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中微公司2021年年报点评：半导体设备需求强劲，在手订单饱满全年高增。公司实现营业收入31.1亿元，同比增长36.7%。新签订单金额达41.3亿元，同比增长91%；合同负债13.7亿元，同比增长132%。综合毛利率为43.4%，同比增长5.7pct。研发投入共4.0亿元，占收入为12.8%。公司正在研发LPCVD与EPI设备，并筹划开发ALD与ALE设备。
