2022年前五大客户收入占比分别为43.66%、30.55%和25.67%，呈现快速下降趋势。 图5：公司已成功覆盖国内集成电路龙头客户 图6：2022年公司前五大客户收入占比下降至25.67% 1.2.高度重视研发投入，股权激励利好中长期发展 公司股权结构较为集中稳定，国资背景&大基金持股为持续快速发展打下基础。从股权构成来看，截至2023Q1末，北京电控直接&间接合计持有公司43.08%股份，为公司实际控制人。作为北京市国资委全资下属企业，北京电控具备深厚的区域性资源优势和强大的资本实力，长期为公司提供战略资源支持。此外，国家集成电路产业投资基金&二期合计持有公司8.36%股份，同样为公司持续快速发展奠定坚实基础。 图7：公司实际控制人为拥有国资背景的北京电子控股 公司高度重视研发端投入，积极进行前瞻性技术布局。2022年公司研发支出达到35.66亿元，2018-2022年CAGR达到42%。公司研发投入占营收比重常年高居20%以上，2022年达到24.28%，高于中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科等本土同行。 持续性高研发投入，保障了技术先进性、产品领先性，为公司后续发展打下基础。 图8：2018-2022年公司研发投入CAGR达到42% 图9：公司研发投入占营收比重高于本土同行平均 此外，公司还高度重视研发团队建设，股权激励下沉绑定核心技术人才。中国大陆半导体产业的高速发展，技术人才是重要竞争力。截至2022年底，公司技术人员合计4,123人，占比达到41.2%。2022年公司再次实施股权激励计划，首次授予的激励对象不超过840人，主要为核心技术人才&管理骨干。若以2021年底公司技术人员数量为基数，本次股权激励的覆盖面达到26%。本次股权激励覆盖面进一步下沉，可以更好地激励人才，将公司利益和激励对象紧密捆绑，利于公司中长期发展。 图10：2022年公司再次实施股票期权激励计划 高强度研发投入下，公司已掌握多项集成电路核心技术。截至2022年底，公司累计申请专利6,800余件，已获授权3,900余件。公司在光伏、LED、MEMS、功率器件等工艺设备及真空设备领域均处于国际先进水平，等离子刻蚀设备已突破新型高密度/低损伤等离子体源技术和脉冲射频控制技术，PVD设备已突破溅射源设计技术、等离子产生与控制技术、颗粒控制技术等多项关键技术，技术水平处于行业领先地位。 图11：公司已掌握集成电路领域多项核心技术 1.3.业绩持续快速增长，募投扩产打开成长天花板 半导体设备快速放量，驱动公司收入规模持续扩张。1）整体来看，2022年公司营业收入达到146.88亿元，2018-2022年CAGR达到45%。2023Q1实现营业收入38.71亿元，同比+81%，保持快速上升态势。2）分产品来看，公司半导体设备持续放量，2022年子公司北方华创微电子实现收入114.33亿元，2018-2022年CAGR达到55%，占公司总营业收入的比重持续提升，是公司收入端持续快速增长的主要驱动力。 图12：2018-2022年公司营业收入CAGR达到45% 图13：2022年北方华创微电子收入占比达到78% 利润端，2018-2022年公司归母净利润CAGR高达78%，高于同期收入端增速，侧面反映出公司盈利能力提升。进一步分析发现，2018年以来公司销售净利率和扣非销售净利率均呈现明显上行趋势，2022年分别达到17.30%和14.34%，分别同比+4.98pct和+6.01pct，盈利水平明显提升。下面将从毛利端与费用端进行详细分析。 图14：2018-2022年公司归母净利润CAGR为78% 图15：2018年以来公司扣非销售净利率快速提升 1）毛利端：半导体设备产品结构改善，驱动毛利率快速爬坡。2020-2022年公司销售毛利率分别为36.69%、39.41%和43.83%，快速爬升，主要系电子工艺装备毛利率快速上升，2020-2022年分别为29.44%、33.00%和37.70%，我们判断核心在于半导体设备产品结构优化，同时成本端也存在一定规模化降本。2）费用端：规模效应显现，期间费用率稳中有降。2018-2022年稳中有降，2023Q1降至22.28%，进一步驱动净利率提升。 图16：2020年以来公司销售毛利率快速上升 图17：2018年以来公司期间费用率快速下降 公司在手订单充足，将保障短期业绩高速增长。截至2023Q1末，公司存货和合同负债分别达到150.12、78.22亿元，同比+55%、+54%，均验证在手订单充足。 图18：截至2023Q1末，公司存货达到150.12亿元 图19：截至2023Q1末，公司合同负债达到78.22亿元 为应对旺盛的订单需求，公司积极募投扩产，不断打开成长瓶颈。2021年公司非公开募集85亿元，用于“半导体装备产业化基地扩产