半导体设备行业2022年中报总结：业绩兑现高速增长，继续看好设备这条投资主线证券研究报告行业研究证券分析师：周尔双执业证书编号：S0600515110002zhouersh@dwzq.com.cn证券分析师：黄瑞连执业证书编号：S0600520080001huangrl@dwzq.com.cn2022年9月6日 核心观点➢收入端延续高速增长态势，扣非后盈利水平大幅提升。我们选取11家半导体设备重点标的【拓荆科技-U】【长川科技】【芯源微】【华海清科】【至纯科技】【北方华创】【中微公司】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】。1）收入端，2022H1十一家半导体设备企业合计实现营收144亿元，同比+42%，若剔除精测电子和万业企业，营收合计131亿元，同比+59%，延续高速增长。2）利润端，2022H1十一家半导体设备企业扣非归母净利润合计22.15亿元，同比+140%，若剔除精测电子和万业企业，扣非归母净利润合计21.8亿元，同比+270%，增速显著高于收入端。2022H1十一家半导体设备企业销售净利率和扣非归母净利率为17.9%和15.4%，同比+0.7和+6.3pct，真实盈利水平大幅提升。进一步分析：①毛利端，2022H1十一家半导体设备企业销售毛利率为47.3%，同比+3.1pct，延续持续上升态势；②费用端，2022H1十一家半导体设备企业期间费用率为29%，同比-2.8pct，规模效应持续体现。3）截至2022H1末，十一家半导体设备企业合同负债&存货合计达到120、248亿元，分别较2021年底增长27%、34%，继续创历史新高，充足订单将保障短期业绩继续高增长。➢外部事件加速设备国产替代进程，半导体设备是景气度最好环节。智能手机、PC销量持续下滑，相关企业库存仍处在历史较高水平，我们认为全球半导体仍处在下行周期，拐点尚未出现。对于半导体设备，市场普遍担心半导体景气度下行会导致下游客户资本开支下降。1）相比IC设计、封测环节，晶圆制造仍是我国半导体产业短板环节，中国大陆仍将是未来全球晶圆扩产中心，下游客户资本开支仍有保障。据我们不完全统计，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过100万片/月。8月27号中芯国际公告，拟在天津新建12英寸晶圆代工生产线项目，规划产能10万片/月，可以进一步验证，本土半导体设备行业景气度有望延续。2）国产化率持续提升是当前半导体设备投资最大逻辑。据我们不完全统计，2022年1-7月份5家晶圆厂半导体设备整体国产化率为36%，薄膜沉积、涂胶显影、量测/检测设备等环节仍处于国产化起步阶段，中长期来看，本土半导体设备企业的业绩驱动力更多来自于市场份额提升。尤其在《芯片与科学法案》等外部事件催化下，本土晶圆厂加速推进设备国产替代进程，使得设备环节具备更大业绩增长弹性。➢投资建议：下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐【长川科技】、【北方华创】、【拓荆科技-U】、【芯源微】、【华海清科】、【至纯科技】、【中微公司】、【华峰测控】、【盛美上海】。建议关注【万业企业】、【精测电子】。➢风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。2 核心观点表：部分半导体设备行业重点公司2022H1主要业绩情况资料来源：Wind，东吴证券研究所营业收入（百万元）同比（%）归母净利润（百万元）同比（%）销售净利率（%）销售毛利率（%）北方华创544451%755143%16%46%中微公司197247%46818%24%45%盛美上海109675%237164%22%47%拓荆科技-U523365%108-20%47%华海清科717144%186163%26%47%芯源微50444%6998%14%40%长川科技118877%245174%21%56%华峰测控54167%27182%50%79%至纯科技112022%81-46%8%36%万业企业166-73%28-90%15%61%精测电子1105-14%29-80%0%44%3 图：2022H1拓荆科技、华海清科营收同比增速领跑行业资料来源：Wind，东吴证券研究所收入端：国产替代加速推进，疫情影响下仍高速增长图：2022H1半导体设备行业营业收入144亿元，同比+42%资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022H1十一家半导体设备企业合计实现营业收入144亿元，同比+42%。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业营业收入合计131亿元，同比+59%。在疫情影响设备交付、客户验证的基础上，收入端仍实现高速增长，表现十分亮眼。◆分环节来看，薄膜沉积设备、CMP设备、测试设备表现十分出色。1）2022H1拓荆科技、华海清科营收增速分别为365%和144%，主要系2021年在手订单充足，2022H1设备加速交付确认收入。2）2022H1长川科技、华峰测控营收增速分别为77%和67%，一方面受益于2021年封测行业景气度较高，另一方面系积极进行新品拓展，长川科技数字测试机、三温分选机快速放量，华峰测控STS8300快速放量、IC设计客户顺利拓展。3）2022H1盛美上海营收同比增速达到75%，主要受益于ECP&炉管设备快速放量。4）2022H1精测电子、万业企业营收同比下滑，主要系传统主业拖累，二者半导体设备收入占比较低。66751101291612461440%10%20%30%40%50%60%0501001502002503002016201720182019202020212022H1营业收入（亿元）同比（%）365%144%77%75%67%51%47%44%22%-14%-73%-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%350%400%2022H1营收同比（%）4 图：2022H1长川科技、盛美上海、华海清科等利润端表现突出资料来源：Wind，东吴证券研究所利润端：延续高速增长，扣非利润增速远超收入端图：2022H1半导体设备行业归母净利润25亿元，同比+45%资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022H1十一家半导体设备企业合计归母净利润24.8亿元，同比+46%，略高于收入增速，延续高速增长。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业归母净利润合计24.2亿元，同比+90%。◆分企业来看：1）2022H1长川科技、盛美上海、华海清科、北方华创归母净利润同比增速均超过100%，领跑半导体设备行业，利润端增速大幅领先收入端，盈利水平明显提升。此外，2022H1芯源微、华峰测控利润端表现同样出色，高于收入端增速。2）2022H1拓荆科技实现归母净利润1.08亿元，扭亏为盈（2021H1为-0.2亿元），盈利水平大幅改善。3）2022H1至纯科技归母净利润同比-46%，出现大幅下滑，主要系2022H1政府补助、公允价值变动净收益同比大幅下降。174%164%163%143%98%82%18%-46%-80%-90%-150%-100%-50%0%50%100%150%200%2022H1归母净利润同比（%）8221716254224.8-50%0%50%100%150%200%0510152025303540452016201720182019202020212022H1归母净利润（亿元）同比（%）5 图：2022H1中微公司、盛美上海等扣非归母净利润同比大幅增长资料来源：Wind，东吴证券研究所图：2022H1半导体设备行业扣非归母净利润同比+133%资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022H1十一家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润22.15亿元，同比+140%。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业扣非归母净利润合计21.8亿元，同比+270%。扣非利润端增速显著高于营业收入、归母净利润，侧面反映出行业真实盈利水平大幅提升。◆分企业来看，2022H1大部分半导体设备企业扣非归母净利润增速均高于归母净利润增速，其中中微公司、盛美上海、华海清科扣非归母净利润同比增速分别达到615%、427%和316%，大幅超过归母净利润增速（18%、164%、163%），真实盈利水平大幅提升，主要在于非经常性损益、公允价值变动净收益等普遍出现明显下降，压制了利润端表现。特别地，2022H1拓荆科技扣非归母净利润为0.49亿元，同比扭亏为盈（2021H1为-0.68亿元），扣非后利润端首次实现盈利。利润端：延续高速增长，扣非利润增速远超收入端615%427%316%203%187%128%122%84%-88%-94%-200%-100%0%100%200%300%400%500%600%700%2022H1扣非归母净利润同比（%）2.547.9813.9311.0910.7425.6122.15-50%0%50%100%150%200%250%0510152025302016201720182019202020212022H1扣非归母净利润（亿元）同比（%）6 图：2022H1华峰测控销售净利率继续领跑半导体设备行业资料来源：Wind，东吴证券研究所盈利水平：整体稳中有升，扣非净利率大幅提升图：2022H1半导体设备行业销售净利率为18%，同比+0.7pct资料来源：Wind，东吴证券研究所◆2022H1十一家半导体设备企业销售净利率为17.9%，同比+0.7pct，略有增长。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业销售净利率为19.4%，同比+3.2pct，明显提升。◆分企业来看，1）2022H1华峰测控销售净利率达到50%，同比+4pct，领跑本土半导体设备企业；2）2022H1华海清科、长川科技、盛美上海、拓荆科技、北方华创、芯源微销售净利率分别同比+2、+7、+7、+39、+6和+4pct，均同时受益于产品结构优化、毛利率提升，以及规模效应下期间费用率下降。3）2022H1中微公司和至纯科技销售净利率有所下降，分别同比-6、-8pct，主要受非经常性损益（政府补助减少）和公允价值变动收益（持有股票价格波动）影响。50%26%24%22%21%20%16%15%14%8%0%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%2021H12022H112.8%29.8%16.3%12.5%15.6%17.4%17.9%0%5%10%15%20%25%30%35%2016201720182019202020212022H1销售净利率（%）7 图：2022H1拓荆科技、中微公司等扣非归母净利率大幅提升资料来源：Wind，东吴证券研究所图：2022H1半导体设备行业扣非归母净利率15.4%，同比+6pct资料来源：Wind，东吴证券研究所盈利水平：整体稳中有升，扣非净利率大幅提升◆2022H1十一家半导体设备企业扣非归母净利率为15.4%，同比+6.3pct。若剔除精测电子和万业企业，2022H1九家半导体设备企业扣非归母净利率为16.7%，同比+9.5pct，明显提升。◆分企业来看，1）2022H1华峰测控扣非归母净利率为49%，同比+5pct，表现优异，远超其他半导体设备同行；2）2022H1拓荆科技、盛美上海、中微公司扣非归母净利率分别同比+70、+16、+18pct，增幅领跑半导体设备行业。3）2022H1华海清科、长川科技、芯源微、北方华创、至纯科技扣非归母净利率同样明显改善，分别同比+8、+8、+5、+6、+4pct。4）2022H1万业企业、精测电子扣非归母净利率分别为15%、1%，分别同比-18、-10pct，大幅下降，主要系传统主业拖累。12.7%8.6%6.7%10.4%15.4%0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%20182019202020212022H1扣非归母净利率（%）49%23%22%20%18%15%13%12%9%9%1%-80%-60%-40%-20%0%20%40%60%2021H120