公司更新点评：设备与材料协同发展，业绩大幅增长

维持“增持”评级，下调目标价30.60元。公司工艺介质供应系统受益于本土晶圆厂大幅上调CAPEX扩建产能，高纯特种气体协同突破切入半导体材料领域，上调其2022-2024年EPS为1.02/1.54/2.13元（原预测值2022-2023年为0.98、1.35元）。考虑大陆晶圆厂持续高强度扩产，参考半导体设备行业估值，给予其2022年30倍PE，下调目标价30.60元。 一季度业绩大幅增长，盈利能力持续优化。22年Q1营收3.62亿元，YOY+110.62%；归母净利润0.11亿元，YOY+1216.36%；毛利率24.28%，同比减少3.92pcts。公司受益于下游需求扩大，整体业绩大幅增长。 工艺介质供应系统受益晶圆厂扩建新项目，与晶圆厂CAPEX关联度高。公司工艺介质供应系统包括特气柜、化学品中央供应柜等，已经切入包括中芯国际、长江存储、长鑫存储、三星等一线客户群体。 公司产品直接受益于晶圆厂CAPEX高支出，随着各地晶圆厂扩产，公司工艺介质供应系统业务有望高成长。 高纯特种气体业务切入半导体材料领域，与晶圆厂OPEX关联度高。 公司是国内少数实现电子级砷烷和磷烷国产替代的企业之一，拥有自研自产电子特气以及生产供应电子大宗气的能力。在本土晶圆厂产能投建完成后，公司高纯特种气体有望协同导入晶圆厂。 风险提示。中美科技摩擦反复；本土晶圆厂扩产进度放缓。