半导体设备行业2022年&2023一季报总结：业绩持续高速增长，盈利水平进一步提升证券研究报告行业研究证券分析师：周尔双执业证书编号：S0600515110002zhouersh@dwzq.com.cn证券分析师：黄瑞连执业证书编号：S0600520080001huangrl@dwzq.com.cn2023年5月4日 核心观点➢收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取15家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【晶升股份】【金海通】。1）收入端，2022&2023Q1十五家半导体设备企业合计实现营业收入分别为418.87亿元、99.77亿元，分别同比+49.98%、+46.67%，收入端延续高速增长势头。2）利润端，2022&2023Q1十五家半导体设备企业合计归母净利润分别为77.76亿元、15.90亿元，分别同比+67.84%、+105.54%，显著高于营收端增速。2022&2023Q1十五家半导体设备企业销售净利率分别为18.83% 、15.97% ，分别同比+1.96pct 、+3.83pct ，盈利水平进一步提升。进一步分析：①毛利端，2022&2023Q1十五家半导体设备企业整体毛利率分别为45.75% 、44.41% ，分别同比+2.54pct、-1.45pct ；②费用端，2022&2023Q1十五家半导体设备企业期间费用率分别为27.97% 、29.05% ，分别同比-2.84pct、-1.91pct ，规模效应持续体现。3）订单方面，2022&2023Q1十五家半导体设备企业合同负债分别达到153.77亿元、169.96亿元，分别同比+55.21% 、+56.65 %，进一步验证在手订单充足，保障半导体设备行业业绩延续高速增长。➢四重逻辑共振，继续看好半导体设备投资机会。1）继2022年10月美国对中国大陆半导体设备制裁升级后，2023年荷兰、日本相继加入限制阵营，海外制裁升级背景下，我们看好晶圆厂加速国产设备导入，2023年半导体设备国产化率提升有望超出市场预期。2）中芯国际2023年资本开支基本持平。此外存储扩产好于先前预期，晋华、粤芯等二三线晶圆厂合计资本开支有望持续提升，随着Q2国内晶圆厂招标陆续启动，国内半导体设备公司订单有望持续兑现。3）2023年科技自主可控已经上升到举国体制，组建中央科技委，国家层面加大集成电路产业扶持力度，多省市将集成电路半导体芯片纳入当地政府报告，并从技术创新、项目建设、资金支持、标准制定等层面支持产业链发展，政策利好持续落地。4）OpenAI模型持续迭代，算力需求持续提升背景下，AI芯片市场规模持续扩张，2025年我国AI芯片市场规模将达到1780亿元，AI行业发展大趋势下，我们认为AI行情有望持续扩散，支撑各类芯片的底层—半导体设备持续成为AI行情扩散的下一个方向。投资建议：1）前道设备：低国产化率环节重点推荐拓荆科技、精测电子、芯源微等；低估值标的重点推荐北方华创、赛腾股份、至纯科技、华海清科等；其他重点推荐中微公司、万业企业、盛美上海。2）后道设备：重点推荐长川科技、华峰测控。➢风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。 mOpMnOnRnQpMpWpW6McM9PsQoOtRoNiNqQtOlOnNtP7NqRxPxNoOpOvPsRwO核心观点表：半导体设备行业重点公司2022&2023Q1主要业绩情况资料来源：Wind，东吴证券研究所2022营收（百万元）同比（%）2023Q1营收（百万元）同比（%）2022归母净利润（百万元）同比（%）2023Q1归母净利润（百万元）同比（%）2022毛利率(%)2023Q1毛利率(%)2022净利率(%)2023Q1净利率(%)北方华创14,688.1151.68%3,871.1381.26%2,352.73118.37%591.68186.58%43.83%41.18%17.30%15.89%中微公司4,739.8352.50%1,223.0728.86%1,169.7915.66%275.37134.98%45.74%45.87%24.64%22.48%拓荆科技1,705.56125.02%402.38274.24%368.52438.09%53.72552.25%49.27%49.78%21.35%12.99%华海清科1,648.84104.86%616.1676.87%501.60152.98%193.87112.49%47.72%46.66%30.42%31.46%盛美上海2,873.0577.25%615.7874.09%668.49151.08%130.942937.19%48.90%54.61%23.27%21.26%长川科技2,576.5370.49%320.00-40.48%461.08111.28%-57.23-180.50%56.75%56.00%18.64%-16.99%芯源微1,384.8767.12%288.2256.89%200.16158.77%65.98103.55%38.40%45.31%14.45%22.89%华峰测控1,070.5621.89%200.06-22.90%526.2919.95%74.69-38.88%76.88%69.68%49.16%37.33%万业企业1,157.5831.56%124.2827.56%423.5812.50%80.32194.88%54.44%52.55%33.41%56.23%精测电子2,730.5713.35%601.49-0.39%271.8341.36%11.88-58.20%44.39%45.35%7.62%0.31%至纯科技3,049.5346.32%784.0943.16%282.440.24%62.68186.28%35.36%33.93%9.19%7.69%赛腾股份2,929.7826.36%714.9768.87%306.9971.17%72.61178.40%40.10%40.97%10.97%10.36%微导纳米684.5159.96%75.77-42.65%54.1517.43%-1.09-141.75%42.31%47.21%7.91%-1.44%晶升股份221.9913.89%38.39128.50%34.54-26.49%2.44307.73%35.22%38.75%15.56%6.35%金海通426.021.39%101.55-4.16%153.930.14%31.90-9.79%57.36%53.54%36.13%31.41%3 二、四重逻辑共振，继续看好半导体设备投资机会目录三、投资建议与风险提示一、业绩持续高速增长，盈利水平进一步提升 图：2022&2023Q1薄膜沉积、CMP等设备环节营收增速表现出色资料来源：Wind，东吴证券研究所收入端：前道设备维持高增，后道测试设备短期承压图：2022&2023Q1半导体设备行业营收同比+49.98%、+46.67%资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022年十五家半导体设备企业合计实现营业收入418.87亿元，同比+49.98%；2023Q1十五家半导体设备企业合计实现营业收入99.77亿元，同比+46.67%，收入端延续高速增长势头，表现十分亮眼。◆分环节来看，薄膜沉积设备、CMP设备、清洗设备、涂胶显现表现十分出色。1）2022和2023Q1拓荆科技营收增速分别为274%和125%，领跑板块，主要系PECVD等快速突破，市占率快速提升。2）2022和2023Q1华海清科、盛美上海、芯源微和北方华创营收增速均超过50%，维持较高的增速，中微公司2023Q1营收增速降速明显，我们推测主要系订单交付节奏所致。3）2023Q1长川科技和华峰测控营收同比出现下滑，主要系封测行业景气短期仍然承压所致。4）精测电子、万业企业营收增速较慢，主要系传统主业拖累，二者半导体设备收入占比较低。144.13187.42279.28418.8799.7730.04%49.01%49.98%46.67%-50%-20%10%40%70%010020030040050020192020202120222023Q1营业收入（亿元）同比增速-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%2022营收同比2023Q1营收同比5 图：2022和2023Q1拓荆科技、盛美上海、华海清科等归母利润端增速表现突出资料来源：Wind，东吴证券研究所利润端：延续高速增长，增速优于营收端表现图：2022&2023Q1半导体设备行业归母净利润同比+67.84%、+105.54%资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022年十五家半导体设备企业合计归母净利润77.76亿元，同比+67.84%；2023Q1十五家半导体设备企业合计归母净利润15.90亿元，同比+105.54%；2022&2023Q1归母净利润均高于收入增速，2023Q1增速加快主要系公允价值变动影响。◆分企业来看：1）2022年和2023Q1拓荆科技、盛美上海、华海清科、北方华创、芯源微归母净利润同比增速均超过100%，领跑半导体设备行业，且净利润端增速大幅领先收入端，盈利水平明显提升。2）2023Q1中微公司、赛腾股份、万业企业、晶升股份归母净利润同比增速大幅提升，盈利水平大幅改善。3）2023Q1华峰测控、长川科技、精测电子归母净利润出现大幅下滑，主要系封测、面板行业景气度较差，且研发投入较大所致。17.2827.8246.3377.7615.9061.02%66.52%67.84%105.54%-50%-20%10%40%70%100%130%010203040506070809020192020202120222023Q1归母净利润（亿元）同比增速-500%0%500%1000%1500%2000%2500%3000%3500%2022归母净利润同比2023Q1归母净利润同比6 图：2022年和2023Q1拓荆科技、盛美上海、华海清科、北方华创扣非归母净利润增速表现突出资料来源：Wind，东吴证券研究所图：2022年和2023Q1半导体设备行业扣非归母净利润同比+122.51%、+71.67%资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022年十五家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润65.20亿元，同比+122.51%；2023Q1十五家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润12.70亿元，同比+71.67% ，扣非归母利润增速同样显著高于营业收入增速，行业真实盈利水平大幅提升。◆分企业来看：1）2022年和2023Q1拓荆科技、盛美上海、华海清科、北方华创扣非归母净利润同比增速均超过100% ，真实盈利水平大幅提升，其中华海清科、北方华创扣非归母利润增速高于归母净利润增速；赛腾股份和芯源微同样维持着超过50%的扣非归母净利润增速。2）2023Q1 中微公司、华峰测控、万业企业、长川科技、精测电子扣非归母净利润增速降速明显，主要系行业景气度、公允价值变动等影响。利润端：延续高速增长，增速优于营收端表现12.6213.4129.3065.2012.706.28%118.54%122.51%71.67%-50%-20%10%40%70%100%130%160%01020304050607020192020202120222023Q1扣非归母净利润(亿元）同比增速-300%-200%-100%0%100%200%300%400%2022年扣非归母净利润同比2023Q1扣非归母净利润同比7 图：2022和2023Q1华峰测控、万业企业、华海清科、金海通净利率靠前资料来源：Wind，东吴证券研究所净利率：持续快速提升，封测设备盈利水平大幅下滑图：2022&2023Q1半导体设备行业净利率分别同比+1.96pct、+3.83pct资料来源：Wind，