事件催化：5月23日，日本政府正式出台针对23类芯片制造设备的出口管制措施，制造商要把相关设备出口到任何地区都必须先申请许可，该措施将于7月23日实行。该23类设备包括了清洗设备（3项）、薄膜沉积设备（11项）、热处理设备（1项）、光刻设备（4项）、刻蚀设备（3项）和测试设备（1项），大部fen是制造制程在14nm及以下所需的设备。去日产业链梳理：（1）光刻机：尼康、佳能——>上海微电子（2）涂胶显影机：TEL（东京电子）、SCREEN——>芯源微（3）薄膜沉积设备：TEL——>拓荆科技、北方华创、中微公司、盛美上海（4）刻蚀设备：TEL、日立高新——>中微公司、北方华创（5）离子注入机：日本真空、住友重工——>万业企业、中科信（6）清洗设备：SCREEN、TEL——>盛美上海、至纯科技、北方华创、芯源微（7）CMP设备：日本荏原——>华海清科（8）热处理设备：TEL、日立国际电气——>北方华创、屹唐古份（9）前道检测设备：日立高科——>精测电子、中科飞测、赛腾古份、中微公司（睿励）（10）后道设备：爱德万、DISCO、东京精密——>长川科技&华峰测控、光力科技、华海清科等该消息其实是一个老消息，只是出口管制措施落地，该事件主要利好半导体设备国产化趋势，因为我国的30%的设备依赖日本，我国82%的涂胶显影机来源于日本，芯源微受利好程度最深，此外拓荆科技、中微公司、北方华创等均受益。