本文主要介绍了公司近年来在半导体设备方面的投入和成果，包括膜厚量测设备、OCD设备、电子束检测设备等。同时，也提到了公司在晶圆检测设备、锂电设备和显示面板设备方面的业务发展。预计公司2022年净利润将达到5.99亿，给予“推荐”评级。本文的总结是，公司是半导体设备国产化的主力军，有望受益国内晶圆线建设浪潮，同时显示面板设备和锂电设备也在高速增长中。
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