芯源微发布半年报公告,公司上半年实现营业收入5.04亿元,同比增长43.7%;归母净利润0.69亿元,同比增加97.9%;扣非归母净利润0.66亿元,同比增加122.4%。新签订单同比大幅增长,上半年合同负债6.28亿元,同比增长183%;存货11.72亿元,同比增长76.5%,奠定后续增长基础。前道涂胶显影机新签订单大幅增长,前道物理清洗机获大客户批量重复订单。公司上半年发布定增,募资10亿元。我们预计随着公司研发推进及产能扩张,业绩有望持续快速增长。预测公司2022-2024年收入分别为13.3、19.3、26.3亿元,归母净利润分别为1.48、2.39、3.44亿元,当前股价对应PE分别为111、69、48倍,首次覆盖,给予“买入”投资评级。